Grafit szubsztrát ostyatartó PECVD-hez

Grafit szubsztrát lapkatartó PECVD kiemelt képhez

Rövid leírás:

A VET Energy grafit szubsztrát tartóját úgy tervezték, hogy fenntartsa a lapkák illeszkedését és stabilitását a PECVD folyamat során, megelőzve a szennyeződést és minimalizálva a károsodás kockázatát. A grafit ostyatartó biztonságos, egyenletes platformot biztosít, biztosítva, hogy az ostyák egyenletesen legyenek kitéve a plazmának a következetes és jó minőségű lerakódás érdekében. Magas hővezető képességének és kivételes szilárdságának köszönhetően ez a tartó hozzájárul a folyamat általános hatékonyságának és a termék teljesítményének javításához.

Küldjön e-mailt nekünk Letöltés PDF formátumban

Termék részletek

Termékcímkék

A VET Energy Graphite Substrate Wafer Holder egy precíziós hordozó, amelyet PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) eljáráshoz terveztek. Ez a kiváló minőségű grafit szubsztrát tartó nagy tisztaságú, nagy sűrűségű grafit anyagból készült, kiváló magas hőmérséklet-állósággal, korrózióállósággal, méretstabilitással és egyéb jellemzőkkel. Stabil támogatási platformot biztosít a PECVD folyamathoz, és biztosítja a filmlerakódás egyenletességét és laposságát.

A VET Energy PECVD technológiai grafit lapkatartó asztal a következő jellemzőkkel rendelkezik:

▪Nagy tisztaságú:rendkívül alacsony szennyeződés tartalom, kerülje el a film szennyeződését, biztosítsa a film minőségét.

▪Nagy sűrűség:nagy sűrűség, nagy mechanikai szilárdság, ellenáll a magas hőmérsékletnek és a nagy nyomású PECVD környezetnek.

▪Jó méretstabilitás:kis méretváltozás magas hőmérsékleten, ami biztosítja a folyamat stabilitását.

▪Kiváló hővezető képesség:hatékonyan átadja a hőt, hogy megakadályozza az ostya túlmelegedését.

▪Erős korrózióállóság:ellenáll a különböző korrozív gázok és plazma okozta eróziónak.

▪Személyre szabott szolgáltatás:Különböző méretű és formájú grafit tartóasztalok a vásárlói igények szerint testreszabhatók.

A termék előnyei

▪A film minőségének javítása:Biztosítsa az egyenletes filmlerakódást és javítsa a film minőségét.

▪A berendezés élettartamának meghosszabbítása:Kiváló korrózióállóság, meghosszabbítja a PECVD berendezések élettartamát.

▪Csökkentse a gyártási költségeket:A kiváló minőségű grafittálcák csökkenthetik a selejt mennyiségét és csökkenthetik a gyártási költségeket.

Grafit anyag az SGL-től:

Tipikus paraméter: R6510
Index	Teszt szabvány	Érték	Egység
Átlagos szemcseméret	ISO 13320	10	μm
Térfogatsűrűség	DIN IEC 60413/204	1.83	g/cm³
Nyitott porozitás	DIN66133	10	%
Közepes pórusméretű	DIN66133	1.8	μm
Áteresztőképesség	DIN 51935	0,06	cm²/s
Rockwell keménység HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Fajlagos elektromos ellenállás	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Hajlító szilárdság	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Nyomószilárdság	DIN 51910	130	MPa
Young-modulus	DIN 51915	11,5×10³	MPa
Hőtágulás (20-200 ℃)	DIN 51909	4,2X10^-6	K^-1
Hővezetőképesség (20℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Kifejezetten nagy hatékonyságú napelemgyártáshoz tervezték, támogatja a G12 nagyméretű szeletfeldolgozást. Az optimalizált hordozókialakítás jelentősen növeli az áteresztőképességet, ami magasabb hozamot és alacsonyabb gyártási költségeket tesz lehetővé.

Tétel	Írja be	Szám ostyahordozó
PEVCD Grephite hajó - A 156-os sorozat	156-13 grefit csónak	144
	156-19 grefit csónak	216
	156-21 grefit csónak	240
	156-23 grafit csónak	308
PEVCD Grephite hajó - A 125-ös sorozat	125-15 grefit csónak	196
	125-19 grefit csónak	252
	125-21 grfit csónak	280