Cov txheej txheem sab hauv ntawm cov cuab yeej siv lub tshuab hluav taws xob tau piav qhia meej

Raws li qhia saum toj no, yog ib yam

Thawj ib nrab:
Cov Cuab Yeej Cuab Yeej (cov cua kub cua sov): nyob ib ncig ntawm lub tshuab hluav taws xob, feem ntau yog ua los ntawm cov xaim hluav taws xob, siv los ua cua sov rau sab hauv ntawm lub cub tawg.
Quartz Tube: Cov tub ntxhais ntawm lub qhov cub oxidation kub, ua los ntawm cov purity quartz uas tuaj yeem tiv taus qhov kub thiab txias thiab nyob twj ywm tsis muaj zog.
Gas Feed: Nyob rau sab sauv los yog sab ntawm lub cub tawg, nws yog siv los thauj cov pa oxygen los yog lwm yam gases mus rau sab hauv ntawm lub cub tawg.
SS Flange: cov khoom sib txuas uas txuas quartz raj thiab roj kab, kom ntseeg tau qhov nruj thiab ruaj khov ntawm kev sib txuas.
Gas Feed Lines: Cov kav dej uas txuas MFC rau qhov chaw nres nkoj roj rau kev xa roj.
MFC (Mass Flow Controller): Ib qho khoom siv uas tswj cov roj ntws hauv lub raj quartz kom tswj tau cov roj ntau npaum li cas.
Lub Vent: Siv los tso cov pa tso pa tawm hauv lub qhov cub rau sab nraud ntawm cov khoom siv.

qis dua
Silicon Wafers nyob rau hauv Holder: Silicon wafers yog nyob rau hauv ib tug tshwj xeeb tuav los xyuas kom meej thaum tshav kub kub thaum oxidation.
Wafer Holder: Siv los tuav lub silicon wafer thiab xyuas kom meej tias silicon wafer tseem ruaj khov thaum lub sijhawm ua haujlwm.
Pedestal: Ib qho qauv uas tuav lub silicon wafer Holder, feem ntau yog ua los ntawm cov khoom siv kub-resistant.
of the elevator: Siv los nqa Wafer tuav rau hauv thiab tawm ntawm quartz raj rau tsis siv neeg thauj khoom thiab unloading ntawm silicon wafers.
Wafer Transfer Robot: nyob rau sab ntawm lub tshuab hluav taws xob lub tshuab hluav taws xob, nws yog siv los tshem tawm cov silicon wafer los ntawm lub thawv thiab muab tso rau hauv lub cub tawg, lossis tshem tawm tom qab ua tiav.
Cassette Storage Carousel: Cassette cia carousel yog siv los khaws ib lub thawv uas muaj silicon wafers thiab tuaj yeem tig rau neeg hlau.
Wafer Cassette: wafer cassette yog siv los khaws thiab hloov cov silicon wafers kom ua tiav.