Enèji VETBato grafit PECVD pou selil solè yo se yon konsome debaz ki fèt pou pwosesis PECVD (plasma amelyore depo chimik vapè) nan selil solè yo. Se bato a grafit te fè nan grafit izostatik-wo pite ak yon porosite ki gen mwens pase 15% ak yon brutality sifas nan Ra≤1.6μm. Li gen pwopriyete ekselan tankou rezistans tanperati ki wo, rezistans korozyon, ak estabilite dimansyon. Ekselan estabilite dimansyon ak konduktiviti tèmik asire depo fim inifòm ak amelyore efikasite batri. Li ka bay yon konpayi asirans ki estab nan yon anviwònman PECVD wo-tanperati ak presyon ki wo pou asire depo inifòm ak kalite siperyè fim selil solè.
Materyèl grafit soti nan SGL:
| Paramèt tipik: R6510 | |||
| Endèks | Tès estanda | Valè | Inite |
| Mwayèn gwosè grenn | ISO 13320 | 10 | μm |
| Dansite esansyèl | DIN IEC 60413/204 | 1.83 | g/cm3 |
| Louvri porosite | DIN66133 | 10 | % |
| Mwayen gwosè pò | DIN66133 | 1.8 | μm |
| Pèmeyabilite | DIN 51935 | 0.06 | cm²/s |
| Rockwell dite HR5/100 | DIN IEC60413/303 | 90 | HR |
| Espesifik rezistivite elektrik | DIN IEC 60413/402 | 13 | μΩm |
| Fòs flexural | DIN IEC 60413/501 | 60 | MPa |
| Fòs konpresyon | DIN 51910 | 130 | MPa |
| Modil Young la | DIN 51915 | 11.5 × 10³ | MPa |
| Ekspansyon tèmik (20-200 ℃) | DIN 51909 | 4.2X10-6 | K-1 |
| Konduktivite tèmik (20 ℃) | DIN 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
Li fèt espesyalman pou fabrikasyon selil solè wo-efikasite, sipòte G12 gwo-gwosè pwosesis wafer. Konsepsyon konpayi asirans optimize ogmante siyifikativman debi, sa ki pèmèt pi gwo pousantaj sede ak pi ba pri pwodiksyon.
| Atik | Kalite | Nimewo transpòtè wafer |
| PEVCD Grephite bato - Seri 156 la | 156-13 bato grefit | 144 |
| 156-19 bato grefit | 216 | |
| 156-21 bato grefit | 240 | |
| 156-23 bato grafit | 308 | |
| PEVCD Grephite bato - Seri 125 la | 125-15 bato grefit | 196 |
| 125-19 bato grefit | 252 | |
| 125-21 bato grphite | 280 |
