Az RTP/RTA szilícium-karbid bevonathordozó a Rapid Thermal Processing & Heatning nevű félvezető-gyártási folyamatokban használt kulcsfontosságú komponens. Szabadalmaztatott technológiánkat használjuk, hogy a szilícium-karbid hordozót rendkívül nagy tisztasággal, jó bevonategyenletességgel és kiváló élettartammal készítsük el. valamint magas vegyszerállósági és hőstabilitási tulajdonságokkal rendelkezik.
Termékeink jellemzői:
1. Magas hőmérsékletű oxidációállóság 1700 ℃-ig.
2. Nagy tisztaságú és termikus egyenletesség
3. Kiváló korrózióállóság: sav, lúg, só és szerves reagensek.
4. Nagy keménység, tömör felület, finom részecskék.
5. Hosszabb élettartam és tartósabb
| CVD SiC薄膜基本物理性能 A CVD SiC alapvető fizikai tulajdonságaibevonat | |
| 性质 / Ingatlan | 典型数值 / Tipikus érték |
| 晶体结构 / Kristályszerkezet | FCC β fázis多晶，主要为（111）取向 |
| 密度 / Sűrűség | 3,21 g/cm³ |
| 硬度 / Keménység | 2500 维氏硬度 (500 g-os töltet) |
| 晶粒大小 / Grain Size | 2-10 μm |
| 纯度 / Kémiai tisztaság | 99,99995% |
| 热容 / Hőteljesítmény | 640 J·kg-1·K-1 |
| 升华温度 / Szublimációs hőmérséklet | 2700 ℃ |
| 抗弯强度 / Hajlítóerő | 415 MPa RT 4 pontos |
| 杨氏模量 / Young's Modulus | 430 Gpa 4pt kanyar, 1300 ℃ |
| 导热系数 / ThermalVezetőképesség | 300W·m-1·K-1 |
| 热膨胀系数 / Hőtágulás (CTE) | 4,5×10-6K-1 |
A VET Energy a személyre szabott grafit és szilícium-karbid termékek valódi gyártója különböző bevonatokkal, például SiC bevonattal, TaC bevonattal, üveges szénbevonattal, pirolitikus szénbevonattal stb., Különféle testreszabott alkatrészeket szállíthat a félvezető- és fotovoltaikus ipar számára.
Technikai csapatunk a legjobb hazai kutatóintézetekből érkezik, professzionálisabb anyagmegoldásokat tud nyújtani Önnek.
Folyamatosan fejlesztünk fejlett eljárásokat, hogy még fejlettebb anyagokat biztosítsunk, és kidolgoztunk egy exkluzív, szabadalmaztatott technológiát, amely szorosabbá és kevésbé leválóvá teheti a bevonat és az aljzat közötti kötést.
Szeretettel üdvözöljük, hogy látogassa meg gyárunkat, beszéljünk tovább!
