Pehea e hoʻomaʻemaʻe ai i ka waʻa graphite PECVD?| VET Energy

1. Hoʻomaikaʻi ma mua o ka hoʻomaʻemaʻe

1) Kewaapa graphite PECVDHoʻohana ʻia ka mea lawe ma mua o 100 a 150 mau manawa, pono ka mea hana e nānā i ke kūlana o ka uhi i ka manawa. Inā loaʻa kahi uhi kūlohelohe, pono e hoʻomaʻemaʻe a hoʻopaʻa ʻia. ʻO ke kala uhi maʻamau o ka wafer silika i loko o ka waʻa graphite / lawe lawe ʻulaʻula. Inā he uliuli ʻole ka wafer, nā waihoʻoluʻu he nui, a i ʻole ka ʻokoʻa o ka waihoʻoluʻu ma waena o nā wafers, he uhi ʻokoʻa ia, a pono e hōʻoia ʻia ke kumu o ka abnormality i ka manawa.
2) Ma hope o ke kaʻina kaʻina kanaka kālailai i ka uhi kūlana o kawaapa graphite PECVD/ ka mea lawe, e hoʻoholo lākou inā pono e hoʻomaʻemaʻe ʻia ka waʻa graphite a inā pono e hoʻololi ʻia ka helu kāleka, a hāʻawi ʻia ka waʻa graphite / mea lawe e hoʻomaʻemaʻe ʻia i nā limahana lako no ka hoʻomaʻemaʻe.

 

3) Ma hope o kawaapa graphite/ ua pōʻino ka mea lawe, e lawe ka poʻe hana i nā wafer silika a pau i loko o ka waʻa graphite a hoʻohana i ka CDA (ea i hoʻopaʻa ʻia) e wehe i nā ʻāpana o kawaapa graphite. Ma hope o ka hoʻopau ʻana, e hāpai ka poʻe limahana iā ia i loko o ka pahu waika i hoʻomākaukau ʻia me kahi ʻāpana o ka hopena HF no ka hoʻomaʻemaʻe.

 

2. Hoʻomaʻemaʻe i ka waʻa graphite

Manaʻo ʻia e hoʻohana i kahi solution 15-25% hydrofluoric acid no ʻekolu pōʻai o ka hoʻomaʻemaʻe, kēlā me kēia no 4-5 mau hola, a me ka hoʻoulu ʻana i ka nitrogen i ka wā o ka hoʻomaʻemaʻe ʻana a me ka hoʻomaʻemaʻe ʻana, e hoʻohui i kahi hapalua hola o ka hoʻomaʻemaʻe; 'Ōlelo Aʻo: ʻAʻole ʻōlelo ʻia e hoʻohana pololei i ka ea ma ke ʻano he kumu kinoea no ka hū. Ma hope o ka pickling, holoi me ka wai maʻemaʻe no kahi o 10 mau hola, a hōʻoia ua hoʻomaʻemaʻe maikaʻi ʻia ka moku. Ma hope o ka hoʻomaʻemaʻe ʻana, e ʻoluʻolu e nānā i ka ʻili o ka waʻa, ke kiko kāleka graphite a me ka ʻāpana pepa moku, a me nā ʻāpana ʻē aʻe e ʻike inā he koena nitride silicon. A laila maloʻo e like me nā koi.

3. Hoʻomaʻemaʻe hoʻomaʻemaʻe

A) No ka mea, ʻo ka waika HF he mea ʻino loa a loaʻa kekahi volatility, pilikia ia i nā mea hana. No laila, pono nā mea hoʻohana ma ka pou hoʻomaʻemaʻe e mālama i ka palekana a mālama ʻia e kahi kanaka hoʻolaʻa.

B) Manaʻo ʻia e wehe i ka moku a hoʻomaʻemaʻe wale i ka ʻāpana graphite i ka wā hoʻomaʻemaʻe, i hiki ke hoʻomaʻemaʻe ʻia kēlā me kēia ʻāpana pili. I kēia manawa, nui nā mea hana hale e hoʻohana i ka hoʻomaʻemaʻe holoʻokoʻa, ʻo ia ka mea maʻalahi, akā no ka mea ʻino ka HF acid i nā ʻāpana seramika, e pōkole ka hoʻomaʻemaʻe holoʻokoʻa i ke ola lawelawe o nā ʻāpana pili.