Pwosesis UV pou anbalaj Fan-Out Wafer-Level

Fan out wafer nivo anbalaj (FOWLP) se yon metòd pri-la efikas nan endistri semi-conducteurs. Men, efè segondè tipik nan pwosesis sa a se deformation ak konpanse chip. Malgre amelyorasyon kontinyèl nan nivo wafer ak panèl nivo fanatik soti teknoloji, pwoblèm sa yo ki gen rapò ak bòdi toujou egziste.

Deformation ki te koze pa kontraksyon chimik nan konpoze likid konpresyon bòdi (LCM) pandan geri ak refwadisman apre bòdi. Dezyèm rezon pou deformation se dezakò nan koyefisyan ekspansyon tèmik (CTE) ant chip Silisyòm, materyèl bòdi ak substra. Offset se akòz lefèt ke materyèl gluan bòdi ak kontni filler segondè anjeneral ka itilize sèlman anba tanperati ki wo ak presyon ki wo. Kòm chip la fikse nan konpayi asirans lan atravè lyezon tanporè, ogmante tanperati a pral adousi adezif la, kidonk febli fòs adezif li yo ak diminye kapasite li nan ranje chip la. Dezyèm rezon pou konpanse a se ke presyon ki nesesè pou bòdi kreye estrès sou chak chip.

Pou jwenn solisyon pou defi sa yo, DELO te fè yon etid posibilite lè li kole yon senp chip analòg sou yon konpayi asirans. An tèm de konfigirasyon, wafer konpayi asirans lan kouvwi ak adezif lyezon tanporè, epi yo mete chip la fas anba. Imedyatman, wafer la te modle lè l sèvi avèk adezif viskozite ki ba DELO ak geri ak radyasyon iltravyolèt anvan yo retire wafer konpayi asirans lan. Nan aplikasyon sa yo, yo anjeneral itilize konpoze segondè viskozite thermosetting bòdi.

640

DELO te konpare tou deformation nan materyèl bòdi thermosetting ak UV geri pwodwi nan eksperyans la, ak rezilta yo te montre ke materyèl bòdi tipik ta defòme pandan peryòd la refwadisman apre thermosetting. Se poutèt sa, lè l sèvi avèk tanperati chanm nan geri iltravyolèt olye pou yo geri chofaj ka redwi anpil enpak nan dezakò koyefisyan ekspansyon tèmik ant konpoze an bòdi ak konpayi asirans lan, kidonk minimize deformation nan pi gwo limit posib.

Itilizasyon materyèl geri iltravyolèt kapab tou redwi itilizasyon file, kidonk diminye viskozite ak modil Young. Viskozite adezif modèl yo itilize nan tès la se 35000 mPa · s, ak modil Young la se 1 GPa. Akòz absans chofaj oswa presyon ki wo sou materyèl la bòdi, konpanse chip ka minimize nan pi gwo limit posib. Yon konpoze bòdi tipik gen yon viskozite apeprè 800000 mPa · s ak yon modil Young nan seri de chif.

An jeneral, rechèch te montre ke lè l sèvi avèk UV materyèl geri pou bòdi gwo zòn se benefisye pou pwodwi chip lidè fanatik soti anbalaj nivo wafer, pandan y ap minimize warpage ak konpanse chip nan pi gwo limit posib. Malgre diferans enpòtan nan koyefisyan ekspansyon tèmik ant materyèl yo itilize, pwosesis sa a toujou gen plizyè aplikasyon akòz absans varyasyon tanperati a. Anplis de sa, geri UV kapab tou redwi tan geri ak konsomasyon enèji.

640

UV olye pou yo geri tèmik diminye deformation ak chanjman mouri nan anbalaj fanatik-out wafer-nivo.

Konparezon 12-pous kouvwi wafers w ap itilize yon tèmik geri, gwo-filler konpoze (A) ak yon UV-geri konpoze (B)


Tan poste: Nov-05-2024
Chat sou entènèt WhatsApp!