ԻՆՉՊԵՍ ՊԱՏՐԱՍՏԵԼ ՍԻԼԻԿՈՆԱՅԻՆ ՎԱՖԵՐ

ԻՆՉՊԵՍ ՊԱՏՐԱՍՏԵԼ ՍԻԼԻԿՈՆԱՅԻՆ ՎԱՖԵՐ

A վաֆլիմոտավորապես 1 միլիմետր հաստությամբ սիլիցիումի կտոր է, որն ունի չափազանց հարթ մակերես՝ տեխնիկապես շատ պահանջկոտ ընթացակարգերի շնորհիվ: Հետագա օգտագործումը որոշում է, թե բյուրեղների աճեցման որ ընթացակարգը պետք է կիրառվի: Չոխրալսկու պրոցեսում, օրինակ, բազմաբյուրեղ սիլիցիումը հալեցնում են և մատիտով բարակ սերմացու բյուրեղը թաթախում են հալած սիլիցիումի մեջ։ Այնուհետև սերմերի բյուրեղը պտտվում է և դանդաղ քաշվում դեպի վեր: Ստացվում է շատ ծանր վիթխարի մի բյուրեղ: Հնարավոր է ընտրել մոնոբյուրեղի էլեկտրական բնութագրերը՝ ավելացնելով փոքր միավորներ բարձր մաքրության դոպաններով: Բյուրեղները դոպինգ են կատարվում հաճախորդի բնութագրերին համապատասխան, այնուհետև փայլեցնում և կտրում են կտորներ: Արտադրության տարբեր լրացուցիչ քայլերից հետո հաճախորդը ստանում է իր նշված վաֆլիները հատուկ փաթեթավորմամբ, ինչը հաճախորդին հնարավորություն է տալիս անմիջապես օգտագործել վաֆլի իր արտադրական գծում:

ՉՈՉՐԱԼՍԿԻ ԳՈՐԾԸՆԹԱՑ

Այսօր սիլիցիումի միաբյուրեղների մեծ մասը աճեցվում է Չոխրալսկու պրոցեսի համաձայն, որը ներառում է պոլիբյուրեղային բարձր մաքրության սիլիցիումի հալեցնում է հիպերմաքուր քվարցային կարասի մեջ և ավելացնում դոպանտը (սովորաբար B, P, As, Sb): Հալած սիլիցիումի մեջ թաթախված է բարակ, միաբյուրեղ սերմերի բյուրեղը: Այնուհետև այս բարակ բյուրեղից առաջանում է CZ մեծ բյուրեղ: Հալած սիլիցիումի ջերմաստիճանի և հոսքի ճշգրիտ կարգավորումը, բյուրեղների և խառնարանի պտույտը, ինչպես նաև բյուրեղների ձգման արագությունը հանգեցնում են չափազանց բարձր որակի միաբյուրեղ սիլիցիումի ձուլակտորի:

LOAT ZONE ՄԵԹՈԴ

Լողացող գոտու մեթոդով արտադրված միաբյուրեղները իդեալական են էլեկտրաէներգիայի կիսահաղորդչային բաղադրիչներում օգտագործելու համար, ինչպիսիք են IGBT-ները: Գլանաձև բազմաբյուրեղ սիլիցիումի ձուլակտորը տեղադրված է ինդուկցիոն կծիկի վրա: Ռադիոհաճախականության էլեկտրամագնիսական դաշտը օգնում է հալեցնել սիլիցիումը ձողի ստորին մասից: Էլեկտրամագնիսական դաշտը կարգավորում է սիլիցիումի հոսքը ինդուկցիոն կծիկի փոքր անցքի միջով և ներքևում գտնվող միաբյուրեղի վրա (լողացող գոտու մեթոդ): Դոպինգը, սովորաբար B կամ P-ով, ձեռք է բերվում գազային նյութերի ավելացմամբ: