Մանրամասն բացատրվում է վառարանի խողովակի սարքավորումների ներքին կառուցվածքը

Ինչպես ցույց է տրված վերևում, դա բնորոշ է

Առաջին խաղակես.
Ջեռուցման տարր (ջեռուցման կծիկ): տեղակայված է վառարանի խողովակի շուրջը, որը սովորաբար պատրաստված է դիմադրողական լարերից, որն օգտագործվում է վառարանի խողովակի ներսը տաքացնելու համար:
Քվարցային խողովակ. տաք օքսիդացման վառարանի միջուկը, որը պատրաստված է բարձր մաքրության քվարցից, որը կարող է դիմակայել բարձր ջերմաստիճաններին և քիմիապես իներտ մնալ:
Գազի սնուցում. Գտնվում է վառարանի խողովակի վերին կամ կողմում, այն օգտագործվում է թթվածին կամ այլ գազեր վառարանի խողովակի ներս տեղափոխելու համար:
SS եզր. բաղադրիչներ, որոնք միացնում են քվարցային խողովակները և գազատարները՝ ապահովելով կապի խստությունը և կայունությունը:
Գազի սնուցման գծեր. խողովակներ, որոնք միացնում են MFC-ն գազի մատակարարման պորտին գազի փոխանցման համար:
MFC (Զանգվածային հոսքի կարգավորիչ)՝ սարք, որը վերահսկում է գազի հոսքը քվարցային խողովակի ներսում՝ ճշգրիտ կարգավորելու պահանջվող գազի քանակը:
Օդափոխիչ. Օգտագործվում է արտանետվող գազը վառարանի խողովակի ներսից սարքավորման արտաքին կողմը օդափոխելու համար:

Ստորին հատված
Սիլիկոնային վաֆլիները պահարանում.
Վաֆլի պահող. Օգտագործվում է սիլիկոնային վաֆլի պահելու և գործընթացի ընթացքում սիլիկոնային վաֆլի կայուն մնալու համար:
Պատվանդան. Կառուցվածք, որը պահում է սիլիկոնային վաֆլի պահող, որը սովորաբար պատրաստված է բարձր ջերմաստիճանի դիմացկուն նյութից:
Վերելակ. Օգտագործվում է վաֆլի պահարանները քվարցային խողովակների մեջ և դուրս հանելու համար՝ սիլիկոնային վաֆլիների ավտոմատ բեռնման և բեռնաթափման համար:
Վաֆլի փոխանցող ռոբոտ. գտնվում է վառարանի խողովակի սարքի կողքին, այն օգտագործվում է տուփից ավտոմատ կերպով սիլիկոնային վաֆլի հանելու և վառարանի խողովակի մեջ դնելու կամ մշակելուց հետո հեռացնելու համար:
Կասետի պահպանման կարուսել. Կասետի պահեստավորման կարուսելը օգտագործվում է սիլիկոնային վաֆլիներ պարունակող տուփը պահելու համար և կարող է պտտվել ռոբոտի մուտքի համար:
Վաֆլի ձայներիզ.