Քիմիական գոլորշիների նստեցումը (CVD) բարակ թաղանթի նստեցման կարևոր տեխնոլոգիա է, որը հաճախ օգտագործվում է տարբեր ֆունկցիոնալ թաղանթների և բարակ շերտով նյութեր պատրաստելու համար և լայնորեն օգտագործվում է կիսահաղորդիչների արտադրության և այլ ոլորտներում:
1. CVD-ի աշխատանքի սկզբունքը
CVD գործընթացում գազի պրեկուրսորը (մեկ կամ մի քանի գազային պրեկուրսոր միացություններ) շփվում է ենթաշերտի մակերեսի հետ և տաքացվում է որոշակի ջերմաստիճանի, որպեսզի առաջացնի քիմիական ռեակցիա և նստեցվի ենթաշերտի մակերեսի վրա՝ ձևավորելով ցանկալի թաղանթ կամ ծածկույթ: շերտ. Այս քիմիական ռեակցիայի արդյունքը պինդ է, սովորաբար ցանկալի նյութի միացություն: Եթե մենք ցանկանում ենք սիլիցիում կպչել մակերեսին, կարող ենք օգտագործել տրիքլորսիլանը (SiHCl3) որպես պրեկուրսոր գազ. SiHCl3 → Si + Cl2 + HCl սիլիցիումը կկապվի ցանկացած բաց մակերեսի հետ (ինչպես ներքին, այնպես էլ արտաքին), մինչդեռ քլորը և աղաթթվի գազերը՝ դուրս գրվել պալատից.
2. CVD դասակարգում
Ջերմային CVD. տաքացնելով պրեկուրսոր գազը, որպեսզի այն քայքայվի և նստեցնի այն ենթաշերտի մակերեսին: Plasma Enhanced CVD (PECVD). Պլազման ավելացվում է ջերմային CVD-ին՝ ռեակցիայի արագությունը բարձրացնելու և նստեցման գործընթացը վերահսկելու համար: Մետաղական օրգանական CVD (MOCVD). Մետաղական օրգանական միացություններ օգտագործելով որպես պրեկուրսոր գազեր, կարող են պատրաստվել մետաղների և կիսահաղորդիչների բարակ թաղանթներ, որոնք հաճախ օգտագործվում են այնպիսի սարքերի արտադրության մեջ, ինչպիսիք են LED-ները:
3. Դիմում
(1) Կիսահաղորդիչների արտադրություն
Սիլիցիդային թաղանթ. օգտագործվում է մեկուսիչ շերտերի, ենթաշերտերի, մեկուսիչ շերտերի և այլնի պատրաստման համար: Նիտրիդային թաղանթ. շերտեր և այլն:
(2) Ցուցադրման տեխնոլոգիա
ITO թաղանթ. Թափանցիկ հաղորդիչ օքսիդ թաղանթ, որը սովորաբար օգտագործվում է հարթ վահանակների և սենսորային էկրանների համար: Պղնձե թաղանթ. օգտագործվում է փաթեթավորման շերտերի, հաղորդիչ գծերի և այլնի պատրաստման համար, ցուցադրման սարքերի աշխատանքը բարելավելու համար:
(3) Այլ դաշտեր
Օպտիկական ծածկույթ.
4. CVD գործընթացի բնութագրերը
Օգտագործեք բարձր ջերմաստիճանի միջավայր՝ ռեակցիայի արագությունը խթանելու համար: Սովորաբար կատարվում է վակուումային միջավայրում: Մասի մակերեսի աղտոտիչները պետք է հեռացվեն ներկելուց առաջ: Գործընթացը կարող է ունենալ սահմանափակումներ այն ենթաշերտերի վրա, որոնք կարող են պատվել, այսինքն՝ ջերմաստիճանի սահմանափակումներ կամ ռեակտիվության սահմանափակումներ: CVD ծածկույթը ծածկելու է մասի բոլոր տարածքները, ներառյալ թելերը, կույր անցքերը և ներքին մակերեսները: Կարող է սահմանափակել հատուկ թիրախային տարածքները քողարկելու ունակությունը: Ֆիլմի հաստությունը սահմանափակվում է գործընթացի և նյութական պայմաններով: Գերազանց կպչունություն:
5. CVD տեխնոլոգիայի առավելությունները
Միատեսակություն. կարող է հասնել միատեսակ նստվածքի մեծ տարածքի ենթաշերտերի վրա:
Վերահսկելիություն. նստվածքի արագությունը և թաղանթի հատկությունները կարող են ճշգրտվել՝ վերահսկելով պրեկուրսոր գազի հոսքի արագությունը և ջերմաստիճանը:
Բազմակողմանիություն. Հարմար է տարբեր նյութերի նստեցման համար, ինչպիսիք են մետաղները, կիսահաղորդիչները, օքսիդները և այլն:
Հրապարակման ժամանակը` մայիս-06-2024