VET એનર્જી PECVD લોડિંગ ટ્રે એ PECVD (પ્લાઝમા ઉન્નત રાસાયણિક વરાળ ડિપોઝિશન) પ્રક્રિયા માટે રચાયેલ ચોકસાઇ વાહક છે. આ ઉચ્ચ-ગુણવત્તાની ડિપોઝિશન ગ્રેફાઇટ ટ્રે ઉચ્ચ-શુદ્ધતા, ઉચ્ચ-ઘનતાવાળા ગ્રેફાઇટ સામગ્રીથી બનેલી છે. તેમાં ઉત્તમ ઉચ્ચ તાપમાન પ્રતિકાર, કાટ પ્રતિકાર, પરિમાણીય સ્થિરતા અને અન્ય લાક્ષણિકતાઓ છે. તે PECVD પ્રક્રિયા માટે સ્થિર વાહક પ્લેટફોર્મ પ્રદાન કરી શકે છે અને ફિલ્મ ડિપોઝિશનની એકરૂપતા અને સપાટતા સુનિશ્ચિત કરી શકે છે.
VET એનર્જી PECVD લોડિંગ ટ્રે સેમિકન્ડક્ટર, ફોટોવોલ્ટેઇક, LED અને અન્ય ક્ષેત્રોમાં વ્યાપકપણે ઉપયોગમાં લેવાય છે. ઉદાહરણ તરીકે:
▪ સેમિકન્ડક્ટર: સેમિકન્ડક્ટર સામગ્રી જેમ કે સિલિકોન વેફર્સ અને એપિટેક્સિયલ વેફર્સ માટે PECVD પ્રક્રિયા.
▪ ફોટોવોલ્ટેઈક: સૌર સેલ પાતળી ફિલ્મો માટે PECVD પ્રક્રિયા.
▪ LED: LED ચિપ્સ માટે PECVD પ્રક્રિયા.
ઉત્પાદન લાભો
▪ફિલ્મની ગુણવત્તામાં સુધારો:એકસમાન ફિલ્મ ડિપોઝિશનની ખાતરી કરો અને ફિલ્મની ગુણવત્તામાં સુધારો કરો.
▪સાધનસામગ્રીનું જીવન વધારવું:ઉત્તમ કાટ પ્રતિકાર, PECVD સાધનોની સર્વિસ લાઇફ લંબાવવી.
▪ઉત્પાદન ખર્ચમાં ઘટાડો:ઉચ્ચ-ગુણવત્તાવાળી ગ્રેફાઇટ ટ્રે સ્ક્રેપ દર ઘટાડી શકે છે અને ઉત્પાદન ખર્ચ ઘટાડી શકે છે.
SGL માંથી ગ્રેફાઇટ સામગ્રી:
| લાક્ષણિક પરિમાણ: R6510 | |||
| અનુક્રમણિકા | પરીક્ષણ ધોરણ | મૂલ્ય | એકમ |
| અનાજનું સરેરાશ કદ | ISO 13320 | 10 | μm |
| બલ્ક ઘનતા | DIN IEC 60413/204 | 1.83 | g/cm3 |
| ઓપન છિદ્રાળુતા | DIN66133 | 10 | % |
| મધ્યમ છિદ્ર કદ | DIN66133 | 1.8 | μm |
| અભેદ્યતા | ડીઆઈએન 51935 | 0.06 | cm²/s |
| રોકવેલ કઠિનતા HR5/100 | DIN IEC60413/303 | 90 | HR |
| વિશિષ્ટ વિદ્યુત પ્રતિકારકતા | DIN IEC 60413/402 | 13 | μΩm |
| ફ્લેક્સરલ તાકાત | DIN IEC 60413/501 | 60 | MPa |
| સંકુચિત શક્તિ | ડીઆઈએન 51910 | 130 | MPa |
| યંગનું મોડ્યુલસ | ડીઆઈએન 51915 | 11.5×10³ | MPa |
| થર્મલ વિસ્તરણ (20-200℃) | ડીઆઈએન 51909 | 4.2X10-6 | K-1 |
| થર્મલ વાહકતા (20℃) | ડીઆઈએન 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
તે ખાસ કરીને ઉચ્ચ-કાર્યક્ષમતા સોલાર સેલ મેન્યુફેક્ચરિંગ માટે બનાવવામાં આવ્યું છે, જે G12 મોટા કદના વેફર પ્રોસેસિંગને સપોર્ટ કરે છે. ઑપ્ટિમાઇઝ વાહક ડિઝાઇન નોંધપાત્ર રીતે થ્રુપુટમાં વધારો કરે છે, ઉચ્ચ ઉપજ દર અને ઉત્પાદન ખર્ચમાં ઘટાડો સક્ષમ કરે છે.
| વસ્તુ | પ્રકાર | નંબર વેફર વાહક |
| PEVCD ગ્રેફાઇટ બોટ - 156 શ્રેણી | 156-13 ગ્રેફાઇટ બોટ | 144 |
| 156-19 ગ્રેફાઇટ બોટ | 216 | |
| 156-21 ગ્રેફાઇટ બોટ | 240 | |
| 156-23 ગ્રેફાઇટ બોટ | 308 | |
| PEVCD ગ્રેફાઇટ બોટ - 125 શ્રેણી | 125-15 ગ્રેફાઇટ બોટ | 196 |
| 125-19 ગ્રેફાઇટ બોટ | 252 | |
| 125-21 ગ્રેફાઇટ બોટ | 280 |
