Grafit hordozó a PECVD folyamathoz

Rövid leírás:

VET EnergyA PECVD Graphite Boat for Solar Panel egy fejlett komponens, amelyet kifejezetten nagy teljesítményű napelemek gyártására terveztek. A Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition (PECVD) folyamatokban használt grafitcsónak optimális anyagkezelést és vékony filmrétegek egyenletes lerakódását biztosítja a napelemeken. A pontosságra és tartósságra tervezve kiváló hővezető képességet, magas korrózióállóságot és minimális szennyeződést biztosít, amelyek elengedhetetlenek a hatékony, jó minőségű napelemek gyártásához.

Küldjön e-mailt nekünk Letöltés PDF formátumban

Termék részletek

Termékcímkék

VET EnergyA PECVD-technológiás grafithordozó egy kiváló minőségű fogyóeszköz, amelyet a PECVD (plazmanövelt kémiai gőzlerakódás) eljáráshoz szabtak. Ez a grafithordozó nagy tisztaságú, nagy sűrűségű grafitanyagból készül, kiváló magas hőmérséklet-állósággal, korrózióállósággal, méretstabilitással és egyéb jellemzőkkel, stabil hordozóplatformot biztosít a PECVD folyamathoz, hogy biztosítsa a vékony film egyenletességét és laposságát. lerakódás.

A PECVD-eljáráshoz használt grafithordozók a következő jellemzőkkel rendelkeznek:

▪ Nagy tisztaság: rendkívül alacsony szennyeződéstartalom, elkerülve a fólia szennyeződését és biztosítja a film minőségét.

▪ Nagy sűrűség: nagy sűrűség, nagy mechanikai szilárdság, képes ellenállni a magas hőmérsékletnek és nagy nyomású PECVD környezetnek.

▪ Jó méretstabilitás: kis méretváltozás magas hőmérsékleten, ami biztosítja a folyamat stabilitását.

▪ Kiváló hővezető képesség: hatékonyan adja át a hőt az ostya túlmelegedésének megakadályozása érdekében.

▪ Erős korrózióállóság: képes ellenállni a különböző korrozív gázok és plazma által okozott eróziónak.

▪ Személyre szabott szolgáltatás: a különböző méretű és formájú grafithordozók az ügyfél igényei szerint testreszabhatók.

Grafit anyag az SGL-től:

Tipikus paraméter: R6510
Index	Teszt szabvány	Érték	Egység
Átlagos szemcseméret	ISO 13320	10	μm
Térfogatsűrűség	DIN IEC 60413/204	1.83	g/cm³
Nyitott porozitás	DIN66133	10	%
Közepes pórusméretű	DIN66133	1.8	μm
Áteresztőképesség	DIN 51935	0,06	cm²/s
Rockwell keménység HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Fajlagos elektromos ellenállás	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Hajlító szilárdság	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Nyomószilárdság	DIN 51910	130	MPa
Young-modulus	DIN 51915	11,5×10³	MPa
Hőtágulás (20-200 ℃)	DIN 51909	4,2X10^-6	K^-1
Hővezetőképesség (20℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Kifejezetten nagy hatékonyságú napelemgyártáshoz tervezték, támogatja a G12 nagyméretű szeletfeldolgozást. Az optimalizált hordozókialakítás jelentősen növeli az áteresztőképességet, ami magasabb hozamot és alacsonyabb gyártási költségeket tesz lehetővé.

Tétel	Írja be	Szám ostyahordozó
PEVCD Grephite hajó - A 156-os sorozat	156-13 grefit csónak	144
	156-19 grefit csónak	216
	156-21 grefit csónak	240
	156-23 grafit csónak	308
PEVCD Grephite hajó - A 125-ös sorozat	125-15 grefit csónak	196
	125-19 grefit csónak	252
	125-21 grfit csónak	280