Cov txheej txheem sab hauv ntawm cov cuab yeej siv lub tshuab hluav taws xob tau piav qhia meej

Raws li qhia saum toj no, yog ib yam

Thawj ib nrab:

▪ Heating Element (cov cua kub cua sov):

nyob ib ncig ntawm lub qhov cub hluav taws xob, feem ntau yog ua los ntawm cov xaim hluav taws xob, siv los ua kom sov rau sab hauv ntawm lub cub tawg.

▪ Quartz Tube:

Cov tub ntxhais ntawm lub qhov cub oxidation kub, ua los ntawm high-purity quartz uas tuaj yeem tiv taus qhov kub thiab txias thiab nyob twj ywm tsis muaj zog.

▪ Gas Pub:

Nyob rau sab sauv los yog sab ntawm lub cub tawg, nws yog siv los thauj cov pa oxygen los yog lwm yam gases mus rau sab hauv ntawm lub cub tawg.

▪ SS Flange:

Cheebtsam uas txuas quartz hlab thiab cov roj kab, kom ntseeg tau qhov nruj thiab ruaj khov ntawm kev sib txuas.

▪ Gas Feed Lines:

Cov kav dej uas txuas MFC mus rau qhov chaw nres nkoj roj rau kev xa roj.

▪ MFC (Mass Flow Controller):

Ib qho khoom siv uas tswj cov roj ntws hauv lub raj quartz kom meej meej tswj cov roj uas xav tau.

▪ Qhov cua:

Siv los tso cov pa tso pa tawm hauv lub qhov cub rau sab nraud ntawm cov khoom siv.

Sab hauv qab:

▪ Silicon Wafers nyob rau hauv Holder:

Silicon wafers nyob rau hauv ib tug tshwj xeeb Holder los xyuas kom meej lub teeb thaum tshav kub kub oxidation.

▪ Wafer Holder:

Siv los tuav lub silicon wafer thiab xyuas kom meej tias silicon wafer tseem ruaj khov thaum lub sijhawm ua haujlwm.

▪ Pedestal:

Ib qho qauv uas tuav lub silicon wafer Holder, feem ntau yog ua los ntawm cov khoom siv kub-resistant.

▪ of elevator:

Siv los nqa Wafer tuav rau hauv thiab tawm ntawm quartz raj rau tsis siv neeg thauj khoom thiab unloading ntawm silicon wafers.

▪ Wafer Hloov Neeg Hlau:

nyob rau sab ntawm lub tshuab hluav taws xob lub tshuab hluav taws xob, nws yog siv los tshem tawm cov silicon wafer los ntawm lub thawv thiab muab tso rau hauv lub tshuab hluav taws xob, lossis tshem tawm tom qab ua tiav.