Ua wehewehe ʻia ke ʻano o loko o ka ʻenehana paipu umu

E like me ka mea i hōʻike ʻia ma luna, he maʻamau

ʻO ka hapa mua:

▪ Mea Hoʻomaʻamaʻa (heating coil):

aia a puni ka paipu umu ahi, hana mau ʻia me nā uwea kūʻē, hoʻohana ʻia e hoʻomehana i loko o ka ipu umu.

▪ Paipu Quartz:

ʻO ke kumu o ka umu wela wela, i hana ʻia me ka quartz maʻemaʻe kiʻekiʻe e hiki ke kū i nā wela kiʻekiʻe a noho mau i ke kemika.

▪ Hānai kinoea:

Aia ma ka ʻaoʻao o luna a i ʻole ka ʻaoʻao o ka pahu umu, hoʻohana ʻia ia e lawe i ka oxygen a i ʻole nā ​​​​kinoea ʻē aʻe i loko o ka pahu umu.

▪ SS Flange:

nā mea e hoʻopili ai i nā paipu quartz a me nā laina kinoea, e hōʻoia ana i ka paʻa a me ka paʻa o ka pilina.

▪ Nā Laina Hanai Gas:

ʻO nā paipu e hoʻopili i ka MFC i ke awa hoʻolako kinoea no ka hoʻoili kinoea.

▪ MFC (Mass Flow Controller) :

He mea hana e hoʻomalu i ke kahe o ke kinoea i loko o kahi paipu quartz e hoʻoponopono pololei i ka nui o ke kinoea e pono ai.

▪ Puka:

Hoʻohana ʻia no ka hoʻokuʻu ʻana i ke kinoea hoʻopau mai loko o ka pahu umu a i waho o ka lako.

ʻāpana lalo:

▪ Nā Wafera Silika ma ka Paʻa:

Hoʻopaʻa ʻia nā wafers silikon i loko o kahi Paʻa kūikawā e hōʻoia i ka wela like ʻole i ka wā o ka oxidation.

▪ Mea Paʻa Wafer:

Hoʻohana ʻia e hoʻopaʻa i ka wafer silicon a hōʻoia i ka paʻa ʻana o ka wafer silicon i ka wā o ke kaʻina hana.

▪ Pedestal:

He hale e paʻa ana i ka mea hoʻopaʻa wafer silika, hana mau ʻia me kahi mea wela kiʻekiʻe.

▪ Elevator:

Hoʻohana ʻia e hāpai i nā mea paʻa Wafer i loko a i waho o nā paipu quartz no ka hoʻouka ʻana a me ka wehe ʻana i nā wafer silika.

▪ Lopako Hoʻololi Wafer:

aia ma ka ʻaoʻao o ka mea hoʻoheheʻe kapuahi, hoʻohana ʻia ia e hoʻoneʻe ʻokoʻa i ka wafer silicon mai ka pahu a waiho i loko o ka pahu umu, a i ʻole e wehe iā ia ma hope o ka hana ʻana.

▪ Carousel hoʻopaʻa cassette:

Hoʻohana ʻia ka carousel hoʻopaʻa cassette no ka mālama ʻana i kahi pahu i loaʻa nā wafer silika a hiki ke hoʻololi ʻia no ke komo ʻana i ka robot.

▪ Wafer Cassette:

Hoʻohana ʻia ka cassette wafer no ka mālama ʻana a me ka hoʻoili ʻana i nā wafer silika e hana ʻia.