Pwodiksyon aparèy semi-kondiktè sitou gen ladan aparèy disrè, sikui entegre ak pwosesis anbalaj yo.
Pwodiksyon Semiconductor ka divize an twa etap: pwodiksyon materyèl kò pwodwi, pwodwiwaferfabrikasyon ak asanble aparèy. Pami yo, polisyon ki pi grav la se etap manifakti wafer pwodwi a.
Polyan yo sitou divize an dlo ize, gaz fatra ak fatra solid.
Pwosesis fabrikasyon chip:
Silisyòm waferapre ekstèn fanm k'ap pile - netwaye - oksidasyon - inifòm reziste - fotolitografi - devlopman - grave - difizyon, enplantasyon ion - depo vapè chimik - polisaj chimik mekanik - metalizasyon, elatriye.
Dlo ize
Yon gwo kantite dlo ize pwodwi nan chak etap pwosesis nan fabrikasyon semi-conducteurs ak tès anbalaj, sitou asid-baz dlo ize, dlo ize ki gen amonyak ak dlo ize òganik.
1. Dlo ize ki gen fliyò:
Asid idrofluorik vin sòlvan prensipal yo itilize nan pwosesis oksidasyon ak grave akòz pwopriyete oksidan ak korozivite li yo. Dlo ize ki gen fliyò nan pwosesis la sitou soti nan pwosesis difizyon ak pwosesis polisaj chimik mekanik nan pwosesis fabrikasyon chip. Nan pwosesis netwayaj Silisyòm gauf ak istansil ki gen rapò, yo itilize asid idroklorik tou anpil fwa. Tout pwosesis sa yo ranpli nan tank grave dedye oswa ekipman netwayaj, kidonk dlo ize ki gen fliyò ka egzeyate poukont yo. Dapre konsantrasyon an, li ka divize an gwo konsantrasyon fliyò ki gen dlo ize ak ba-konsantrasyon amonyak ki gen dlo ize. Anjeneral, konsantrasyon wo-konsantrasyon amonyak ki gen dlo ize ka rive nan 100-1200 mg / L. Pifò konpayi resikle pati sa a nan dlo ize pou pwosesis ki pa bezwen bon jan kalite dlo.
2. Asid-baz dlo ize:
Prèske tout pwosesis nan pwosesis manifakti sikwi entegre mande pou chip la dwe netwaye. Kounye a, asid silfirik ak oksijene idwojèn se likid netwayaj ki pi souvan itilize nan pwosesis manifakti sikwi entegre. An menm tan an, yo itilize reyaktif asid-baz tankou asid nitrique, asid idroklorik ak dlo amonyak.
Dlo ize asid-baz nan pwosesis fabrikasyon an sitou soti nan pwosesis netwayaj nan pwosesis fabrikasyon chip la. Nan pwosesis anbalaj, chip la trete ak solisyon asid-baz pandan galvanizasyon ak analiz chimik. Apre tretman an, li bezwen lave ak dlo pi bon kalite pou pwodwi asid-baz lave dlo ize. Anplis de sa, reyaktif asid-baz tankou idroksid sodyòm ak asid idroklorik yo itilize tou nan estasyon dlo pi bon kalite pou rejenere rezin anyon ak kation pou pwodwi dlo ize rejenerasyon asid-baz. Lave dlo ke yo pwodui tou pandan pwosesis lave gaz fatra asid-baz la. Nan konpayi manifakti sikwi entegre, kantite dlo ize asid-baz patikilyèman gwo.
3. Dlo ize òganik:
Akòz pwosesis pwodiksyon diferan, kantite solvang òganik yo itilize nan endistri semi-conducteurs trè diferan. Sepandan, kòm ajan netwayaj, solvang òganik yo toujou lajman itilize nan plizyè lyen nan anbalaj manifakti. Gen kèk solvang ki vin ekoulman dlo ize òganik.
4. Lòt dlo ize:
Pwosesis la grave nan pwosesis pwodiksyon semi-conducteurs la pral sèvi ak yon gwo kantite amonyak, fliyò ak gwo pite dlo pou dekontaminasyon, kidonk jenere gwo konsantrasyon amonyak ki gen dlo ize.
Pwosesis galvanoplastie a mande nan pwosesis anbalaj semi-conducteurs. Chip la bezwen netwaye apre galvanizasyon, epi yo pral pwodwi dlo ize netwayaj electroplating nan pwosesis sa a. Depi kèk metal yo itilize nan galvanoplastie, pral gen emisyon metal metal nan dlo ize netwayaj galvanoplastie, tankou plon, fèblan, disk, zenk, aliminyòm, elatriye.
Gaz dechè
Depi pwosesis semi-conducteur a gen kondisyon trè wo pou pwòpte nan sal operasyon an, fanatik yo anjeneral yo itilize ekstrè divès kalite gaz fatra volatilize pandan pwosesis la. Se poutèt sa, emisyon gaz fatra nan endistri semi-conducteurs yo karakterize pa gwo volim echapman ak konsantrasyon emisyon ki ba. Emisyon gaz fatra yo tou sitou volatilize.
Emisyon gaz fatra sa yo ka sitou divize an kat kategori: gaz asid, gaz alkalin, gaz dechè òganik ak gaz toksik.
1. Gaz dechè asid-baz:
Gaz dechè asid-baz sitou soti nan difizyon,CVD, CMP ak pwosesis grave, ki itilize solisyon netwayaj asid-baz pou netwaye wafer la.
Kounye a, sòlvan netwayaj ki pi souvan itilize nan pwosesis fabrikasyon semi-conducteurs se yon melanj de oksijene idwojèn ak asid silfirik.
Gaz dechè ki pwodui nan pwosesis sa yo gen ladan gaz asid tankou asid silfirik, asid fluoridrik, asid asid, asid nitrique ak asid fosfò, ak gaz alkalin se sitou amonyak.
2. Gaz dechè òganik:
Gaz dechè òganik yo sitou soti nan pwosesis tankou fotolitografi, devlopman, grave ak difizyon. Nan pwosesis sa yo, yo itilize solisyon òganik (tankou alkòl izopropil) pou netwaye sifas wafer la, ak gaz fatra ki te pwodwi pa volatilizasyon se youn nan sous gaz fatra òganik;
An menm tan an, photoresist la (photoresist) yo itilize nan pwosesis la nan fotolitografi ak grave gen solvang òganik temèt, tankou acetate butyl, ki volatilize nan atmosfè a pandan pwosesis la pwosesis wafer, ki se yon lòt sous gaz fatra òganik.
3. Gaz dechè toksik:
Gaz dechè toksik sitou soti nan pwosesis tankou epitaksi kristal, grave sèk ak CVD. Nan pwosesis sa yo, yo itilize yon varyete de gaz espesyal ki pite pou trete wafer la, tankou Silisyòm (SiHj), fosfò (PH3), tetrachloride kabòn (CFJ), borane, trioksid bor, elatriye Gen kèk gaz espesyal ki toksik, asfiksi ak korozivite.
An menm tan an, nan pwosesis la grave sèk ak netwayaj apre depo vapè chimik nan fabrikasyon semi-conducteurs, yo mande yon gwo kantite gaz plen oksid (PFCS), tankou NFS, C2F & CR, C3FS, CHF3, SF6, elatriye. Sa yo konpoze perfluorinated. gen absòpsyon fò nan rejyon an limyè enfrawouj epi rete nan atmosfè a pou yon tan long. Yo jeneralman konsidere kòm sous prensipal efè lakòz efè tèmik mondyal la.
4. Pwosesis anbalaj gaz fatra:
Konpare ak pwosesis fabrikasyon semi-conducteurs, gaz fatra ki te pwodwi pa pwosesis anbalaj semi-conducteur a se relativman senp, sitou gaz asid, résine epoksidik ak pousyè.
Gaz dechè asid se sitou pwodwi nan pwosesis tankou galvanoplastie;
Se gaz dechè boulanjri pwodwi nan pwosesis la nan boulanjri apre pwodwi kole ak sele;
Machin nan dicing jenere gaz fatra ki gen tras pousyè Silisyòm pandan pwosesis la koupe wafer.
Pwoblèm polisyon anviwònman an
Pou pwoblèm polisyon nan anviwònman an nan endistri semi-conducteurs, pwoblèm prensipal yo ki bezwen rezoud yo se:
· Emisyon nan gwo echèl polyan lè yo ak konpoze òganik temèt (VOC) nan pwosesis fotolitografi a;
· Emisyon konpoze perfluorinated (PFCS) nan plasma grave ak pwosesis depo chimik vapè;
· Konsomasyon gwo echèl enèji ak dlo nan pwodiksyon ak pwoteksyon sekirite travayè yo;
· Resiklaj ak siveyans polisyon sou pwodwi yo;
· Pwoblèm nan itilize pwodui chimik danjere nan pwosesis anbalaj.
Pwodiksyon pwòp
Semiconductor aparèy teknoloji pwodiksyon pwòp ka amelyore nan aspè yo nan matyè premyè, pwosesis ak kontwòl pwosesis.
Amelyore matyè premyè ak enèji
Premyèman, pite a nan materyèl yo ta dwe estrikteman kontwole diminye entwodiksyon nan enpurte ak patikil.
Dezyèmman, divès kalite tanperati, deteksyon koule, Vibration, chòk elektrik wo-vòltaj ak lòt tès yo ta dwe te pote soti sou eleman yo fèk ap rantre oswa pwodwi semi-fini anvan yo mete nan pwodiksyon an.
Anplis de sa, pite nan materyèl oksilyè yo ta dwe entèdi kontwole. Gen relativman anpil teknoloji ki ka itilize pou pwodiksyon enèji pwòp.
Optimize pwosesis pwodiksyon an
Endistri semi-conducteurs tèt li fè efò pou redwi enpak li sou anviwònman an atravè amelyorasyon teknoloji pwosesis.
Pou egzanp, nan ane 1970 yo, solvang òganik yo te sitou itilize pou netwaye wafers nan teknoloji netwayaj sikwi entegre. Nan ane 1980 yo, solisyon asid ak alkali tankou asid silfirik yo te itilize pou netwaye wafers. Jiska ane 1990 yo, teknoloji netwayaj oksijèn plasma te devlope.
An tèm de anbalaj, pifò konpayi yo kounye a itilize teknoloji galvanoplastie, ki pral lakòz polisyon metal lou nan anviwònman an.
Sepandan, plant anbalaj nan Shanghai pa sèvi ak teknoloji galvanoplastie ankò, kidonk pa gen okenn enpak metal lou sou anviwònman an. Li ka jwenn ke endistri semi-conducteur a piti piti diminye enpak li sou anviwònman an atravè amelyorasyon pwosesis ak sibstitisyon chimik nan pwosesis devlopman pwòp li yo, ki tou swiv tandans aktyèl devlopman mondyal la nan defann pwosesis ak konsepsyon pwodwi ki baze sou anviwònman an.
Kounye a, plis amelyorasyon pwosesis lokal yo ap fèt, tankou:
·Ranplasman ak rediksyon gaz PFCS tout-amonyòm, tankou lè l sèvi avèk gaz PFC ki gen efè sèr ki ba pou ranplase gaz ki gen gwo efè sèr, tankou amelyore koule pwosesis ak diminye kantite gaz PFCS yo itilize nan pwosesis la;
·Amelyore netwayaj milti-gaflèt nan netwayaj sèl-wafer pou diminye kantite ajan netwayaj chimik yo itilize nan pwosesis netwayaj la.
· Kontwòl pwosesis strik:
a. Reyalize automatisation nan pwosesis fabrikasyon, ki ka reyalize pwosesis egzak ak pwodiksyon pakèt, epi redwi pousantaj erè segondè nan operasyon manyèl;
b. Ultra-pwòp faktè anviwònman pwosesis, apeprè 5% oswa mwens nan pèt sede a ki te koze pa moun ak anviwònman an. Pwosesis ultra-pwòp faktè anviwònman sitou gen ladan pwòpte lè a, dlo pite segondè, lè konprese, CO2, N2, tanperati, imidite, elatriye. Se nivo pwòpte nan yon atelye pwòp souvan mezire pa kantite maksimòm patikil yo pèmèt pou chak volim inite nan. lè, se sa ki, konsantrasyon konte patikil;
c. Ranfòse deteksyon, epi chwazi pwen kle apwopriye pou deteksyon nan estasyon travay ak gwo kantite fatra pandan pwosesis pwodiksyon an.
Byenveni nenpòt kliyan soti nan tout mond lan vizite nou pou yon diskisyon plis!
https://www.vet-china.com/
https://www.facebook.com/people/Ningbo-Miami-Advanced-Material-Technology-Co-Ltd/100085673110923/
https://www.linkedin.com/company/100890232/admin/page-posts/published/
https://www.youtube.com/@user-oo9nl2qp6j
Tan pòs: Out-13-2024