RTP/RTA માટે SiC કોટિંગ કેરિયર

ટૂંકું વર્ણન:

RTP/RTA માટે VET એનર્જી SiC કોટિંગ કેરિયર એ એક ઉચ્ચ-પ્રદર્શન ઉત્પાદન છે જે વિસ્તૃત સમયગાળા દરમિયાન સતત અને વિશ્વસનીય કામગીરી પ્રદાન કરવા માટે રચાયેલ છે. તે ખૂબ સારી ગરમી પ્રતિકાર અને થર્મલ એકરૂપતા, ઉચ્ચ શુદ્ધતા, ધોવાણ પ્રતિકાર ધરાવે છે, જે તેને વેફર પ્રોસેસિંગ એપ્લિકેશન માટે સંપૂર્ણ ઉકેલ બનાવે છે.

 


  • મૂળ સ્થાન:ચીન
  • ક્રિસ્ટલ સ્ટ્રક્ચર:FCCβ તબક્કો
  • ઘનતા:3.21 ગ્રામ/સેમી;
  • કઠિનતા:2500 વિકર્સ;
  • અનાજનું કદ:2~10μm;
  • રાસાયણિક શુદ્ધતા:99.99995%;
  • ગરમી ક્ષમતા:640J·kg-1·K-1;
  • સબલાઈમેશન તાપમાન:2700℃;
  • ફેલેક્સરલ સ્ટ્રેન્થ:415 MPa (RT 4-Point);
  • યુવાનનું મોડ્યુલસ:430 Gpa (4pt બેન્ડ, 1300℃);
  • થર્મલ વિસ્તરણ (CTE):4.5 10-6K-1;
  • થર્મલ વાહકતા:300 (W/MK);
  • ઉત્પાદન વિગતો

    ઉત્પાદન ટૅગ્સ

    RTP/RTA માટે SiC કોટિંગ કેરિયર એ રેપિડ થર્મલ પ્રોસેસિંગ અને એનેલીંગ તરીકે ઓળખાતી સેમિકન્ડક્ટર ઉત્પાદન પ્રક્રિયાઓમાં વપરાતો મુખ્ય ઘટક છે, અમે અત્યંત ઉચ્ચ શુદ્ધતા, સારી કોટિંગ એકરૂપતા અને ઉત્તમ સેવા જીવન સાથે સિલિકોન કાર્બાઇડ વાહક બનાવવા માટે અમારી પેટન્ટ ટેક્નોલોજીનો ઉપયોગ કરીએ છીએ. તેમજ ઉચ્ચ રાસાયણિક પ્રતિકાર અને થર્મલ સ્થિરતા ગુણધર્મો.

    અમારા ઉત્પાદનોની વિશેષતાઓ:

    1. 1700℃ સુધી ઉચ્ચ તાપમાન ઓક્સિડેશન પ્રતિકાર.
    2. ઉચ્ચ શુદ્ધતા અને થર્મલ એકરૂપતા
    3. ઉત્તમ કાટ પ્રતિકાર: એસિડ, આલ્કલી, મીઠું અને કાર્બનિક રીએજન્ટ્સ.

    4. ઉચ્ચ કઠિનતા, કોમ્પેક્ટ સપાટી, દંડ કણો.
    5. લાંબા સમય સુધી સેવા જીવન અને વધુ ટકાઉ

    સીવીડી SiC薄膜基本物理性能

    CVD SiC ના મૂળભૂત ભૌતિક ગુણધર્મોકોટિંગ

    性质 / મિલકત

    典型数值 / લાક્ષણિક મૂલ્ય

    晶体结构 / ક્રિસ્ટલ સ્ટ્રક્ચર

    FCC β તબક્કો多晶, 主要为 (111)取向

    密度 / ઘનતા

    3.21 ગ્રામ/સેમી³

    硬度 / કઠિનતા

    2500 维氏硬度(500g લોડ)

    晶粒大小 / અનાજનું કદ

    2~10μm

    纯度 / રાસાયણિક શુદ્ધતા

    99.99995%

    热容 / ગરમીની ક્ષમતા

    640 J·kg-1· કે-1

    升华温度 / સબલાઈમેશન તાપમાન

    2700℃

    抗弯强度 / ફ્લેક્સરલ સ્ટ્રેન્થ

    415 MPa RT 4-પોઇન્ટ

    杨氏模量 / યંગનું મોડ્યુલસ

    430 Gpa 4pt બેન્ડ, 1300℃

    导热系数 / થર્માlવાહકતા

    300W·m-1· કે-1

    热膨胀系数 / થર્મલ વિસ્તરણ(CTE)

    4.5×10-6K-1

    1

    2

    VET એનર્જી એ SIC કોટિંગ, TaC કોટિંગ, ગ્લાસી કાર્બન કોટિંગ, પાયરોલિટીક કાર્બન કોટિંગ, વગેરે જેવા વિવિધ કોટિંગ્સ સાથે કસ્ટમાઇઝ્ડ ગ્રેફાઇટ અને સિલિકોન કાર્બાઇડ ઉત્પાદનોની વાસ્તવિક ઉત્પાદક છે, જે સેમિકન્ડક્ટર અને ફોટોવોલ્ટેઇક ઉદ્યોગ માટે વિવિધ કસ્ટમાઇઝ્ડ ભાગો સપ્લાય કરી શકે છે.

    અમારી તકનીકી ટીમ ટોચની સ્થાનિક સંશોધન સંસ્થાઓમાંથી આવે છે, તમારા માટે વધુ વ્યાવસાયિક સામગ્રી ઉકેલો પ્રદાન કરી શકે છે.

    અમે વધુ અદ્યતન સામગ્રી પ્રદાન કરવા માટે સતત અદ્યતન પ્રક્રિયાઓ વિકસાવીએ છીએ, અને એક વિશિષ્ટ પેટન્ટ ટેક્નોલોજી પર કામ કર્યું છે, જે કોટિંગ અને સબસ્ટ્રેટ વચ્ચેના બંધનને વધુ ચુસ્ત બનાવી શકે છે અને અલગ થવાની સંભાવના ઓછી છે.

    અમારી ફેક્ટરીની મુલાકાત લેવા માટે તમારું હાર્દિક સ્વાગત છે, ચાલો વધુ ચર્ચા કરીએ!

    研发团队

     

    生产设备

     

    公司客户


  • ગત:
  • આગળ:

  • વોટ્સએપ ઓનલાઈન ચેટ!