Երբ այն սերմնահեղուկ էբիզնես նորություններ, հասկանալը կիսահաղորդչային արտադրությունների մշակվածությունը անհրաժեշտություն է: Կիսահաղորդչային վաֆլիները այս արդյունաբերության մեջ կարևոր բաղադրիչ են, բայց դրանք հաճախ աղտոտվում են տարբեր կեղտից: Այս աղտոտիչները, ներառյալ ատոմը, օրգանական նյութը, մետաղական տարրի իոնը և օքսիդը, կարող են ազդել պատրաստման գործընթացի վրա:
Մասնիկներինչպես, օրինակ, պոլիմերային և փորագրող անմաքրության վստահությունը միջմոլեկուլային ուժի վրա, որը կլանվում է վաֆլի մակերեսի վրա, ազդում սարքի ֆոտոլիտոգրաֆիայի վրա:օրգանական կեղտերինչպես հոմո մաշկի յուղը և մեքենայի յուղը վաֆլի վրա ֆիլմ են ստեղծում, խանգարում են մաքրմանը:մետաղական տարրերի իոններերկաթի և ալյումինի նման հաճախ հեռացվում են մետաղական տարրերի իոնային համալիրի ձևավորման միջոցով:Օքսիդներխոչընդոտում են պատրաստման գործընթացին և սովորաբար հեռացվում են նոսր հիդրոֆլորաթթվի մեջ թրջելով:
քիմիական մեթոդներսովորաբար օգտագործվում են կիսահաղորդչային վաֆլի մաքրման և ցնցման համար: Գերակշռում են խոնավության քիմիական մաքրման տեխնիկան, ինչպիսիք են լուծույթի սուզումը և մեխանիկական մաքրումը: Գերձայնային և մեգաձայնային մաքրման մեթոդներն առաջարկում են կեղտը հեռացնելու արդյունավետ միջոցներ: չոր քիմիական մաքրում, ներառում է պլազմային և գազաֆազային տեխնոլոգիա, ինչպես նաև գործում է կիսահաղորդչային վաֆլի մաքրման գործընթացներում:
Հրապարակման ժամանակը՝ հոկտ-29-2024