ʻO nā pōmaikaʻi o ke kākoʻo waʻa silicon carbide i hoʻohālikelike ʻia me ke kākoʻo waʻa quartz

ʻO nā hana nui owaapa kalapona silikaʻO ke kākoʻo a me ke kākoʻo waʻa quartz ua like.ʻO ka waʻa kalapona silikaʻO ke kākoʻo he hana maikaʻi loa akā ke kumu kūʻai kiʻekiʻe. He pilina ʻē aʻe me ke kākoʻo waʻa quartz i nā lako hana pākaukau me nā kūlana hana koʻikoʻi (e like me nā lako LPCVD a me nā lako diffusion boron). I nā lako hana pākaukau me nā kūlana hana maʻamau, ma muli o nā pili kumukūʻai, silicon carbide a me ke kākoʻo waʻa quartz e noho pū ana a me nā ʻāpana hoʻokūkū.

① Hoʻololi i ka pilina ma LPCVD a me nā mea hoʻoheheʻe boron

Hoʻohana ʻia nā mea hana LPCVD no ka hoʻomaʻamaʻa ʻana i ke kelepona ʻana o ke kelepona a me ka hoʻomākaukau ʻana i ka papa polysilicon doped. Manaʻo hana:

Ma lalo o ka lewa haʻahaʻa haʻahaʻa, i hui pū ʻia me ka mahana kūpono, ka hopena kemika a me ka hoʻokumu ʻana o ka kiʻiʻoniʻoni deposition e hoʻomākaukau ai i ka ultra-thin tunneling oxide layer a me ka polysilicon film. I ke kaʻina hana hoʻomākaukau ʻana o ka tunneling a me ka doped polysilicon layer, ʻo ke kākoʻo waʻa he kiʻekiʻe ka wela hana a waiho ʻia kahi kiʻi silika ma ka ʻili. ʻOkoʻa loa ka helu hoʻonui wela o ka quartz mai ka silika. Ke hoʻohana ʻia i ke kaʻina hana i luna, pono e ʻoki mau a wehe i ke silika i waiho ʻia ma luna o ka ʻili i mea e pale ai i ke kākoʻo o ka moku quartz mai ka haki ʻana ma muli o ka hoʻonui ʻana a me ka hoʻohaʻahaʻa ʻana ma muli o ka ʻokoʻa o ka hoʻonui ʻana o ka wela mai ke silika. Ma muli o ka pickling pinepine a me ka ikaika haʻahaʻa haʻahaʻa, he pōkole ke ola o ka mea paʻa waʻa quartz a ua hoʻololi pinepine ʻia i loko o ka tunnel oxidation a me ka doped polysilicon layer kaʻina hoʻomākaukau, kahi e hoʻonui nui ai i ke kumu kūʻai o ke kelepona pākaukau. ʻO ka helu hoʻonui okalapona kalaponakokoke i ka silika. ʻO ka hoʻohuiwaapa kalapona silikaʻAʻole pono ka mea paʻa i ka pickling i loko o ke kaʻina hana hoʻomākaukau ʻana o ka tunnel oxidation a doped polysilicon layer. He kiʻekiʻe kiʻekiʻe-mehana ikaika a me ka lōʻihi lawelawe ola. He koho maikaʻi ia i ka mea paʻa waʻa quartz.

Hoʻohana nui ʻia nā lako hoʻonui Boron no ke kaʻina hana o ka doping boron element ma ke ʻano N-type silicon wafer substrate o ke kelepona pākaukau no ka hoʻomākaukau ʻana i ka emitter P-type e hana i kahi hui PN. ʻO ke kumu hana ka hoʻomaopopo ʻana i ka hopena kemika a me ka hoʻokumu ʻana o ka molecular deposition film i kahi ea wela kiʻekiʻe. Ma hope o ka hoʻokumu ʻia ʻana o ke kiʻiʻoniʻoni, hiki ke hoʻopuehu ʻia e ka hoʻomehana wela kiʻekiʻe e ʻike i ka hana doping o ka ʻili wafer silicon. Ma muli o ke kiʻekiʻe o ka hana ʻana o nā mea hoʻonui boron, ʻo ka mea paʻa moku quartz he haʻahaʻa haʻahaʻa haʻahaʻa haʻahaʻa a me kahi ola lawelawe pōkole i nā lako hoʻonui boron. ʻO ka hoʻohuiwaapa kalapona silikaʻO ka mea hoʻopaʻa i ka ikaika wela kiʻekiʻe a he koho maikaʻi ia i ka mea paʻa waʻa quartz i ke kaʻina hana hoʻonui boron.

② Hoʻololi pili i nā mea hana ʻē aʻe

ʻO nā kākoʻo waʻa SiC he paʻa ka mana hana a me ka hana maikaʻi loa. ʻOi aku ka kiʻekiʻe o kā lākou kumukūʻai ma mua o nā kākoʻo waʻa quartz. Ma nā kūlana hana maʻamau o nā lako hana kelepona, he liʻiliʻi ka ʻokoʻa o ke ola lawelawe ma waena o nā kākoʻo moku SiC a me nā kākoʻo waʻa quartz. Hoʻohālikelike nā mea kūʻai aku i lalo a koho i waena o ke kumukūʻai a me ka hana ma muli o kā lākou kaʻina hana a me nā pono. Ua lilo nā kākoʻo waʻa SiC a me nā kākoʻo waʻa quartz i hui pū a hoʻokūkū. Eia nō naʻe, ʻoi aku ka kiʻekiʻe o ka palena waiwai nui o nā kākoʻo moku SiC i kēia manawa. Me ka emi ʻana o ke kumukūʻai hana o nā kākoʻo moku SiC, inā e hoʻohaʻahaʻa ke kumukūʻai kūʻai aku o ka moku SiC e kākoʻo ikaika ana, ʻoi aku ka nui o ka hoʻokūkū i nā kākoʻo quartz boat.

Lakiō hoʻohana

ʻO ke ala ʻenehana kelepona ka nui o ka ʻenehana PERC a me ka ʻenehana TOPCon. ʻO ka māhele mākeke o ka ʻenehana PERC he 88%, a ʻo ka māhele mākeke o ka ʻenehana TOPCon he 8.3%. ʻO ka māhele mākeke hui o nā mea ʻelua he 96.30%.

E like me ka mea i hōʻike ʻia ma ke kiʻi ma lalo nei:

I ka ʻenehana PERC, koi ʻia nā kākoʻo waʻa no ka hoʻoheheʻe mua ʻana o ka phosphorus a me nā kaʻina hana annealing. Ma ka ʻenehana TOPCon, koi ʻia nā kākoʻo waʻa no ka hoʻolaha mua ʻana o ka boron, LPCVD, back phosphorus diffusion a me nā kaʻina hana annealing. I kēia manawa, hoʻohana nui ʻia nā kākoʻo waʻa silicon carbide i ke kaʻina LPCVD o ka ʻenehana TOPCon, a ua hōʻoia nui ʻia kā lākou noi i ke kaʻina diffusion boron.

Kiʻi No nā kākoʻo waʻa i ke kaʻina hana kelepona

Nānā: Ma hope o ka uhi mua a me hope o nā ʻenehana PERC a me TOPCon, aia nō nā loulou e like me ka paʻi pale, sintering a me ka hoʻāʻo ʻana a me ka hoʻokaʻawale ʻana, ʻaʻole pili i ka hoʻohana ʻana i nā kākoʻo waʻa a ʻaʻole i helu ʻia ma ka helu ma luna.