Կիսահաղորդչային արդյունաբերության շարունակական զարգացման և բարձր արդյունավետության սարքերի աճող պահանջարկի հետ միասին սիլիցիումի կարբիդի ծածկույթի տեխնոլոգիան աստիճանաբար դառնում է մակերեսային մշակման կարևոր մեթոդ: Սիլիցիումի կարբիդային ծածկույթները կարող են բազմաթիվ առավելություններ ապահովել կիսահաղորդչային սարքերի համար, ներառյալ բարելավված էլեկտրական հատկությունները, բարելավված ջերմային կայունությունը և ուժեղացված մաշվածության դիմադրությունը, դրանով իսկ խթանելով կիսահաղորդչային սարքերի արդյունավետությունը:
Սիլիցիումի կարբիդի ծածկույթի տեխնոլոգիան լայնորեն օգտագործվում է կիսահաղորդչային սարքերի արտադրության տարբեր փուլերում, ինչպիսիք են վաֆլի մշակումը, միկրոսխեմաների արտադրությունը և փաթեթավորման գործընթացները: Այս տեխնոլոգիան բարելավում է էլեկտրոնային սարքերի ընթացիկ փոխանցման և էլեկտրոնների արտանետման բնութագրերը՝ սարքի մակերեսի վրա ստեղծելով սիլիցիումի կարբիդի ամուր ծածկույթ: Սիլիցիումի կարբիդը բարձր ջերմաստիճանի, բարձր կարծրության և կոռոզիոն դիմացկուն նյութ է, որը կարող է բարձրացնել սարքի կառուցվածքային կայունությունը, մաշվածության դիմադրությունը և էլեկտրամագնիսական պաշտպանությունը:
Կիսահաղորդչային արդյունաբերության շատ հիմնական բաղադրիչներ, ինչպիսիք են մետաղական լարերը, փաթեթավորման նյութերը և ջերմատախտակները, կարող են նաև բարելավվել սիլիցիումի կարբիդի ծածկույթի տեխնոլոգիայով: Այս ծածկույթը կարող է ապահովել պաշտպանիչ շերտ, որը նվազեցնում է նյութի ծերացումը և ձախողումը մասնիկների նստվածքի, օքսիդացման կամ էլեկտրոնների ցրման պատճառով: Միևնույն ժամանակ, սիլիցիումի կարբիդի ծածկույթը կարող է նաև բարելավել նյութի մեկուսացման կատարումը, նվազեցնել էներգիայի կորուստը և էլեկտրոնային աղմուկը:
Սիլիցիումի կարբիդի ծածկույթի տեխնոլոգիայի կիրառումը հետագայում կխթանի կիսահաղորդչային արդյունաբերության նորարարությունն ու զարգացումը: Բարելավելով սարքերի էլեկտրական հատկությունները, ջերմային կայունությունը և մաշվածության դիմադրությունը, ակնկալվում է, որ այս տեխնոլոգիան նոր հնարավորություններ կբացի նոր սերնդի կիսահաղորդչային սարքերի մշակման համար: Սիլիցիումի ածխածնի վրա հիմնված ծածկույթի տեխնոլոգիայի շարունակական նորարարությունը կիսահաղորդչային արդյունաբերություն կբերի ավելի արդյունավետ, հուսալի և կայուն սարքեր՝ ավելի շատ հնարավորություններ և հարմարավետություն հաղորդելով մարդկանց կյանքին և աշխատանքին:
Հրապարակման ժամանակը՝ նոյ-20-2023