Lub luag haujlwm ntawm PECVD graphite nkoj yog dab tsi?

Raws li cov cab kuj ntawm ib txwm silicon wafers nyob rau hauv zus tau tej cov txheej txheem txheej, lubgraphite nkojmuaj ntau lub nkoj wafers nrog rau qee lub sijhawm hauv cov qauv, thiab muaj qhov nqaim heev ntawm ob lub nkoj wafers uas nyob ib sab, thiab silicon wafers muab tso rau ntawm ob sab ntawm lub qhov rooj khoob.

Vim tias graphite, cov khoom siv ntawm lub nkoj graphite, muaj kev ua haujlwm zoo thiab thermal conductivity, AC voltage yog siv los ntawm ob lub nkoj uas nyob ib sab los tsim cov electrodes zoo thiab tsis zoo. Thaum muaj qee qhov huab cua siab thiab roj hauv chav, lub teeb ci tshwm sim ntawm ob lub nkoj. Lub glow paug tuaj yeem decompose SiH4 thiab NH3 roj nyob rau hauv qhov chaw, tsim Si thiab N ions, thiab ua ke los ua SiNx molecules Nws tau tso rau saum npoo ntawm silicon wafer kom ua tiav lub hom phiaj ntawm txheej.

Raws li tus neeg nqa khoom ntawm lub hnub ci cell antireflection txheej, cov qauv thiab qhov loj ntawm graphite nkoj ncaj qha cuam tshuam rau kev hloov dua siab tshiab thiab kev ua haujlwm ntawm silicon wafer. Tom qab xyoo ntawm kev tshawb fawb thiab kev tsim kho, peb lub tuam txhab tam sim no muaj cov cuab yeej tsim khoom siab heev, cov neeg tsim khoom siv thev naus laus zis thiab cov neeg ua haujlwm paub txog ntau lawm, thiab cov ntaub ntawv yog cov khoom siv raw khoom. Tam sim no, lub nkoj graphite tsim los ntawm peb lub tuam txhab muaj qhov zoo ntawm kev ua haujlwm siab Cov qauv yooj yim thiab qhov kev ncua deb ntawm lub nkoj graphite yog qhov tsim nyog, uas ua rau cov txheej txheem ntawm silicon wafer uniform, txhim kho qhov zoo ntawm silicon wafer, thiab ua rau lub hnub ci zog conversion efficiency siab. Shijin tuam txhab muaj tag nrho cov hom ntawm number case nkoj uas lub lag luam xav tau tam sim no

21


Post lub sij hawm: Apr-08-2021
WhatsApp pawg online sib tham!