SiC लेपित ग्रेफाइट कैरियर/ससेप्टर

संक्षिप्त वर्णन:

वीईटी एनर्जी सीआईसी कोटेड ग्रेफाइट कैरियर/ससेप्टर एक उच्च प्रदर्शन वाला उत्पाद है जिसे विस्तारित अवधि में लगातार और विश्वसनीय प्रदर्शन प्रदान करने के लिए डिज़ाइन किया गया है। इसमें बहुत अच्छा गर्मी प्रतिरोध और थर्मल एकरूपता, उच्च शुद्धता, क्षरण प्रतिरोध है, जो इसे वेफर प्रसंस्करण अनुप्रयोगों के लिए सही समाधान बनाता है।

 


उत्पाद विवरण

उत्पाद टैग

SiC लेपित ससेटपोर विभिन्न अर्धचालक विनिर्माण प्रक्रियाओं में उपयोग किया जाने वाला एक प्रमुख घटक है। हम अत्यंत उच्च शुद्धता, अच्छी कोटिंग एकरूपता और उत्कृष्ट सेवा जीवन के साथ-साथ उच्च रासायनिक प्रतिरोध और थर्मल स्थिरता गुणों के साथ SiC लेपित ससेटपोर बनाने के लिए अपनी पेटेंट तकनीक का उपयोग करते हैं।

हमारे उत्पादों की विशेषताएं:

1. 1700℃ तक उच्च तापमान ऑक्सीकरण प्रतिरोध।
2. उच्च शुद्धता और तापीय एकरूपता
3. उत्कृष्ट संक्षारण प्रतिरोध: अम्ल, क्षार, नमक और कार्बनिक अभिकर्मक।
4. उच्च कठोरता, सघन सतह, महीन कण।
5. लंबी सेवा जीवन और अधिक टिकाऊ

वाहक2 वाहक4

वाहक1 वाहक3

 

सीवीडी SiC薄膜基本物理性能

CVD SiC के बुनियादी भौतिक गुणकलई करना

性质 / संपत्ति

典型数值 / विशिष्ट मूल्य

यह बहुत अच्छा है / क्रिस्टल की संरचना

एफसीसी β चरण多晶,主要为(111)取向

密度 / घनत्व

3.21 ग्राम/सेमी³

硬度 / कठोरता

2500 ग्राम वजन (500 ग्राम लोड)

晶粒大小 / अनाज आकार

2~10μm

纯度 /रासायनिक शुद्धता

99.99995%

热容 / ताप की गुंजाइश

640 जे·किग्रा-1·के-1

升华温度 / ऊर्ध्वपातन तापमान

2700℃

抗弯强度 / आनमनी सार्मथ्य

415 एमपीए आरटी 4-पॉइंट

杨氏模量 /यंग का मापांक

430 जीपीए 4पीटी बेंड, 1300℃

导热系数 / थर्माएलप्रवाहकत्त्व

300W·m-1·के-1

热膨胀系数 / थर्मल विस्तार (सीटीई)

4.5×10-6K-1

1

2

हमारे कारखाने का दौरा करने के लिए आपका हार्दिक स्वागत है, आइए आगे चर्चा करें!

研发团队

 

生产设备

 

公司客户


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