PECVD Graphite Wafer Support

Podrška za PECVD grafitnu pločicu Istaknuta slika

Kratki opis:

Dizajnirana za preciznost i izvedbu, VET Energy Graphite Wafer Support je idealan materijal za korištenje u naprednoj obradi wafera, gdje su visoka toplinska stabilnost i dosljedna izvedba kritični. Bilo da radite s poluvodičkim pločicama ili drugim osjetljivim supstratima, ovaj visokokvalitetni grafitni nosač će poboljšati pouzdanost vašeg procesa i kvalitetu proizvoda, čineći ga nezamjenjivom komponentom za modernu proizvodnju.

Pošaljite nam e-poštu Preuzmite kao PDF

Pojedinosti o proizvodu

Oznake proizvoda

VET Energy PECVD proces grafitne pločice je osnovni potrošni materijal dizajniran za PECVD (plazma poboljšano kemijsko taloženje iz pare) proces. Ovaj proizvod je izrađen od grafitnog materijala visoke čistoće, visoke gustoće, s izvrsnom otpornošću na visoke temperature, otpornošću na koroziju, dimenzionalnom stabilnošću i drugim karakteristikama, može pružiti stabilnu potpornu platformu za PECVD proces, kako bi se osigurala ujednačenost i ravnomjernost taloženja filma.

Dizajn "grafitne potpore" VET Energy grafitne potpore za pločice ne samo da može učinkovito poduprijeti pločicu, već i pružiti toplinsku stabilnost u PECVD okruženju visoke temperature i visokog tlaka kako bi se osigurala stabilnost procesa.

VET Energy PECVD proces grafitne ploče ima sljedeće karakteristike:

▪Visoka čistoća:iznimno nizak sadržaj nečistoća, izbjegavajte kontaminaciju filma kako biste osigurali kvalitetu filma.

▪Visoka gustoća:visoka gustoća, visoka mehanička čvrstoća, može izdržati visoku temperaturu i visoki tlak PECVD okruženja.

▪Dobra dimenzijska stabilnost:male promjene dimenzija na visokoj temperaturi kako bi se osigurala stabilnost procesa.

▪Izvrsna toplinska vodljivost:učinkovito prenose toplinu kako bi spriječili pregrijavanje vafla.

▪Jaka otpornost na koroziju:Može se oduprijeti eroziji raznim korozivnim plinovima i plazmom.

▪Prilagođena usluga:Grafitni potporni stolovi različitih veličina i oblika mogu se prilagoditi prema potrebama kupaca.

Grafitni materijal iz SGL-a:

Tipični parametar: R6510
Indeks	Testni standard	Vrijednost	Jedinica
Prosječna veličina zrna	ISO 13320	10	μm
Nasipna gustoća	DIN IEC 60413/204	1.83	g/cm³
Otvorena poroznost	DIN66133	10	%
Srednje veličine pora	DIN66133	1.8	μm
Propusnost	DIN 51935	0,06	cm²/s
Tvrdoća po Rockwellu HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Specifični električni otpor	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Čvrstoća na savijanje	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Čvrstoća na pritisak	DIN 51910	130	MPa
Youngov modul	DIN 51915	11,5×10³	MPa
Toplinska ekspanzija (20-200 ℃)	DIN 51909	4.2X10^-6	K^-1
Toplinska vodljivost (20 ℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Posebno je dizajniran za visokoučinkovitu proizvodnju solarnih ćelija, podržava G12 obradu pločica velike veličine. Optimizirani dizajn nosača značajno povećava propusnost, omogućujući veće stope prinosa i niže troškove proizvodnje.

Artikal	Tip	Nosač napolitanki s brojem
PEVCD Grephite brod - Serija 156	156-13 brod od grefita	144
	156-19 brod od grefita	216
	156-21 brod od grefita	240
	156-23 grafitni čamac	308
PEVCD Grephite brod - serija 125	125-15 brod od grefita	196
	125-19 brod od grefita	252
	125-21 grfitni čamac	280