E like me ka mea i hōʻike ʻia ma luna, he maʻamau
ʻO ka hapa mua:
Heating Element (heating coil): aia a puni ka umu umu, hana mau ia me na uwea pale, hoohana ia e wela i loko o ka ipu umu.
ʻO Quartz Tube: ʻO ke kumu o ka umu wela wela, i hana ʻia me ka quartz maʻemaʻe kiʻekiʻe e hiki ke kū i nā wela kiʻekiʻe a noho mau i ke kemika.
ʻAi kinoea: Aia ma ka ʻaoʻao o luna a i ʻole ka ʻaoʻao o ka pahu umu, hoʻohana ʻia ia e lawe i ka oxygen a i ʻole nā kinoea ʻē aʻe i loko o ka pahu umu.
SS Flange: nā mea e hoʻopili ai i nā paipu quartz a me nā laina kinoea, e hōʻoia ana i ka paʻa a me ka paʻa o ka pilina.
Nā Laina Meaʻai Gas: ʻO nā paipu e hoʻopili ai i ka MFC i ke awa hoʻolako kinoea no ka hoʻoili kinoea.
MFC (Mass Flow Controller): He mea hana e hoʻomalu i ke kahe o ke kinoea i loko o kahi paipu quartz e hoʻoponopono pololei i ka nui o ke kinoea e pono ai.
Vent: Hoʻohana ʻia e hoʻoheheʻe i ke kinoea hoʻopau mai loko o ka pahu umu a i waho o ka lako.
ʻāpana haʻahaʻa
Silicon Wafers in Holder: Hoʻopaʻa ʻia nā wafers silikon i loko o kahi Paʻa kūikawā e hōʻoia i ka wela like ʻole i ka wā o ka oxidation.
Wafer Holder: Hoʻohana ʻia no ka hoʻopaʻa ʻana i ka wafer silika a hōʻoia i ka paʻa ʻana o ka wafer silicon i ka wā o ke kaʻina hana.
Pedestal: He hale e paʻa ana i kahi mea hoʻopaʻa wafer silika, hana mau ʻia me kahi mea wela kiʻekiʻe.
Elevator: Hoʻohana ʻia e hāpai i nā mea paʻa Wafer i loko a i waho o nā paipu quartz no ka hoʻouka ʻana a me ka wehe ʻana i nā wafer silika.
Wafer Transfer Robot: aia ma ka ʻaoʻao o ka mea hoʻoheheʻe umu ahi, hoʻohana ʻia ia e hoʻoneʻe i ka wafer silicon mai ka pahu a waiho i loko o ka pahu umu, a i ʻole e wehe iā ia ma hope o ka hana ʻana.
Carousel Storage Cassette: Hoʻohana ʻia ka carousel mālama cassette no ka mālama ʻana i kahi pahu i loaʻa nā wafer silika a hiki ke hoʻololi ʻia no ke komo ʻana i ka robot.
Wafer Cassette: hoʻohana ʻia ka cassette wafer no ka mālama ʻana a me ka hoʻoili ʻana i nā wafer silika e hana ʻia.
Ka manawa hoʻouna: Apr-22-2024