Grafitna ladica za taloženje PECVD ladice za utovar

Grafitna ladica za taloženje PECVD ladice Istaknuta slika

Kratki opis:

VET Energy's PECVD Loading Tray dizajniran je za pružanje sigurne i ravnomjerne potpore za pločice tijekom taloženja, poboljšavajući dosljednost i kvalitetu procesa taloženja. Sa svojom izvrsnom otpornošću na toplinu, Graphite Tray pomaže u održavanju kontroliranog okruženja unutar PECVD komora, smanjujući rizik od kontaminacije i osiguravajući visoku učinkovitost procesa.

Pošaljite nam e-poštu Preuzmite kao PDF

Pojedinosti o proizvodu

Oznake proizvoda

VET Energy PECVD ladica za utovar je precizni nosač dizajniran za PECVD (plazma poboljšano kemijsko taloženje iz pare) proces. Ova visokokvalitetna taložna grafitna ladica izrađena je od grafitnog materijala visoke čistoće i velike gustoće. Ima izvrsnu otpornost na visoke temperature, otpornost na koroziju, dimenzijsku stabilnost i druge karakteristike. Može pružiti stabilnu nosivu platformu za PECVD proces i osigurati ujednačenost i ravnomjernost taloženja filma.

VET Energy PECVD ladice za utovar naširoko se koriste u poluvodičkim, fotonaponskim, LED i drugim područjima. Na primjer:

▪ Poluvodič: PECVD postupak za poluvodičke materijale kao što su silikonske pločice i epitaksijalne pločice.

▪ Fotonaponski: PECVD proces za tanke slojeve solarnih ćelija.

▪ LED: PECVD proces za LED čipove.

Prednosti proizvoda

▪Poboljšajte kvalitetu filma:Osigurajte ravnomjerno taloženje filma i poboljšajte kvalitetu filma.

▪Produžite vijek trajanja opreme:Izvrsna otpornost na koroziju, produžuje radni vijek PECVD opreme.

▪Smanjite troškove proizvodnje:Visokokvalitetne grafitne ladice mogu smanjiti stopu otpada i troškove proizvodnje.

Grafitni materijal iz SGL-a:

Tipični parametar: R6510
Indeks	Testni standard	Vrijednost	Jedinica
Prosječna veličina zrna	ISO 13320	10	μm
Nasipna gustoća	DIN IEC 60413/204	1.83	g/cm³
Otvorena poroznost	DIN66133	10	%
Srednje veličine pora	DIN66133	1.8	μm
Propusnost	DIN 51935	0,06	cm²/s
Tvrdoća po Rockwellu HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Specifični električni otpor	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Čvrstoća na savijanje	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Čvrstoća na pritisak	DIN 51910	130	MPa
Youngov modul	DIN 51915	11,5×10³	MPa
Toplinska ekspanzija (20-200 ℃)	DIN 51909	4.2X10^-6	K^-1
Toplinska vodljivost (20 ℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Posebno je dizajniran za visokoučinkovitu proizvodnju solarnih ćelija, podržava G12 obradu pločica velike veličine. Optimizirani dizajn nosača značajno povećava propusnost, omogućujući veće stope prinosa i niže troškove proizvodnje.

Artikal	Tip	Nosač napolitanki s brojem
PEVCD Grephite brod - Serija 156	156-13 brod od grefita	144
	156-19 brod od grefita	216
	156-21 brod od grefita	240
	156-23 grafitni čamac	308
PEVCD Grephite brod - serija 125	125-15 brod od grefita	196
	125-19 brod od grefita	252
	125-21 grfitni čamac	280