वीईटी एनर्जी पीईसीवीडी लोडिंग ट्रे एक सटीक वाहक है जिसे पीईसीवीडी (प्लाज्मा संवर्धित रासायनिक वाष्प जमाव) प्रक्रिया के लिए डिज़ाइन किया गया है। यह उच्च-गुणवत्ता जमाव ग्रेफाइट ट्रे उच्च-शुद्धता, उच्च-घनत्व ग्रेफाइट सामग्री से बनी है। इसमें उत्कृष्ट उच्च तापमान प्रतिरोध, संक्षारण प्रतिरोध, आयामी स्थिरता और अन्य विशेषताएं हैं। यह पीईसीवीडी प्रक्रिया के लिए एक स्थिर वाहक मंच प्रदान कर सकता है और फिल्म जमाव की एकरूपता और समतलता सुनिश्चित कर सकता है।
वीईटी एनर्जी पीईसीवीडी लोडिंग ट्रे का व्यापक रूप से सेमीकंडक्टर, फोटोवोल्टिक, एलईडी और अन्य क्षेत्रों में उपयोग किया जाता है। उदाहरण के लिए:
▪ सेमीकंडक्टर: सिलिकॉन वेफर्स और एपिटैक्सियल वेफर्स जैसी सेमीकंडक्टर सामग्री के लिए PECVD प्रक्रिया।
▪ फोटोवोल्टिक: सौर सेल पतली फिल्मों के लिए PECVD प्रक्रिया।
▪ एलईडी: एलईडी चिप्स के लिए पीईसीवीडी प्रक्रिया।
उत्पाद लाभ
▪फ़िल्म की गुणवत्ता में सुधार करें:एक समान फिल्म जमाव सुनिश्चित करें और फिल्म की गुणवत्ता में सुधार करें।
▪उपकरण जीवन बढ़ाएँ:उत्कृष्ट संक्षारण प्रतिरोध, PECVD उपकरण की सेवा जीवन का विस्तार करता है।
▪उत्पादन लागत कम करें:उच्च गुणवत्ता वाली ग्रेफाइट ट्रे स्क्रैप दर को कम कर सकती हैं और उत्पादन लागत को कम कर सकती हैं।
एसजीएल से ग्रेफाइट सामग्री:
| विशिष्ट पैरामीटर: R6510 | |||
| अनुक्रमणिका | परीक्षण मानक | कीमत | इकाई |
| औसत अनाज का आकार | आईएसओ 13320 | 10 | माइक्रोन |
| थोक घनत्व | डीआईएन आईईसी 60413/204 | 1.83 | जी/सेमी3 |
| खुली सरंध्रता | डीआईएन66133 | 10 | % |
| मध्यम छिद्र आकार | डीआईएन66133 | 1.8 | माइक्रोन |
| भेद्यता | डीआईएन 51935 | 0.06 | सेमी²/से |
| रॉकवेल कठोरता HR5/100 | डीआईएन आईईसी60413/303 | 90 | HR |
| विशिष्ट विद्युत प्रतिरोधकता | डीआईएन आईईसी 60413/402 | 13 | μΩm |
| आनमनी सार्मथ्य | डीआईएन आईईसी 60413/501 | 60 | एमपीए |
| सम्पीडक क्षमता | डीआईएन 51910 | 130 | एमपीए |
| यंग का मापांक | डीआईएन 51915 | 11.5×10³ | एमपीए |
| थर्मल विस्तार (20-200℃) | डीआईएन 51909 | 4.2X10-6 | K-1 |
| तापीय चालकता (20℃) | डीआईएन 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
यह विशेष रूप से उच्च दक्षता वाले सौर सेल विनिर्माण के लिए डिज़ाइन किया गया है, जो G12 बड़े आकार के वेफर प्रसंस्करण का समर्थन करता है। अनुकूलित वाहक डिज़ाइन थ्रूपुट को महत्वपूर्ण रूप से बढ़ाता है, जिससे उच्च उपज दर और कम उत्पादन लागत सक्षम होती है।
| वस्तु | प्रकार | नंबर वेफर वाहक |
| पीईवीसीडी ग्रेफाइट नाव - 156 श्रृंखला | 156-13 ग्रेफाइट नाव | 144 |
| 156-19 ग्रेफाइट नाव | 216 | |
| 156-21 ग्रेफाइट नाव | 240 | |
| 156-23 ग्रेफाइट नाव | 308 | |
| पीईवीसीडी ग्रेफाइट नाव - 125 श्रृंखला | 125-15 ग्रेफाइट नाव | 196 |
| 125-19 ग्रेफाइट नाव | 252 | |
| 125-21 ग्रेफाइट नाव | 280 |
