Yo eksplike estrikti entèn ekipman tib founo a an detay

Jan yo montre pi wo a, se yon tipik

Premye mwatye:

▪ Eleman chofaj (bobin chofaj):

sitiye alantou tib la gwo founo dife, anjeneral, te fè nan fil rezistans, yo itilize pou chofe andedan tib la gwo founo dife.

▪ Tib kwatz:

Nwayo a nan yon gwo founo oksidasyon cho, ki fèt ak kwatz pite ki ka kenbe tèt ak tanperati ki wo epi rete chimikman inaktif.

▪ Manje gaz:

Sitiye nan anwo a oswa bò nan tib la gwo founo dife, li se itilize pou transpòte oksijèn oswa lòt gaz nan andedan tib la gwo founo dife.

▪ Bride SS:

konpozan ki konekte tib kwatz ak liy gaz, asire sere ak estabilite koneksyon an.

▪ Liy pou bay gaz:

Tiyo ki konekte MFC a ak pò ekipman pou gaz pou transmisyon gaz.

▪ MFC (Mass Flow Controller) :

Yon aparèy ki kontwole koule gaz andedan yon tib kwatz pou kontwole jisteman kantite gaz ki nesesè.

▪ Vant:

Itilize pou vantilasyon gaz echapman ki soti anndan tib founo a rive deyò ekipman an.

Pati ki pi ba:

▪ Silisyòm Wafers nan Holder:

Wafers Silisyòm yo loje nan yon Holder espesyal pou asire chalè inifòm pandan oksidasyon.

▪ Detantè wafer:

Yo itilize pou kenbe wafer Silisyòm lan epi asire ke wafer Silisyòm lan rete estab pandan pwosesis la.

▪ Pedestal:

Yon estrikti ki kenbe yon Silisyòm Wafer Holder, anjeneral ki fèt ak yon materyèl ki reziste tanperati ki wo.

▪ Asansè:

Itilize pou leve detantè Wafer nan ak soti nan tib kwatz pou chaje ak dechaje otomatik nan gaufre Silisyòm.

▪ Wobo transfè wafer:

sitiye sou bò aparèy tib founo a, li itilize otomatikman retire wafer Silisyòm nan bwat la epi mete l nan tib la gwo founo dife, oswa retire li apre pwosesis la.

▪ Carousel depo kasèt:

Carousel depo kasèt yo itilize pou estoke yon bwat ki gen gauf Silisyòm epi li ka vire pou jwenn aksè nan robo.

▪ Kasèt Wafer:

kasèt wafer yo itilize pou estoke ak transfere gaufre yo Silisyòm yo dwe trete.