स्वनिर्धारितसेमीकंडक्टर सिलिकॉन वेफर के लिए ग्रेफाइट हीटर
तकनीकी विशिष्टता | VET-M3 |
थोक घनत्व (जी/सेमी3) | ≥1.85 |
राख सामग्री (पीपीएम) | ≤500 |
किनारों का कड़ापन | ≥45 |
विशिष्ट प्रतिरोध (μ.Ω.m) | ≤12 |
लचीली ताकत (एमपीए) | ≥40 |
संपीड़न शक्ति (एमपीए) | ≥70 |
अधिकतम. अनाज का आकार (μm) | ≤43 |
तापीय विस्तार गुणांक एमएम/डिग्री सेल्सियस | ≤4.4*10-6
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