Ki jan yo netwaye bato grafit PECVD？| Enèji VET

1. Rekonesans anvan netwaye

1) Lè aPECVD bato grafit/ carrier yo itilize plis pase 100 a 150 fwa, operatè a bezwen tcheke kondisyon kouch nan tan. Si gen yon kouch nòmal, li bezwen netwaye ak konfime. Koulè kouch nòmal nan wafer nan Silisyòm nan bato a grafit / konpayi asirans se ble. Si wafer la gen koulè ki pa ble, miltip, oswa diferans koulè ant gaufre yo gwo, li se yon kouch nòmal, ak kòz anomali a bezwen konfime nan tan.
2) Apre pèsonèl pwosesis la analize kondisyon kouch nanPECVD bato grafit/carrier, yo pral detèmine si kannòt la grafit bezwen netwaye epi si pwen kat la bezwen ranplase, epi bato/transporteur grafit ki bezwen netwaye yo pral remèt bay pèsonèl ekipman yo pou netwaye.

 

3) Apre labato grafit/ carrier andomaje, pèsonèl pwodiksyon an pral retire tout Silisyòm wafers nan kannòt grafit la epi sèvi ak CDA (lè konprese) pou regle fragman yo nan la.bato grafit. Apre fini, pèsonèl ekipman an pral leve li nan tank asid ki te prepare ak yon sèten pwopòsyon solisyon HF pou netwaye.

 

2. Netwayaj bato grafit

Li rekòmande pou itilize yon solisyon 15-25% asid idrofluorik pou twa jij netwayaj, chak pou 4-5 èdtan, ak detanzantan ebulisyon nitwojèn pandan pwosesis la tranpe ak netwayaj, ajoute apeprè mwatye yon èdtan nan netwaye; nòt: li pa rekòmande yo sèvi ak lè dirèkteman kòm sous gaz la pou ebulisyon. Apre marinated, rense l avèk dlo pi pou apeprè 10 èdtan, epi konfime ke bato a te byen netwaye. Apre w fin netwaye, tanpri tcheke sifas bato a, pwen kat grafit la ak jwenti fèy bato a, ak lòt pati pou wè si gen okenn rezidi nitrure Silisyòm. Lè sa a, sèk selon kondisyon yo.

3. Prekosyon netwayaj

A) Depi asid HF se yon sibstans ki trè korozif epi li gen yon sèten volatilité, li danjere pou operatè yo. Se poutèt sa, operatè nan pòs netwayaj la dwe pran prekosyon sekirite epi yo dwe jere pa yon moun devwe.

B) Li rekòmande pou demonte kannòt la epi sèlman netwaye pati grafit la pandan netwaye, pou chak pati kontak ka netwaye pi byen. Kounye a, anpil manifaktirè domestik sèvi ak netwayaj jeneral, ki se pratik, men paske asid HF se korozif nan pati seramik, netwayaj jeneral pral diminye lavi sa a ki sèvis nan pati ki koresponn yo.