SiC कोटिंग ग्रेफाइट MOCVD वेफर कैरियर, ग्रेफाइट सुसेप्टर्स के लिएSiC एपिटैक्सी,
कार्बन संग्राहकों की आपूर्ति करता है, ग्रेफाइट एपिटेक्सी रिसेप्टर्स, ग्रेफाइट समर्थन सबस्ट्रेट्स, एमओसीवीडी ससेप्टर, SiC एपिटैक्सी, वेफर ससेप्टर्स,
हमारे SiC-लेपित ग्रेफाइट रिसेप्टर्स के विशेष लाभों में अत्यधिक उच्च शुद्धता, समरूप कोटिंग और उत्कृष्ट सेवा जीवन शामिल हैं। इनमें उच्च रासायनिक प्रतिरोध और तापीय स्थिरता गुण भी होते हैं।
सेमीकंडक्टर अनुप्रयोगों के लिए ग्रेफाइट सब्सट्रेट की SiC कोटिंग बेहतर शुद्धता और ऑक्सीकरण वातावरण के प्रतिरोध के साथ एक भाग का उत्पादन करती है।
CVD SiC या CVI SiC को सरल या जटिल डिज़ाइन भागों के ग्रेफाइट पर लागू किया जाता है। कोटिंग को अलग-अलग मोटाई में और बहुत बड़े हिस्से में लगाया जा सकता है।
विशेषताएँ:
· उत्कृष्ट थर्मल शॉक प्रतिरोध
· उत्कृष्ट शारीरिक आघात प्रतिरोध
·उत्कृष्ट रासायनिक प्रतिरोध
· अति उच्च शुद्धता
· जटिल आकार में उपलब्धता
· ऑक्सीकरण वातावरण के तहत प्रयोग करने योग्य
आवेदन पत्र:
बेस ग्रेफाइट सामग्री के विशिष्ट गुण:
स्पष्ट घनत्व: | 1.85 ग्राम/सेमी3 |
विद्युत प्रतिरोधकता: | 11 μΩm |
फ्लेक्सुरल स्ट्रेंथ: | 49 एमपीए (500किग्रा/सेमी2) |
किनारों का कड़ापन: | 58 |
राख: | <5पीपीएम |
ऊष्मीय चालकता: | 116 डब्लू/एमके (100 किलो कैलोरी/एमएचआर-℃) |
कार्बन संग्राहकों की आपूर्ति करता हैऔर सभी मौजूदा एपिटेक्सी रिएक्टरों के लिए ग्रेफाइट घटक। हमारे पोर्टफोलियो में एप्लाइड और एलपीई इकाइयों के लिए बैरल ससेप्टर्स, एलपीई, सीएसडी और जेमिनी इकाइयों के लिए पैनकेक ससेप्टर्स और एप्लाइड और एएसएम इकाइयों के लिए सिंगल-वेफर ससेप्टर्स शामिल हैं। अग्रणी ओईएम, सामग्री विशेषज्ञता और विनिर्माण जानकारी के साथ मजबूत साझेदारी के संयोजन से, एसजीएल आपके एप्लिकेशन के लिए इष्टतम डिज़ाइन प्रदान करता है।