ʻO ka Chemical Vapor Deposition (CVD) kahi ʻenehana hoʻoheheʻe kiʻiʻoniʻoni lahilahi koʻikoʻi, i hoʻohana pinepine ʻia e hoʻomākaukau i nā kiʻiʻoniʻoni hana like ʻole a me nā mea ʻāpana lahilahi, a hoʻohana nui ʻia i ka hana semiconductor a me nā māla ʻē aʻe.
1. Ke kumu hana o CVD
Ma ke kaʻina hana CVD, lawe ʻia kahi kinoea precursor (hoʻokahi a ʻoi aʻe paha nā pūhui kinoea precursor) i hoʻopili ʻia me ka ʻili o ka substrate a hoʻomehana ʻia i kahi mahana e hoʻoulu ai i kahi hopena kemika a waiho ʻia ma ka ʻili substrate e hana i ke kiʻiʻoniʻoni i makemake ʻia. papa. He paʻa ka huahana o kēia hopena kemika, maʻamau he hui o ka mea i makemake ʻia. Inā makemake mākou e hoʻopaʻa i ke kilika ma kahi ʻili, hiki iā mākou ke hoʻohana i ka trichlorosilane (SiHCl3) e like me ke kinoea precursor: SiHCl3 → Si + Cl2 + HCl Silicon e hoʻopaʻa ʻia i kēlā me kēia ʻili i hōʻike ʻia (ma loko a ma waho), ʻoiai ʻo ka chlorine a me nā kinoea hydrochloric. e hoʻokuʻu ʻia mai ke keʻena aku.
2. Hoʻokaʻawale CVD
Thermal CVD: Ma ka hoʻomehana ʻana i ke kinoea precursor e decompose a waiho ʻia ma ka ʻili o ka substrate. ʻO ka Plasma Enhanced CVD (PECVD): Hoʻohui ʻia ka Plasma i ka CVD wela e hoʻonui i ka wikiwiki o ka hopena a me ka mālama ʻana i ke kaʻina hana hoʻopaʻa. Metal Organic CVD (MOCVD): Me ka hoʻohana ʻana i nā mea hoʻohui metala e like me ke kinoea precursor, hiki ke hoʻomākaukau ʻia nā kiʻi ʻoniʻoni lahilahi o nā metala a me nā semiconductor, a hoʻohana pinepine ʻia i ka hana ʻana i nā mea hana e like me nā LED.
3. Noi
(1) Hana semiconductor
ʻO ke kiʻi kiʻiʻoniʻoni: hoʻohana ʻia e hoʻomākaukau i nā papa insulating, substrates, nā papa hoʻokaʻawale, a me nā mea ʻē aʻe. papa, etc.
(2) Hōʻike ʻenehana
ʻO ke kiʻiʻoniʻoni ITO: ʻO ke kiʻiʻoniʻoni ʻoniʻoni conductive oxide, hoʻohana mau ʻia i nā hōʻike papa pālahalaha a me nā pale pā. Kiʻiʻoniʻoni keleawe: hoʻohana ʻia e hoʻomākaukau i nā ʻāpana pale, nā laina conductive, a me nā mea ʻē aʻe, e hoʻomaikaʻi i ka hana o nā mea hōʻike.
(3) Nā kahua ʻē aʻe
ʻO nā mea hoʻoheheʻe Optical: me nā pale anti-reflective, nā kānana optical, a me nā mea'ē aʻe.
4. Nā hiʻohiʻona o ke kaʻina hana CVD
E hoʻohana i ke kaiapuni wela kiʻekiʻe e hāpai i ka wikiwiki o ka hopena. Hana pinepine ʻia i loko o kahi pōʻai maloʻo. Pono e wehe ʻia nā mea haumia ma ka ʻili o ka ʻāpana ma mua o ka pena ʻana. He mau palena paha ke kaʻina hana i nā substrate i hiki ke uhi ʻia, ʻo ia hoʻi nā palena wela a i ʻole nā palena hana. ʻO ka uhi CVD e uhi i nā wahi āpau o ka ʻāpana, me nā kaula, nā puka makapō a me nā ʻili o loko. Hiki ke kaupalena i ka hiki ke uhi i nā wahi kikoʻī i ʻimi ʻia. Ua kaupalena ʻia ka mānoanoa kiʻiʻoniʻoni e nā kaʻina hana a me nā kūlana waiwai. Hoʻopili kiʻekiʻe.
5. Nā pōmaikaʻi o ka ʻenehana CVD
Kaulike: Hiki ke hoʻokō i ka waiho ʻana like ʻole ma luna o nā substrate wahi nui.
Hoʻoponopono: Hiki ke hoʻoponopono ʻia ka helu deposition a me nā waiwai kiʻiʻoniʻoni ma o ka hoʻomalu ʻana i ka kahe kahe a me ka mahana o ke kinoea precursor.
Versatility: He kūpono no ka waiho ʻana i nā ʻano mea like ʻole, e like me nā metala, semiconductors, oxides, etc.
Ka manawa hoʻouna: Mei-06-2024