1. Kev lees paub ua ntej ntxuav
1) Thaum twgPECVD graphite nkoj/ tus neeg nqa khoom siv ntau dua 100 txog 150 zaug, tus neeg teb xov tooj yuav tsum tau kuaj xyuas cov txheej txheem txheej hauv lub sijhawm. Yog tias muaj txheej txheej txawv txav, nws yuav tsum tau ntxuav thiab paub tseeb. Cov xim txheej txheej ntawm silicon wafer nyob rau hauv lub nkoj graphite / carrier yog xiav. Yog tias lub wafer tsis muaj xim xiav, ntau xim, lossis xim txawv ntawm cov wafers loj, nws yog txheej txheej txawv txav, thiab qhov ua rau ntawm qhov txawv txav yuav tsum tau lees paub raws sijhawm.
2) Tom qab cov txheej txheem cov neeg ua haujlwm txheeb xyuas cov txheej txheem txheej txheej ntawm lubPECVD graphite nkoj/ cov neeg nqa khoom, lawv yuav txiav txim siab seb lub nkoj graphite puas yuav tsum tau ntxuav thiab seb daim npav npav puas yuav tsum tau hloov, thiab lub nkoj graphite / lub nkoj uas xav tau ntxuav yuav raug xa mus rau cov cuab yeej siv los ntxuav.
3) Tom qab ntawvgraphite nkoj/ cov cab kuj raug puas ntsoog, cov neeg ua haujlwm tsim khoom yuav tshem tawm tag nrho cov silicon wafers hauv lub nkoj graphite thiab siv CDA (compressed cua) los txheeb xyuas cov khoom tawg hauv lub nkoj.graphite nkoj. Tom qab ua tiav, cov neeg ua haujlwm cov cuab yeej yuav nqa nws mus rau hauv lub tank acid uas tau npaj nrog ib feem ntawm HF tov rau kev ntxuav.
2. Kev ntxuav ntawm graphite nkoj
Nws raug nquahu kom siv 15-25% hydrofluoric acid tov rau peb zaug ntawm kev tu, txhua txhua 4-5 teev, thiab ntuav bubbling nitrogen thaum lub sijhawm so thiab ntxuav, ntxiv li ib nrab teev ntawm kev tu; Nco tseg: nws tsis pom zoo kom siv huab cua ncaj qha los ua cov pa roj rau bubbling. Tom qab pickling, yaug nrog dej ntshiab li 10 teev, thiab paub meej tias lub nkoj tau raug ntxuav kom huv si. Tom qab ntxuav, thov xyuas qhov saum npoo ntawm lub nkoj, daim npav graphite thiab lub nkoj daim ntawv sib koom ua ke, thiab lwm yam kom pom tias muaj cov khoom siv silicon nitride residue. Tom qab ntawd qhuav raws li qhov yuav tsum tau ua.
3. Kev ceev faj tu
A) Txij li HF acid yog cov khoom muaj corrosive heev thiab muaj qee yam tsis hloov pauv, nws yog qhov txaus ntshai rau cov neeg ua haujlwm. Yog li ntawd, cov neeg ua haujlwm ntawm qhov chaw tu yuav tsum tau ceev faj txog kev nyab xeeb thiab raug tswj los ntawm tus neeg mob siab rau.
B) Nws raug nquahu kom disassemble lub nkoj thiab tsuas yog ntxuav cov graphite thaum lub sij hawm ntxuav, kom txhua qhov sib cuag tuaj yeem ntxuav tau zoo dua. Tam sim no, ntau lub tuam txhab tsim hluav taws xob hauv tsev siv kev tu tag nrho, uas yooj yim, tab sis vim HF acid yog corrosive rau cov khoom siv ceramic, kev tu tag nrho yuav ua rau lub neej luv ntawm cov khoom sib xws.
Post lub sij hawm: Dec-23-2024