A VET Energy PECVD folyamat grafit lapkatartója egy PECVD (plazma-erősített kémiai gőzleválasztás) folyamathoz tervezett mag fogyóeszköz. Ez a termék nagy tisztaságú, nagy sűrűségű grafitanyagból készül, kiváló magas hőmérséklet-állósággal, korrózióállósággal, méretstabilitással és egyéb jellemzőkkel, stabil támogatási platformot biztosít a PECVD folyamathoz, hogy biztosítsa a filmlerakódás egyenletességét és laposságát.
A VET Energy grafit ostyatartó "grafittartó" kialakítása nemcsak hatékonyan támogatja az ostyát, hanem hőstabilitást is biztosít a magas hőmérsékletű és nagynyomású PECVD környezetben, hogy biztosítsa a folyamat stabilitását.
A VET Energy PECVD technológiájú grafit lapkatartó a következő jellemzőkkel rendelkezik:
▪Nagy tisztaságú:rendkívül alacsony szennyeződés tartalommal, kerülje a fólia szennyeződését, hogy biztosítsa a film minőségét.
▪Nagy sűrűség:nagy sűrűség, nagy mechanikai szilárdság, ellenáll a magas hőmérsékletnek és a nagy nyomású PECVD környezetnek.
▪Jó méretstabilitás:kis méretváltozások magas hőmérsékleten a folyamat stabilitásának biztosítása érdekében.
▪Kiváló hővezető képesség:hatékonyan átadja a hőt, hogy megakadályozza az ostya túlmelegedését.
▪Erős korrózióállóság:Képes ellenállni a különböző korrozív gázok és plazma által okozott eróziónak.
▪Személyre szabott szolgáltatás:Különböző méretű és formájú grafit tartóasztalok az ügyfelek igényei szerint testreszabhatók.
Grafit anyag az SGL-től:
| Tipikus paraméter: R6510 | |||
| Index | Teszt szabvány | Érték | Egység |
| Átlagos szemcseméret | ISO 13320 | 10 | μm |
| Térfogatsűrűség | DIN IEC 60413/204 | 1.83 | g/cm3 |
| Nyitott porozitás | DIN66133 | 10 | % |
| Közepes pórusméretű | DIN66133 | 1.8 | μm |
| Áteresztőképesség | DIN 51935 | 0,06 | cm²/s |
| Rockwell keménység HR5/100 | DIN IEC60413/303 | 90 | HR |
| Fajlagos elektromos ellenállás | DIN IEC 60413/402 | 13 | μΩm |
| Hajlító szilárdság | DIN IEC 60413/501 | 60 | MPa |
| Nyomószilárdság | DIN 51910 | 130 | MPa |
| Young-modulus | DIN 51915 | 11,5×10³ | MPa |
| Hőtágulás (20-200 ℃) | DIN 51909 | 4,2X10-6 | K-1 |
| Hővezetőképesség (20℃) | DIN 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
Kifejezetten nagy hatékonyságú napelemgyártáshoz tervezték, támogatja a G12 nagyméretű szeletfeldolgozást. Az optimalizált hordozókialakítás jelentősen növeli az áteresztőképességet, ami magasabb hozamot és alacsonyabb gyártási költségeket tesz lehetővé.
| Tétel | Írja be | Szám ostyahordozó |
| PEVCD Grephite hajó - A 156-os sorozat | 156-13 grefit csónak | 144 |
| 156-19 grefit csónak | 216 | |
| 156-21 grefit csónak | 240 | |
| 156-23 grafit csónak | 308 | |
| PEVCD Grephite hajó - A 125-ös sorozat | 125-15 grefit csónak | 196 |
| 125-19 grefit csónak | 252 | |
| 125-21 grfit csónak | 280 |
