VET Enèji grafit wafer bato se yon bon jan kalite konsomab pwepare pou pwosesis depo nan semi-conducteurs, fotovoltaik ak lòt endistri yo. Te fè nan materyèl grafit segondè-pite, segondè-dansite, pwodwi sa a gen ekselan rezistans tanperati ki wo, rezistans korozyon, estabilite dimansyon ak lòt karakteristik, epi li ka bay yon platfòm konpayi asirans ki estab pou pwosesis la depo asire inifòmite a ak flatness nan depo fim mens. .
Bato grafit PECVD ki soti nan Enèji VET fabrike ak grafit izostatik-wo pite, prezante porosite anba a 15% ak brutality sifas Ra≤1.6μm. Estabilite nan dimansyon siperyè ak konduktiviti tèmik asire depo fim inifòm ak efikasite selil amelyore.
Materyèl grafit soti nan SGL:
| Paramèt tipik: R6510 | |||
| Endèks | Tès estanda | Valè | Inite |
| Mwayèn gwosè grenn | ISO 13320 | 10 | μm |
| Dansite esansyèl | DIN IEC 60413/204 | 1.83 | g/cm3 |
| Louvri porosite | DIN66133 | 10 | % |
| Mwayen gwosè pò | DIN66133 | 1.8 | μm |
| Pèmeyabilite | DIN 51935 | 0.06 | cm²/s |
| Rockwell dite HR5/100 | DIN IEC60413/303 | 90 | HR |
| Espesifik rezistivite elektrik | DIN IEC 60413/402 | 13 | μΩm |
| Fòs flexural | DIN IEC 60413/501 | 60 | MPa |
| Fòs konpresyon | DIN 51910 | 130 | MPa |
| Modil Young la | DIN 51915 | 11.5 × 10³ | MPa |
| Ekspansyon tèmik (20-200 ℃) | DIN 51909 | 4.2X10-6 | K-1 |
| Konduktivite tèmik (20 ℃) | DIN 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
Li fèt espesyalman pou fabrikasyon selil solè wo-efikasite, sipòte G12 gwo-gwosè pwosesis wafer. Konsepsyon konpayi asirans optimize ogmante siyifikativman debi, sa ki pèmèt pi gwo pousantaj sede ak pi ba pri pwodiksyon.
| Atik | Kalite | Nimewo transpòtè wafer |
| PEVCD Grephite bato - Seri 156 la | 156-13 bato grefit | 144 |
| 156-19 bato grefit | 216 | |
| 156-21 bato grefit | 240 | |
| 156-23 bato grafit | 308 | |
| PEVCD Grephite bato - Seri 125 la | 125-15 bato grefit | 196 |
| 125-19 bato grefit | 252 | |
| 125-21 bato grphite | 280 |
