Baki Lembar Epitaksi Silikon Karbida Untuk Tungku Epitaksi Semikonduktor

Deskripsi Singkat:

Baki Lembar Epitaxial Silikon Karbida Energi VET adalah produk berkinerja tinggi yang dirancang untuk memberikan kinerja yang konsisten dan andal dalam jangka waktu lama. Ia memiliki ketahanan panas yang sangat baik dan keseragaman termal, kemurnian tinggi, ketahanan erosi, menjadikannya solusi sempurna untuk aplikasi pemrosesan wafer.


Detail Produk

Label Produk

SiC-induktor1
SiC-induktor2

Baki lembaran silikon karbida adalah komponen kunci yang digunakan dalam berbagai proses pembuatan semikonduktor. Kami menggunakan teknologi kami yang telah dipatenkan untuk membuat baki lembaran silikon karbida dengan kemurnian sangat tinggi, keseragaman lapisan yang baik, dan masa pakai yang sangat baik, serta sifat ketahanan kimia dan stabilitas termal yang tinggi.

VET Energy adalah produsen nyata produk grafit dan silikon karbida khusus dengan lapisan berbeda seperti SiC, Tac, karbon pirolitik, karbon kaca, dll., dapat memasok berbagai suku cadang khusus untuk industri semikonduktor dan fotovoltaik. Tim teknis kami berasal dari lembaga penelitian domestik terkemuka, dapat memberikan solusi material yang lebih profesional untuk Anda.

Kami terus mengembangkan proses canggih untuk menyediakan material yang lebih canggih, dan telah mengembangkan teknologi eksklusif yang dipatenkan, yang dapat membuat ikatan antara lapisan dan substrat menjadi lebih erat dan tidak mudah terkelupas.

Fitur produk kami:

1. Ketahanan oksidasi suhu tinggi hingga 1700 ℃.
2. Kemurnian tinggi dan keseragaman termal
3. Ketahanan korosi yang sangat baik: asam, alkali, garam dan reagen organik.

4. Kekerasan tinggi, permukaan kompak, partikel halus.
5. Umur pemakaian lebih lama dan lebih tahan lama

CVD SiC薄膜基本物理性能

Sifat fisik dasar CVD SiClapisan

性质 / Properti

典型数值 / Nilai Khas

晶体结构 / Struktur Kristal

Fase FCC β多晶,主要为(111)取向

密度 / Kepadatan

3,21 gram/cm³

硬度 / Kekerasan

2500 维氏硬度(beban 500g)

晶粒大小 / Ukuran Butir

2~10μm

纯度 / Kemurnian Kimia

99,99995%

热容 / Kapasitas Panas

640J·kg-1·K-1

升华温度 / Suhu Sublimasi

2700℃

抗弯强度 / Kekuatan Lentur

415 MPa RT 4 titik

杨氏模量 / Modulus Muda

tikungan 430 Gpa 4pt, 1300℃

导热系数 / TermalakuDaya konduksi

300W·m-1·K-1

热膨胀系数 / Ekspansi Termal (CTE)

4,5×10-6K-1

1

2

Sangat menyambut Anda untuk mengunjungi pabrik kami, mari berdiskusi lebih lanjut!

研发团队

 

生产设备

 

公司客户

 


  • Sebelumnya:
  • Berikutnya:

  • Obrolan Daring WhatsApp!