Enèji VETPwosesis PECVD grafit konpayi asirans se yon bon jan kalite konsomab pwepare pou pwosesis PECVD (plasma amelyore depo chimik vapè). Sa a se konpayi asirans grafit te fè nan pite-wo, segondè-dansite materyèl grafit, ak ekselan rezistans tanperati ki wo, rezistans korozyon, estabilite dimansyon ak lòt karakteristik, ka bay yon platfòm konpayi asirans ki estab pou pwosesis PECVD, asire inifòmite a ak plat nan fim mens. depozisyon.
Pòtè grafit pou pwosesis PECVD gen karakteristik sa yo:
▪ Pite segondè: kontni enpurte ki ba anpil, evite kontaminasyon fim nan epi asire bon jan kalite fim nan.
▪ Segondè dansite: segondè dansite, segondè fòs mekanik, kapab kenbe tèt ak tanperati ki wo ak gwo presyon anviwònman PECVD.
▪ Bon estabilite dimansyon: ti chanjman dimansyon nan tanperati ki wo, asire estabilite pwosesis.
▪ Ekselan konduktiviti tèmik: efektivman transfere chalè pou anpeche wafer surchof.
▪ Bonjan rezistans korozyon: kapab reziste ewozyon pa divès gaz korozivite ak plasma.
▪ Sèvis Customized: transpòtè grafit diferan gwosè ak fòm yo ka Customized selon bezwen kliyan yo.
Materyèl grafit soti nan SGL:
Paramèt tipik: R6510 | |||
Endèks | Tès estanda | Valè | Inite |
Mwayèn gwosè grenn | ISO 13320 | 10 | μm |
Dansite esansyèl | DIN IEC 60413/204 | 1.83 | g/cm3 |
Louvri porosite | DIN66133 | 10 | % |
Mwayen gwosè pò | DIN66133 | 1.8 | μm |
Pèmeyabilite | DIN 51935 | 0.06 | cm²/s |
Rockwell dite HR5/100 | DIN IEC60413/303 | 90 | HR |
Espesifik rezistivite elektrik | DIN IEC 60413/402 | 13 | μΩm |
Fòs flexural | DIN IEC 60413/501 | 60 | MPa |
Fòs konpresyon | DIN 51910 | 130 | MPa |
Modil Young la | DIN 51915 | 11.5 × 10³ | MPa |
Ekspansyon tèmik (20-200 ℃) | DIN 51909 | 4.2X10-6 | K-1 |
Konduktivite tèmik (20 ℃) | DIN 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
Li fèt espesyalman pou fabrikasyon selil solè wo-efikasite, sipòte G12 gwo-gwosè pwosesis wafer. Konsepsyon konpayi asirans optimize ogmante siyifikativman debi, sa ki pèmèt pi gwo pousantaj sede ak pi ba pri pwodiksyon.
Atik | Kalite | Nimewo transpòtè wafer |
PEVCD Grephite bato - Seri 156 la | 156-13 bato grefit | 144 |
156-19 bato grefit | 216 | |
156-21 bato grefit | 240 | |
156-23 bato grafit | 308 | |
PEVCD Grephite bato - Seri 125 la | 125-15 bato grefit | 196 |
125-19 bato grefit | 252 | |
125-21 bato grphite | 280 |