vet-china prezante inovatè vètikal kolòn wafer bato a & pedestal, yon solisyon konplè pou pwosesis semi-conducteurs avanse. Ki fèt ak presizyon metikuleu, sistèm manyen wafer sa a bay estabilite ak aliyman san parèy, enpòtan anpil pou anviwònman fabrikasyon ki gen gwo efikasite.
Vètikal Kolòn Wafer Boat & Pedestal la konstwi ak materyèl prim ki garanti estabilite tèmik ak rezistans nan korozyon chimik, ki fè li apwopriye pou pwosesis fabrikasyon semi-conducteurs ki pi egzijan. Konsepsyon kolòn vètikal inik li sipòte wafers an sekirite, diminye risk pou yo pa aliyman ak domaj potansyèl pandan transpò ak pwosesis.
Avèk entegrasyon vètikal kolòn wafer bato & pedestal vet-china a, manifaktirè semi-conducteurs ka espere amelyore debi, minimize D ', ak ogmante sede pwodwi. Sistèm sa a se konpatib ak divès gwosè wafer ak konfigirasyon, ofri fleksibilite ak évolutivité pou bezwen pwodiksyon diferan.
Angajman vet-china pou ekselans asire ke chak kolòn vètikal Wafer Boat & Pedestal satisfè estanda ki pi wo nan bon jan kalite ak pèfòmans. Lè w chwazi solisyon dènye kri sa a, ou envesti nan yon apwòch prèv lavni nan manyen wafer ki maksimize efikasite ak fyab nan fabrikasyon semi-conducteurs.
Pwopriyete carbure Silisyòm rkristalize
Rekristalize carbure Silisyòm (R-SiC) se yon materyèl ki wo-pèfòmans ak dite dezyèm sèlman dyaman, ki fòme nan yon tanperati ki wo pi wo pase 2000 ℃. Li kenbe anpil pwopriyete ekselan nan SiC, tankou fòs tanperati ki wo, fò rezistans korozyon, ekselan rezistans oksidasyon, bon rezistans chòk tèmik ak sou sa.
● Ekselan pwopriyete mekanik. Rekristalize carbure Silisyòm gen pi gwo fòs ak rèd pase fib kabòn, gwo rezistans enpak, ka jwe yon bon pèfòmans nan anviwònman tanperati ekstrèm, ka jwe yon pi bon pèfòmans kontrekilib nan yon varyete sitiyasyon. Anplis de sa, li tou gen bon fleksibilite epi li pa fasil domaje pa etann ak koube, ki anpil amelyore pèfòmans li yo.
● Segondè rezistans korozyon. Rekristalize carbure Silisyòm gen gwo rezistans korozyon nan yon varyete medya, ka anpeche ewozyon nan yon varyete medya korozivite, ka kenbe pwopriyete mekanik li yo pou yon tan long, gen yon adezyon fò, se konsa ke li gen yon lavi sèvis ki pi long. Anplis de sa, li tou gen bon estabilite tèmik, ka adapte yo ak yon seri sèten nan chanjman tanperati, amelyore efè aplikasyon li yo.
● Sintering pa retresi. Paske pwosesis sintering la pa retresi, pa gen okenn estrès rezidyèl ki pral lakòz deformation oswa fann nan pwodwi a, ak pati ki gen fòm konplèks ak gwo presizyon ka prepare.
重结晶碳化硅物理特性 Pwopriyete fizik rekristalize Silisyòm Carbide | |
性质 / Pwopriyete | 典型数值 / Valè tipik |
使用温度/ Tanperati travay (°C) | 1600 ° C (ak oksijèn), 1700 ° C (diminye anviwònman) |
SiC含量/ SiC kontni | > 99.96% |
自由Si含量/ Gratis Si kontni | <0.1% |
体积密度/Dansite esansyèl | 2.60-2.70 g/cm3 |
气孔率/ Aparan porosite | < 16% |
抗压强度/ Fòs konpresyon | > 600MPa |
常温抗弯强度/Fwad koube fòs | 80-90 MPa (20 ° C) |
高温抗弯强度Fòs koube cho | 90-100 MPa (1400 ° C) |
热膨胀系数/ Ekspansyon tèmik @1500°C | 4.70 10-6/°C |
导热系数/Konduktivite tèmik @ 1200 ° C | 23W/m•K |
杨氏模量/ Modil elastik | 240 GPa |
抗热震性/ Rezistans chòk tèmik | Ekstrèmman bon |
Enèji VET se lamanifakti reyèl nan grafit Customized ak pwodwi carbure Silisyòm ak kouch CVD,ka baydivès kalitepati Customized pou endistri semi-conducteurs ak fotovoltaik. Oekip teknik nou an soti nan enstitisyon rechèch domestik pi wo yo, ka bay solisyon materyèl plis pwofesyonèlpou ou.
Nou kontinyèlman devlope pwosesis avanse pou bay materyèl ki pi avanse,epite travay soti yon teknoloji eksklizif patante, ki ka fè lyezon ki genyen ant kouch la ak substra a pi sere ak mwens tandans fè detachman.
CVD SiC薄膜基本物理性能 Pwopriyete fizik debaz CVD SiCkouch | |
性质 / Pwopriyete | 典型数值 / Valè tipik |
晶体结构 / Crystal Estrikti | FCC β faz多晶,主要为(111)取向 |
密度 / Dansite | 3.21 g / cm³ |
硬度 / Dite | 2500 维氏硬度(500g chaj) |
晶粒大小 / Gwosè Grenn | 2 ~ 10μm |
纯度 / Pite chimik | 99.99995% |
热容 / Kapasite Chalè | 640 J·kg-1·K-1 |
升华温度 / Tanperati sublimasyon | 2700℃ |
抗弯强度 / Fòs Flexural | 415 MPa RT 4-pwen |
杨氏模量 / Modil Young | 430 Gpa 4pt pliye, 1300 ℃ |
导热系数 / ThermalKonduktivite | 300W·m-1·K-1 |
热膨胀系数 / Ekspansyon tèmik (CTE) | 4.5 × 10-6K-1 |
Byenveni ou vizite faktori nou an, se pou nou gen plis diskisyon!