એલઇડી ઇચિંગ માટે સિલિકોન કાર્બાઇડ કોટેડ ગ્રેફાઇટ સસેપ્ટર

ટૂંકું વર્ણન:

એલઇડી એચિંગ (SiC ટ્રે) માટે સિલિકોન કાર્બાઇડ સસેપ્ટર એ ડીપ સિલિકોન એચિંગ (ICP એચિંગ મશીન) માટે ખાસ સહાયક છે. વેફર કેરિયર, જેને વેફર કેરિયર, સિલિકોન વેફર કેરિયર તરીકે પણ ઓળખવામાં આવે છે, જેને પોકેટ વેફર તરીકે પણ ઓળખવામાં આવે છે. સેમિકન્ડક્ટર સીવીડી અને વેક્યુમ સ્પુટરિંગમાં વ્યાપકપણે ઉપયોગમાં લેવાય છે.


ઉત્પાદન વિગતો

ઉત્પાદન ટૅગ્સ

સિલિકોન કાર્બાઇડ કોટેડ સસેપ્ટર છેa ચાવીવિવિધ સેમિકન્ડક્ટર ઉત્પાદન પ્રક્રિયાઓમાં વપરાતા ઘટક.અમે સિલિકોન કાર્બાઇડ કોટેડ સસેપ્ટર બનાવવા માટે અમારી પેટન્ટ ટેક્નોલોજીનો ઉપયોગ કરીએ છીએઅત્યંત ઉચ્ચ શુદ્ધતા,સારુંકોટિંગએકરૂપતાઅને ઉત્તમ સેવા જીવન, તેમજઉચ્ચ રાસાયણિક પ્રતિકાર અને થર્મલ સ્થિરતા ગુણધર્મો.

VET એનર્જી છે CVD કોટિંગ સાથે કસ્ટમાઇઝ્ડ ગ્રેફાઇટ અને સિલિકોન કાર્બાઇડ ઉત્પાદનોના વાસ્તવિક ઉત્પાદક,સપ્લાય કરી શકે છેવિવિધસેમિકન્ડક્ટર અને ફોટોવોલ્ટેઇક ઉદ્યોગ માટે કસ્ટમાઇઝ્ડ ભાગો. Oતમારી તકનીકી ટીમ ટોચની સ્થાનિક સંશોધન સંસ્થાઓમાંથી આવે છે, વધુ વ્યાવસાયિક સામગ્રી ઉકેલો પ્રદાન કરી શકે છેતમારા માટે.

અમે વધુ અદ્યતન સામગ્રી પ્રદાન કરવા માટે સતત અદ્યતન પ્રક્રિયાઓ વિકસાવીએ છીએ,અનેએક વિશિષ્ટ પેટન્ટ ટેક્નોલોજી પર કામ કર્યું છે, જે કોટિંગ અને સબસ્ટ્રેટ વચ્ચેના બોન્ડિંગને વધુ ચુસ્ત બનાવી શકે છે અને અલગ થવાની સંભાવના ઓછી છે.

Fઅમારા ઉત્પાદનોનો આહાર:

1. 1700 સુધી ઉચ્ચ તાપમાન ઓક્સિડેશન પ્રતિકાર.
2. ઉચ્ચ શુદ્ધતા અનેથર્મલ એકરૂપતા
3. ઉત્તમ કાટ પ્રતિકાર: એસિડ, આલ્કલી, મીઠું અને કાર્બનિક રીએજન્ટ્સ.
4. ઉચ્ચ કઠિનતા, કોમ્પેક્ટ સપાટી, દંડ કણો.
5. લાંબા સમય સુધી સેવા જીવન અને વધુ ટકાઉ

સીવીડી SiC薄膜基本物理性能

CVD SiC ના મૂળભૂત ભૌતિક ગુણધર્મોકોટિંગ

性质 / મિલકત

典型数值 / લાક્ષણિક મૂલ્ય

晶体结构 / ક્રિસ્ટલ સ્ટ્રક્ચર

FCC β તબક્કો多晶, 主要为 (111)取向

密度 / ઘનતા

3.21 ગ્રામ/સેમી³

硬度 / કઠિનતા

2500 维氏硬度(500g લોડ)

晶粒大小 / અનાજનું કદ

2~10μm

纯度 / રાસાયણિક શુદ્ધતા

99.99995%

热容 / ગરમીની ક્ષમતા

640 J·kg-1· કે-1

升华温度 / સબલાઈમેશન તાપમાન

2700℃

抗弯强度 / ફ્લેક્સરલ સ્ટ્રેન્થ

415 MPa RT 4-પોઇન્ટ

杨氏模量 / યંગનું મોડ્યુલસ

430 Gpa 4pt બેન્ડ, 1300℃

导热系数 / થર્માlવાહકતા

300W·m-1· કે-1

热膨胀系数 / થર્મલ વિસ્તરણ(CTE)

4.5×10-6K-1

1

2

અમારી ફેક્ટરીની મુલાકાત લેવા માટે તમારું હાર્દિક સ્વાગત છે, ચાલો વધુ ચર્ચા કરીએ!

研发团队

 

生产设备

 

公司客户

 


  • ગત:
  • આગળ:

  • વોટ્સએપ ઓનલાઈન ચેટ!