ʻO ka mea mua, pono mākou e ʻikePECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition). ʻO ka Plasma ka hoʻoikaika ʻana i ka neʻe wela o nā molekala waiwai. ʻO ka hui ʻana ma waena o lākou e hoʻoheheʻe ʻia nā molekele kinoea, a lilo ka mea i hui pū ʻia o nā ion maikaʻi e neʻe manuahi ana, nā electrons a me nā ʻāpana kūʻokoʻa e launa pū kekahi me kekahi.
Ua manaʻo ʻia ʻo ke kiʻekiʻe o ka pohō o ka mālamalama ma ka ʻili silika ma kahi o 35%. Hiki i ke kiʻi anti-reflection ke hoʻomaikaʻi maikaʻi i ka hoʻohana ʻana o ka mālamalama o ka lā e ka cell battery, e kōkua ana i ka hoʻonui ʻana i ka nui o ka photogenerated a pēlā e hoʻomaikaʻi ai i ka hoʻololi ʻana. I ka manawa like, ka hydrogen i loko o ke kiʻiʻoniʻoni passivates i ka ʻili o ke kelepona pākaukau, e hoʻemi i ka helu recombination o ka hui emitter, e hoʻemi i ka pōʻeleʻele o kēia manawa, e hoʻonui i ka uila kaapuni hāmama, a hoʻomaikaʻi i ka pono hoʻololi photoelectric. ʻO ka hoʻopili koke ʻana i ka wela wela i ke kaʻina hana kuni e wāwahi i kekahi mau mea paʻa Si-H a me NH, a ʻo ka H i hoʻokuʻu ʻia e hoʻoikaika hou i ka passivation o ka pā.
Ma muli o ka loaʻa ʻana o ka nui o nā mea haumia a me nā hemahema o nā mea kilika kiʻekiʻe photovoltaic, ua hoʻemi ʻia ke ola o ka mea lawe liʻiliʻi a me ka lōʻihi o ka diffusion i loko o ke silika, e hopena ana i ka emi ʻana o ka hoʻololi ʻana o ka pākaukau. Hiki iā H ke hana me nā hemahema a i ʻole nā haumia i loko o ke silika, a laila e hoʻololi i ka pūʻali ikehu i loko o ka bandgap i loko o ka puʻupuʻu valence a i ʻole ka hui hoʻokele.
1. Kumu PECVD
ʻO ka ʻōnaehana PECVD kahi pūʻulu o nā mea hana hoʻohanawaapa graphite PECVD a me nā mea hoʻoulu plasma kiʻekiʻe. Hoʻokomo pololei ʻia ka mea hana plasma i waenakonu o ka pā uhi e hana ma lalo o ke kaomi haʻahaʻa a me ke kiʻekiʻe kiʻekiʻe. ʻO nā kinoea ikaika i hoʻohana ʻia ʻo silane SiH4 a me ka amonia NH3. Hana kēia mau kinoea ma luna o ka nitride silika i mālama ʻia ma ka wafer silicon. Hiki ke loaʻa nā ʻano helu refractive like ʻole ma ka hoʻololi ʻana i ka ratio o ka silane i ka amonia. I loko o ke kaʻina hana deposition, hana ʻia ka nui o nā ʻātoma hydrogen a me nā ion hydrogen, e hana maikaʻi loa i ka hele ʻana o ka hydrogen o ka wafer. I loko o kahi mānoanoa a me kahi mahana wela o 480 degere Celsius, ua uhi ʻia kahi papa o SixNy ma luna o ka ʻili o ka wafer silika ma ke alakaʻi ʻana i kawaapa graphite PECVD.
3SiH4+4NH3 → Si3N4+12H2
2. Si3N4
Hoʻololi ke kala o ke kiʻi Si3N4 me kona mānoanoa. ʻO ka maʻamau, ʻo ka mānoanoa kūpono ma waena o 75 a me 80 nm, ʻike ʻia ka uliuli ʻeleʻele. ʻOi aku ka maikaʻi o ke kiʻi ʻoniʻoni ʻo Si3N4 ma waena o 2.0 a me 2.5. Hoʻohana mau ʻia ka waiʻona no ke ana ʻana i kāna ʻōlelo kuhikuhi refractive.
ʻO ka hopena passivation ili maikaʻi loa, ka hana anti-reflection optical maikaʻi (ka mānoanoa refractive index index), ke kaʻina haʻahaʻa haʻahaʻa (e hōʻemi pono ana i nā kumukūʻai), a me nā ion H i hana ʻia e passivate i ka ʻili wafer silika.
3. Nā mea maʻamau i ka hale hana uhi
Kiʻiʻoniʻoni mānoanoa:
'Oko'a ka manawa deposition no nā mānoanoa ki'i like'ole. Pono e hoʻonui a hoʻemi ʻia ka manawa waiho e like me ke kala o ka uhi. Inā keʻokeʻo ke kiʻiʻoniʻoni, pono e hoʻemi ʻia ka manawa deposition. Inā he ʻulaʻula, pono e hoʻonui ʻia. Pono e hoʻokūpaʻa pihaʻia kēlā me kēia moku o nā kiʻiʻoniʻoni, aʻaʻole eʻaeʻia nā huahana hemahema e kahe i loko o ke kaʻina hana aʻe. No ka laʻana, inā maikaʻi ʻole ka uhi ʻana, e like me nā kiko kala a me nā kaha wai, pono e koho ʻia ka ʻili keʻokeʻo maʻamau, ka ʻokoʻa kala, a me nā kiko keʻokeʻo ma ka laina hana. ʻO ka keʻokeʻo o ka ʻili ke kumu nui ʻia e ka kiʻiʻoniʻoni silicon nitride mānoanoa, hiki ke hoʻoponopono ʻia ma ka hoʻoponopono ʻana i ka manawa deposition kiʻiʻoniʻoni; ʻO ke kiʻi ʻokoʻa o ka waihoʻoluʻu ke kumu nui ʻia e ka blockage ala gas, leakage quartz tube, microwave failure, etc.; ʻO nā kiko keʻokeʻo ma muli o nā kikoʻeleʻele liʻiliʻi i ka hana mua. Ka nānā ʻana i ka reflectivity, refractive index, etc., palekana o nā kinoea kūikawā, etc.
Nā kiko keʻokeʻo ma ka ʻili:
He kaʻina hana koʻikoʻi ka PECVD i nā cell solar a he hōʻailona koʻikoʻi o ka pono o nā cell solar o kahi hui. Paʻa ka hana PECVD, a pono e nānā ʻia kēlā me kēia pūʻulu cell. Nui nā paipu kapuahi uhi, a ʻo kēlā me kēia paipu ma ke ʻano he mau haneli haneli (ma muli o ka lako). Ma hope o ka hoʻololi ʻana i nā ʻāpana kaʻina, lōʻihi ka pōʻai hōʻoia. ʻO ka ʻenehana uhi kahi ʻenehana i hoʻopili nui ʻia e ka ʻoihana photovoltaic holoʻokoʻa. Hiki ke hoʻomaikaʻi ʻia ka maikaʻi o nā cell solar ma o ka hoʻomaikaʻi ʻana i ka ʻenehana uhi. I ka wā e hiki mai ana, hiki ke lilo ka ʻenehana ili o ka lā i mea hōʻeuʻeu i ka ʻoihana theoretical o nā cell solar.
Ka manawa hoʻouna: Dec-23-2024