Մանրամասն բացատրվում է վառարանի խողովակի սարքավորումների ներքին կառուցվածքը

Ինչպես ցույց է տրված վերևում, դա բնորոշ է

Առաջին խաղակես.

▪ Ջեռուցման տարր (ջեռուցման կծիկ).

գտնվում է վառարանի խողովակի շուրջը, որը սովորաբար պատրաստված է դիմադրողական լարերից, որն օգտագործվում է վառարանի խողովակի ներսը տաքացնելու համար:

▪ Քվարց խողովակ.

Տաք օքսիդացման վառարանի միջուկը՝ պատրաստված բարձր մաքրության քվարցից, որը կարող է դիմակայել բարձր ջերմաստիճաններին և քիմիապես իներտ մնալ։

▪ Գազի սնուցում.

Գտնվում է վառարանի խողովակի վերին կամ կողմում, այն օգտագործվում է թթվածին կամ այլ գազեր տեղափոխելու վառարանի խողովակի ներսը:

▪ SS եզր:

բաղադրիչներ, որոնք միացնում են քվարցային խողովակները և գազատարները՝ ապահովելով կապի խստությունը և կայունությունը։

▪ Գազի սնուցման գծեր.

Խողովակներ, որոնք միացնում են MFC-ն գազի հաղորդման համար գազի մատակարարման պորտին:

▪ MFC (Զանգվածային հոսքի վերահսկիչ):

Սարք, որը վերահսկում է գազի հոսքը քվարցային խողովակի ներսում՝ ճշգրիտ կարգավորելու պահանջվող գազի քանակը։

▪ Օդափոխիչ.

Օգտագործվում է արտանետվող գազը վառարանի խողովակի ներսից դեպի սարքավորման արտաքին կողմը օդափոխելու համար:

Ստորին մաս.

▪ Սիլիկոնային վաֆլիներ պահարանում.

Սիլիկոնային վաֆլիները տեղադրվում են հատուկ պահարանում՝ օքսիդացման ժամանակ միատեսակ ջերմություն ապահովելու համար:

▪ Վաֆլի կրող.

Օգտագործվում է սիլիկոնային վաֆլի պահելու և գործընթացի ընթացքում սիլիկոնային վաֆլի կայուն մնալու համար:

▪ Պատվանդան.

Կառուցվածք, որը պահում է սիլիկոնային վաֆլի պահող, որը սովորաբար պատրաստված է բարձր ջերմաստիճանի դիմացկուն նյութից:

▪ Վերելակ.

Օգտագործվում է վաֆլի պահարանները քվարցային խողովակների մեջ և դուրս հանելու համար՝ սիլիկոնային վաֆլիների ավտոմատ բեռնման և բեռնաթափման համար:

▪ Վաֆլի փոխանցող ռոբոտ.

գտնվում է վառարանի խողովակի սարքի կողքին, այն օգտագործվում է տուփից ավտոմատ կերպով սիլիկոնային վաֆլի հանելու և վառարանի խողովակի մեջ դնելու կամ մշակելուց հետո հեռացնելու համար:

▪ Կասետի պահպանման կարուսել.

Կասետի պահեստավորման կարուսելը օգտագործվում է սիլիկոնային վաֆլի պարունակող տուփը պահելու համար և կարող է պտտվել ռոբոտի մուտքի համար:

▪ Վաֆլի ձայներիզ.

վաֆլի ձայներիզը օգտագործվում է մշակման ենթակա սիլիկոնային վաֆլիները պահելու և փոխանցելու համար: