Hauv qee cov txheej txheem ntim khoom, cov khoom ntim nrog sib txawv thermal expansion coefficients yog siv. Thaum lub sij hawm ntim cov txheej txheem, lub wafer muab tso rau ntawm lub ntim substrate, thiab tom qab ntawd cov kauj ruam cua sov thiab cua txias yog ua kom tiav cov ntim. Txawm li cas los xij, vim qhov tsis sib xws ntawm thermal expansion coefficient ntawm cov khoom ntim thiab cov wafer, thermal stress ua rau lub wafer warp. Tuaj thiab saib nrog tus editor ~
Dab tsi yog wafer warpage?
Waferwarpage yog hais txog kev khoov lossis kev sib tw ntawm lub wafer thaum lub sijhawm ntim khoom.Waferwarpage tuaj yeem ua rau kev sib txawv ntawm qhov sib txawv, cov teeb meem vuam thiab cov cuab yeej ua haujlwm tsis zoo thaum lub sijhawm ntim khoom.
Txo cov ntim raug:Waferwarpage tuaj yeem ua rau kev sib txawv ntawm qhov sib txawv thaum lub sijhawm ntim khoom. Thaum lub wafer deforms thaum lub sij hawm ntim txheej txheem, kev sib dhos ntawm cov nti thiab cov khoom ntim yuav raug cuam tshuam, uas ua rau tsis muaj peev xwm ua kom raug cov pins txuas lossis cov pob qij txha. Qhov no txo qhov raug ntim thiab tej zaum yuav ua rau tsis ruaj khov lossis tsis ntseeg siab ntawm cov khoom siv.
Nce mechanical stress:Waferwarpage qhia txog kev nyuaj siab ntxiv. Vim lub deformation ntawm lub wafer nws tus kheej, cov neeg kho tshuab kev nyuaj siab thov thaum lub sij hawm ntim txheej txheem yuav nce. Qhov no yuav ua rau muaj kev ntxhov siab nyob rau hauv lub wafer, cuam tshuam rau cov khoom thiab cov qauv ntawm lub cuab yeej, thiab txawm ua rau sab hauv wafer puas los yog ntaus ntawv tsis ua hauj lwm.
Kev ua haujlwm degradation:Wafer warpage tuaj yeem ua rau cov cuab yeej ua haujlwm tsis zoo. Cheebtsam thiab Circuit Court layout ntawm lub wafer yog tsim los ntawm ib tug tiaj tus. Yog tias wafer warps, nws yuav cuam tshuam rau kev sib txuas hluav taws xob, teeb liab kis tau tus mob thiab kev tswj xyuas thermal ntawm cov khoom siv. Qhov no yuav ua rau muaj teeb meem hauv kev ua haujlwm hluav taws xob, kev ceev, kev siv hluav taws xob lossis kev ntseeg siab ntawm lub cuab yeej.
Vuam teeb meem:Wafer warpage tuaj yeem ua rau muaj teeb meem vuam. Thaum lub sij hawm vuam txheej txheem, yog hais tias lub wafer yog khoov los yog twisted, lub zog faib thaum lub sij hawm welding txheej txheem yuav tsis sib xws, ua rau tsis zoo ntawm cov pob qij txha los yog solder sib koom ua ke. Qhov no yuav muaj kev cuam tshuam tsis zoo rau kev ntseeg siab ntawm pob.
Ua rau wafer warpage
Cov hauv qab no yog qee yam uas yuav ua rauwaferwarpage:
1.Thermal stress:Thaum lub sij hawm ntim txheej txheem, vim qhov kub hloov pauv, cov khoom sib txawv ntawm lub wafer yuav muaj qhov sib txawv thermal expansion coefficients, uas ua rau wafer warpage.
2.Cov khoom tsis sib xws:Thaum lub sij hawm tsim cov txheej txheem wafer, qhov tsis sib xws ntawm cov khoom siv kuj yuav ua rau wafer warpage. Piv txwv li, qhov sib txawv ntawm cov khoom sib txawv los yog thicknesses nyob rau hauv ntau qhov chaw ntawm lub wafer yuav ua rau lub wafer deform.
3.Txheej txheem parameter:Kev tswj tsis raug ntawm qee cov txheej txheem tsis zoo hauv cov txheej txheem ntim khoom, xws li kub, av noo, huab cua siab, thiab lwm yam, kuj tuaj yeem ua rau wafer warpage.
Kev daws
Qee qhov kev ntsuas los tswj wafer warpage:
Txheej txheem optimization:Txo qhov kev pheej hmoo ntawm wafer warpage los ntawm optimizing lub ntim txheej txheem tsis. Qhov no suav nrog kev tswj tsis tau xws li kub thiab av noo, cua sov thiab cua txias, thiab cua siab thaum lub sijhawm ntim khoom. Kev xaiv tsim nyog ntawm cov txheej txheem tsis tuaj yeem txo qhov cuam tshuam ntawm thermal stress thiab txo qhov muaj peev xwm ntawm wafer warpage.
Ntim cov khoom xaiv:Xaiv cov khoom ntim tsim nyog los txo qhov kev pheej hmoo ntawm wafer warpage. Lub thermal expansion coefficient ntawm cov khoom ntim yuav tsum sib npaug ntawm cov wafer kom txo wafer deformation los ntawm thermal stress. Nyob rau tib lub sijhawm, cov khoom siv kho tshuab thiab kev ruaj ntseg ntawm cov khoom ntim kuj yuav tsum tau txiav txim siab los xyuas kom meej tias qhov teeb meem wafer warpage tuaj yeem daws tau zoo.
Wafer tsim thiab tsim optimization:Thaum lub sij hawm tsim thiab tsim cov txheej txheem ntawm wafer, qee qhov kev ntsuas yuav raug coj los txo qhov kev pheej hmoo ntawm wafer warpage. Qhov no suav nrog kev ua kom zoo dua qub ntawm cov khoom siv, tswj cov tuab thiab qhov chaw tiaj tus ntawm wafer, thiab lwm yam. Los ntawm kev tswj cov txheej txheem tsim khoom ntawm wafer, qhov kev pheej hmoo ntawm deformation ntawm wafer nws tus kheej tuaj yeem txo.
Thermal tswj ntsuas:Thaum lub sij hawm ntim cov txheej txheem, kev tswj xyuas thermal yog coj los txo qhov kev pheej hmoo ntawm wafer warpage. Qhov no suav nrog kev siv cov khoom siv cua sov thiab cua txias nrog qhov ntsuas kub zoo sib xws, tswj qhov kub thiab txias gradients thiab kub hloov pauv, thiab siv cov txheej txheem txias kom tsim nyog. Kev tswj xyuas thermal zoo tuaj yeem txo qhov cuam tshuam ntawm thermal stress ntawm wafer thiab txo qhov muaj peev xwm ntawm wafer warpage.
Kev ntsuas thiab ntsuas ntsuas:Thaum lub sij hawm ntim cov txheej txheem, nws yog ib qho tseem ceeb heev kom tsis tu ncua xyuas thiab kho wafer warpage. Los ntawm kev siv cov cuab yeej nrhiav kom tau qhov tseeb, xws li kev ntsuas qhov muag lossis cov cuab yeej ntsuas tshuab, cov teeb meem wafer warpage tuaj yeem tshawb pom ntxov thiab cov kev hloov kho tau raug coj los siv. Qhov no yuav suav nrog kev hloov kho cov ntim khoom, hloov cov khoom ntim, lossis kho cov txheej txheem tsim khoom wafer.
Nws yuav tsum raug sau tseg tias kev daws qhov teeb meem ntawm wafer warpage yog ib txoj haujlwm nyuaj thiab yuav tsum tau xav txog ntau yam thiab rov ua kom zoo dua qub thiab hloov kho. Hauv kev siv tiag tiag, cov kev daws teeb meem tshwj xeeb yuav sib txawv nyob ntawm cov khoom xws li cov txheej txheem ntim khoom, cov khoom siv wafer, thiab cov khoom siv. Yog li ntawd, nyob ntawm qhov xwm txheej tshwj xeeb, kev ntsuas tsim nyog tuaj yeem xaiv thiab coj los daws qhov teeb meem ntawm wafer warpage.
Post lub sij hawm: Dec-16-2024