Držač ploča od grafitne podloge za PECVD

Držač pločica od grafitne podloge za PECVD Istaknuta slika

Kratki opis:

Grafitni držač supstrata tvrtke VET Energy projektiran je za održavanje poravnanja pločica i stabilnosti tijekom PECVD procesa, sprječavajući kontaminaciju i smanjujući rizik od oštećenja. Grafitni držač pločica pruža sigurnu, ravnomjernu platformu, osiguravajući da su pločice ravnomjerno izložene plazmi za dosljedno i visokokvalitetno taloženje. Sa svojom visokom toplinskom vodljivošću i izuzetnom čvrstoćom, ovaj držač pomaže u poboljšanju ukupne učinkovitosti procesa i performansi proizvoda.

Pošaljite nam e-poštu Preuzmite kao PDF

Pojedinosti o proizvodu

Oznake proizvoda

VET Energy Graphite Substrate Wafer Holder je precizni nosač dizajniran za PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) proces. Ovaj visokokvalitetni držač grafitne podloge izrađen je od grafitnog materijala visoke čistoće, visoke gustoće, s izvrsnom otpornošću na visoke temperature, otpornošću na koroziju, dimenzijskom stabilnošću i drugim karakteristikama. Može pružiti stabilnu potpornu platformu za PECVD proces i osigurati ujednačenost i ravnomjernost taloženja filma.

VET Energy PECVD proces grafitne potporne ploče ima sljedeće karakteristike:

▪Visoka čistoća:iznimno nizak sadržaj nečistoća, izbjegavanje kontaminacije filma, osiguravanje kvalitete filma.

▪Visoka gustoća:visoka gustoća, visoka mehanička čvrstoća, može izdržati visoku temperaturu i visoki tlak PECVD okruženja.

▪Dobra dimenzijska stabilnost:male promjene dimenzija na visokoj temperaturi, osiguravajući stabilnost procesa.

▪Izvrsna toplinska vodljivost:učinkovito prenose toplinu kako bi spriječili pregrijavanje vafla.

▪Jaka otpornost na koroziju:može se oduprijeti eroziji raznim korozivnim plinovima i plazmom.

▪Prilagođena usluga:Grafitni potporni stolovi različitih veličina i oblika mogu se prilagoditi prema potrebama kupaca.

Prednosti proizvoda

▪Poboljšajte kvalitetu filma:Osigurajte ravnomjerno taloženje filma i poboljšajte kvalitetu filma.

▪Produžite vijek trajanja opreme:Izvrsna otpornost na koroziju, produžuje radni vijek PECVD opreme.

▪Smanjite troškove proizvodnje:Visokokvalitetne grafitne ladice mogu smanjiti stopu otpada i troškove proizvodnje.

Grafitni materijal iz SGL-a:

Tipični parametar: R6510
Indeks	Testni standard	Vrijednost	Jedinica
Prosječna veličina zrna	ISO 13320	10	μm
Nasipna gustoća	DIN IEC 60413/204	1.83	g/cm³
Otvorena poroznost	DIN66133	10	%
Srednje veličine pora	DIN66133	1.8	μm
Propusnost	DIN 51935	0,06	cm²/s
Tvrdoća po Rockwellu HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Specifični električni otpor	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Čvrstoća na savijanje	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Čvrstoća na pritisak	DIN 51910	130	MPa
Youngov modul	DIN 51915	11,5×10³	MPa
Toplinska ekspanzija (20-200 ℃)	DIN 51909	4.2X10^-6	K^-1
Toplinska vodljivost (20 ℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Posebno je dizajniran za visokoučinkovitu proizvodnju solarnih ćelija, podržava G12 obradu pločica velike veličine. Optimizirani dizajn nosača značajno povećava propusnost, omogućujući veće stope prinosa i niže troškove proizvodnje.

Artikal	Tip	Nosač napolitanki s brojem
PEVCD Grephite brod - Serija 156	156-13 brod od grefita	144
	156-19 brod od grefita	216
	156-21 brod od grefita	240
	156-23 grafitni čamac	308
PEVCD Grephite brod - serija 125	125-15 brod od grefita	196
	125-19 brod od grefita	252
	125-21 grfitni čamac	280