CVD szilícium-karbid bevonatú grafitgyűrű

Rövid leírás:

A VET Energy szilícium-karbid bevonatú grafitgyűrű egy nagy teljesítményű termék, amelyet úgy terveztek, hogy egyenletes és megbízható teljesítményt nyújtson hosszabb ideig. Szuper jó hőállósággal és termikus egyenletességgel, nagy tisztasággal, erózióállósággal rendelkezik, így tökéletes megoldás az ostyafeldolgozási alkalmazásokhoz.

Küldjön e-mailt nekünk Letöltés PDF formátumban

Termék részletek

Termékcímkék

A grafit alapanyag tipikus tulajdonságai:

Látszólagos sűrűség:	1,85 g/cm3
Elektromos ellenállás:	11 μΩm
Hajlítási szilárdság:	49 MPa (500 kgf/cm2)
Shore keménység:	58
Hamu:	<5 ppm
Hővezetőképesség:	116 W/mK (100 kcal/mhr-℃)

Minden jelenlegi epitaxiás reaktorhoz különféle szuszceptorokat és grafit alkatrészeket szállítunk. Termékeink között megtalálhatók a hordós szuszceptorok az LPE egységekhez, a palacsinta szuszceptorok az LPE, a CSD és a Gemini egységekhez, valamint az egylapos szuszceptorok az alkalmazott és az ASM egységekhez.

A vezető OEM-ekkel, az anyagok szakértelemmel és a gyártási know-how-val való erős partnerség ötvözésével az állatorvos az Ön alkalmazásához optimális tervezést kínál.

A VET Energy az aegyedi grafit és szilícium-karbid termékek valódi gyártója CVD bevonattal,tud ellátnikülönféleszemélyre szabott alkatrészek a félvezető- és fotovoltaikus ipar számára. Oműszaki csapatunk a legjobb hazai kutatóintézetekből érkezik, professzionálisabb anyagi megoldásokat tud nyújtanineked.

Ftermékeink jellemzői:

1. Magas hőmérsékletű oxidációs ellenállás 1700-ig℃.
2. Nagy tisztaságú éstermikus egyenletesség
3. Kiváló korrózióállóság: sav, lúg, só és szerves reagensek.
4. Nagy keménység, tömör felület, finom részecskék.
5. Hosszabb élettartam és tartósabb

CVD SiC薄膜基本物理性能 A CVD SiC alapvető fizikai tulajdonságaibevonat
性质 / Ingatlan	典型数值 / Tipikus érték
晶体结构 / Kristályszerkezet	FCC β fázis多晶，主要为（111）取向
密度 / Sűrűség	3,21 g/cm³
硬度 / Keménység	2500 维氏硬度 (500 g töltet)
晶粒大小 / Grain Size	2~10μm
纯度 / Kémiai tisztaság	99,99995%
热容 / Hőkapacitás	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Szublimációs hőmérséklet	2700 ℃
抗弯强度 / Hajlítóerő	415 MPa RT 4 pontos
杨氏模量 / Young's Modulus	430 Gpa 4pt kanyar, 1300 ℃
导热系数 / ThermalVezetőképesség	300W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Hőtágulás (CTE)	4,5×10^-6K^-1