Jan yo montre pi wo a, se yon tipik
Premye mwatye:
Eleman chofaj (chofaj bobin): sitiye alantou tib la gwo founo dife, anjeneral, te fè nan fil rezistans, yo itilize pou chofe andedan tib la gwo founo dife.
Quartz Tib: Nwayo yon gwo founo oksidasyon cho, ki fèt ak kwatz pite ki ka kenbe tèt ak tanperati ki wo epi rete chimikman inaktif.
Manje gaz: Sitiye nan anwo oswa bò tib la gwo founo dife, li itilize pou transpòte oksijèn oswa lòt gaz nan andedan tib la gwo founo dife.
SS Flange: eleman ki konekte tib kwatz ak liy gaz, asire sere ak estabilite koneksyon an.
Liy Alimentation Gaz: Tiyo ki konekte MFC a ak pò ekipman pou gaz pou transmisyon gaz.
MFC (Mass Flow Controller) : Yon aparèy ki kontwole koule gaz andedan yon tib kwatz pou kontwole jisteman kantite gaz ki nesesè.
Vant: Itilize pou vantilasyon gaz echapman ki soti anndan tib founo a rive deyò ekipman an.
Pati ki pi ba
Silisyòm Wafers nan Holder: Silisyòm Wafers yo loje nan yon Holder espesyal pou asire chalè inifòm pandan oksidasyon.
Wafer Holder: Yo itilize pou kenbe wafer Silisyòm lan epi asire ke wafer Silisyòm lan rete estab pandan pwosesis la.
Pedestal: Yon estrikti ki kenbe yon Silisyòm Wafer Holder, anjeneral ki fèt ak yon materyèl ki reziste tanperati ki wo.
Asansè: Yo itilize pou leve detantè Wafer nan ak soti nan tib kwatz pou chaje ak dechaje otomatik nan gaufre Silisyòm.
Wafer Transfer Robot: sitiye sou bò aparèy tib founo a, li itilize otomatikman retire wafer Silisyòm nan bwat la epi mete l nan tib founo a, oswa retire li apre pwosesis la.
Carousel depo kasèt: Carousel depo kasèt yo itilize pou estoke yon bwat ki gen wafers Silisyòm epi yo ka vire toutotou pou aksè robo.
Kasèt wafer: yo itilize kasèt wafer pou estoke ak transfere silisyòm kasèt yo dwe trete.
Lè poste: Apr-22-2024