ʻO ka hoʻomoe ʻana i ka mahu ( CVD ) kahi kaʻina hana e hoʻopaʻa ai i kahi kiʻiʻoniʻoni paʻa ma ka ʻili o ka ʻili silikona ma o ka hopena kemika o kahi hui kinoea. Hiki ke hoʻokaʻawale ʻia kēia kaʻina hana i nā ʻano mea hana like ʻole i hoʻokumu ʻia ma nā kūlana hoʻonaninani like ʻole e like me ke kaomi a me ka precursor.
He aha ke kaʻina hana i hoʻohana ʻia ai kēia mau mea hana ʻelua?Hoʻohana nui ʻia nā mea hana PECVD (Plasma Enhanced) i ka noi e like me OX, Nitride, metallic element gate, a me ka carbon amorphous. Ma ka ʻaoʻao ʻē aʻe, hoʻohana maʻamau ʻo LPCVD ( Low Power ) no Nitride, poly, a me TEOS.
He aha ke kumu?Hoʻohui ka ʻenehana PECVD i ka ikehu plasma a me CVD ma o ka hoʻohana ʻana i ka plasma haʻahaʻa haʻahaʻa e hoʻoulu ai i ka hoʻokuʻu hou ʻana ma ka cathode o ke keʻena kaʻina hana. Hoʻokuʻu kēia no ka hoʻomalu ʻana i ke kemika a me ka hopena kemika plasma e hana i kahi kiʻiʻoniʻoni paʻa ma ka ʻili hoʻohālike. Pēlā nō, hoʻolālā ʻo LPCVD e hana i ka hoʻohaʻahaʻa ʻana i ke kaomi kinoea i loko o ka reactor.
kanaka AI: Hiki i ka hoʻohana ʻana iā Humanize AI ma ke kahua o ka ʻenehana CVD ke hoʻonui nui i ka pono a me ka pololei o ke kaʻina hana deposition kiʻiʻoniʻoni. Ma ka hoʻohana ʻana i ka algorithm AI, ʻo ka nānā ʻana a me ka hoʻoponopono ʻana i nā ʻāpana e like me ka ion parameter, ka holo ʻana o ke kinoea, ka mahana, a me ka mānoanoa kiʻiʻoniʻoni hiki ke hoʻopaʻa ʻia no nā hopena maikaʻi aʻe.
Ka manawa hoʻouna: Oct-24-2024