वीईटी एनर्जी पीईसीवीडी प्रक्रिया ग्रेफाइट वेफर समर्थन पीईसीवीडी (प्लाज्मा संवर्धित रासायनिक वाष्प जमाव) प्रक्रिया के लिए डिज़ाइन किया गया एक मुख्य उपभोज्य है। यह उत्पाद उत्कृष्ट उच्च तापमान प्रतिरोध, संक्षारण प्रतिरोध, आयामी स्थिरता और अन्य विशेषताओं के साथ उच्च शुद्धता, उच्च घनत्व ग्रेफाइट सामग्री से बना है, जो फिल्म जमाव की एकरूपता और समतलता सुनिश्चित करने के लिए पीईसीवीडी प्रक्रिया के लिए एक स्थिर समर्थन मंच प्रदान कर सकता है।
वीईटी एनर्जी ग्रेफाइट वेफर सपोर्ट का "ग्रेफाइट सपोर्ट" डिजाइन न केवल प्रभावी ढंग से वेफर का समर्थन कर सकता है, बल्कि प्रक्रिया की स्थिरता सुनिश्चित करने के लिए उच्च तापमान और उच्च दबाव पीईसीवीडी वातावरण में थर्मल स्थिरता भी प्रदान करता है।
वीईटी एनर्जी पीईसीवीडी प्रक्रिया ग्रेफाइट वेफर समर्थन में निम्नलिखित विशेषताएं हैं:
▪उच्च शुद्धता:फिल्म की गुणवत्ता सुनिश्चित करने के लिए बेहद कम अशुद्धता वाली सामग्री, फिल्म को दूषित होने से बचाएं।
▪उच्च घनत्व:उच्च घनत्व, उच्च यांत्रिक शक्ति, उच्च तापमान और उच्च दबाव PECVD वातावरण का सामना कर सकते हैं।
▪अच्छी आयामी स्थिरता:प्रक्रिया की स्थिरता सुनिश्चित करने के लिए उच्च तापमान पर छोटे आयामी परिवर्तन।
▪उत्कृष्ट तापीय चालकता:वेफर को अधिक गर्म होने से बचाने के लिए प्रभावी ढंग से गर्मी स्थानांतरित करें।
▪मजबूत संक्षारण प्रतिरोध:विभिन्न संक्षारक गैसों और प्लाज्मा द्वारा क्षरण का विरोध करने में सक्षम।
▪अनुकूलित सेवा:विभिन्न आकारों और आकारों की ग्रेफाइट सपोर्ट टेबल को ग्राहकों की आवश्यकताओं के अनुसार अनुकूलित किया जा सकता है।
एसजीएल से ग्रेफाइट सामग्री:
| विशिष्ट पैरामीटर: R6510 | |||
| अनुक्रमणिका | परीक्षण मानक | कीमत | इकाई |
| औसत अनाज का आकार | आईएसओ 13320 | 10 | माइक्रोन |
| थोक घनत्व | डीआईएन आईईसी 60413/204 | 1.83 | जी/सेमी3 |
| खुली सरंध्रता | डीआईएन66133 | 10 | % |
| मध्यम छिद्र आकार | डीआईएन66133 | 1.8 | माइक्रोन |
| भेद्यता | डीआईएन 51935 | 0.06 | सेमी²/से |
| रॉकवेल कठोरता HR5/100 | डीआईएन आईईसी60413/303 | 90 | HR |
| विशिष्ट विद्युत प्रतिरोधकता | डीआईएन आईईसी 60413/402 | 13 | μΩm |
| आनमनी सार्मथ्य | डीआईएन आईईसी 60413/501 | 60 | एमपीए |
| सम्पीडक क्षमता | डीआईएन 51910 | 130 | एमपीए |
| यंग का मापांक | डीआईएन 51915 | 11.5×10³ | एमपीए |
| थर्मल विस्तार (20-200℃) | डीआईएन 51909 | 4.2X10-6 | K-1 |
| तापीय चालकता (20℃) | डीआईएन 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
यह विशेष रूप से उच्च दक्षता वाले सौर सेल विनिर्माण के लिए डिज़ाइन किया गया है, जो G12 बड़े आकार के वेफर प्रसंस्करण का समर्थन करता है। अनुकूलित वाहक डिज़ाइन थ्रूपुट को महत्वपूर्ण रूप से बढ़ाता है, जिससे उच्च उपज दर और कम उत्पादन लागत सक्षम होती है।
| वस्तु | प्रकार | नंबर वेफर वाहक |
| पीईवीसीडी ग्रेफाइट नाव - 156 श्रृंखला | 156-13 ग्रेफाइट नाव | 144 |
| 156-19 ग्रेफाइट नाव | 216 | |
| 156-21 ग्रेफाइट नाव | 240 | |
| 156-23 ग्रेफाइट नाव | 308 | |
| पीईवीसीडी ग्रेफाइट नाव - 125 श्रृंखला | 125-15 ग्रेफाइट नाव | 196 |
| 125-19 ग्रेफाइट नाव | 252 | |
| 125-21 ग्रेफाइट नाव | 280 |
