A HaladóSiC konzolos lapátA vet-china által létrehozott Wafer Processing kiváló megoldást kínál a félvezetőgyártáshoz. Ez a konzolos lapát SiC (szilícium-karbid) anyagból készült, és nagy keménysége és hőállósága lehetővé teszi, hogy kiváló teljesítményt tartson fenn magas hőmérsékleten és korrozív környezetben. A konzolos lapát kialakítása lehetővé teszi az ostya megbízható alátámasztását a feldolgozás során, csökkentve ezzel a töredezettség és sérülés kockázatát.
SiC konzolos lapátegy speciális alkatrész, amelyet félvezető-gyártó berendezésekben, például oxidációs kemencében, diffúziós kemencében és lágyító kemencében használnak, fő felhasználási területe az ostya be- és kirakodása, ostyák támogatása és szállítása magas hőmérsékletű folyamatok során.
Közös szerkezetek-bólSiccantikarpmegrohaszt: az egyik végén rögzített, a másikon szabad konzolos szerkezet jellemzően lapos és lapátszerű kialakítású.
A VET Energy nagy tisztaságú újrakristályosított szilícium-karbid anyagokat használ a minőség garantálása érdekében.
Az újrakristályosított szilícium-karbid fizikai tulajdonságai | |
Ingatlan | Tipikus érték |
Üzemi hőmérséklet (°C) | 1600°C (oxigénnel), 1700°C (redukáló környezet) |
SiC tartalom | > 99,96% |
Ingyenes Si tartalom | < 0,1% |
Térfogatsűrűség | 2,60-2,70 g/cm3 |
Látszólagos porozitás | < 16% |
Nyomószilárdság | > 600MPa |
Hideg hajlítószilárdság | 80-90 MPa (20°C) |
Meleg hajlítószilárdság | 90-100 MPa (1400°C) |
Hőtágulás 1500°C-on | 4,70 10-6/°C |
Hővezetőképesség @1200°C | 23W/m•K |
Rugalmassági modulus | 240 GPa |
Hőütésállóság | Rendkívül jó |
A VET Energy Advanced SiC konzolos lapátjának előnyei az ostyafeldolgozáshoz:
-Magas hőmérsékleti stabilitás: 1600°C feletti környezetben használható;
- Alacsony hőtágulási együttható: megőrzi a méretstabilitást, csökkenti a lapkák vetemedésének kockázatát;
-Nagy tisztaság: kisebb a fémszennyeződés kockázata;
-Kémiai tehetetlenség: korrózióálló, különféle gázkörnyezetekhez alkalmas;
-Nagy szilárdság és keménység: Kopásálló, hosszú élettartam;
-Jó hővezető képesség: segíti az egyenletes ostyamelegítést.