PECVD માટે ગ્રેફાઇટ સબસ્ટ્રેટ વેફર ધારક

VET એનર્જી ગ્રેફાઇટ સબસ્ટ્રેટ વેફર હોલ્ડર એ PECVD (પ્લાઝમા એન્હાન્સ્ડ કેમિકલ વેપર ડિપોઝિશન) પ્રક્રિયા માટે રચાયેલ ચોકસાઇ વાહક છે. આ ઉચ્ચ-ગુણવત્તાવાળા ગ્રેફાઇટ સબસ્ટ્રેટ ધારક ઉચ્ચ-શુદ્ધતા, ઉચ્ચ-ઘનતાવાળા ગ્રેફાઇટ સામગ્રીથી બનેલું છે, જેમાં ઉત્તમ ઉચ્ચ તાપમાન પ્રતિકાર, કાટ પ્રતિકાર, પરિમાણીય સ્થિરતા અને અન્ય લાક્ષણિકતાઓ છે. તે PECVD પ્રક્રિયા માટે સ્થિર સપોર્ટ પ્લેટફોર્મ પ્રદાન કરી શકે છે અને ફિલ્મ ડિપોઝિશનની એકરૂપતા અને સપાટતા સુનિશ્ચિત કરી શકે છે.

VET એનર્જી PECVD પ્રોસેસ ગ્રેફાઇટ વેફર સપોર્ટ ટેબલ નીચેની લાક્ષણિકતાઓ ધરાવે છે:

▪ઉચ્ચ શુદ્ધતા:અત્યંત ઓછી અશુદ્ધતા સામગ્રી, ફિલ્મના દૂષણને ટાળો, ફિલ્મની ગુણવત્તાની ખાતરી કરો.

▪ઉચ્ચ ઘનતા:ઉચ્ચ ઘનતા, ઉચ્ચ યાંત્રિક શક્તિ, ઉચ્ચ તાપમાન અને ઉચ્ચ દબાણ PECVD પર્યાવરણનો સામનો કરી શકે છે.

▪સારી પરિમાણીય સ્થિરતા:ઉચ્ચ તાપમાને નાના પરિમાણીય ફેરફાર, પ્રક્રિયાની સ્થિરતા સુનિશ્ચિત કરે છે.

▪ઉત્તમ થર્મલ વાહકતા:વેફર ઓવરહિટીંગ અટકાવવા માટે અસરકારક રીતે ગરમી સ્થાનાંતરિત કરો.

▪મજબૂત કાટ પ્રતિકાર:વિવિધ સડો કરતા વાયુઓ અને પ્લાઝ્મા દ્વારા ધોવાણનો પ્રતિકાર કરી શકે છે.

▪કસ્ટમાઇઝ સેવા:વિવિધ કદ અને આકારના ગ્રેફાઇટ આધાર કોષ્ટકો ગ્રાહક જરૂરિયાતો અનુસાર કસ્ટમાઇઝ કરી શકાય છે.

ઉત્પાદન લાભો

▪ફિલ્મની ગુણવત્તામાં સુધારો:એકસમાન ફિલ્મ ડિપોઝિશનની ખાતરી કરો અને ફિલ્મની ગુણવત્તામાં સુધારો કરો.

▪સાધનસામગ્રીનું જીવન વધારવું:ઉત્તમ કાટ પ્રતિકાર, PECVD સાધનોની સર્વિસ લાઇફ લંબાવવી.

▪ઉત્પાદન ખર્ચમાં ઘટાડો:ઉચ્ચ-ગુણવત્તાવાળી ગ્રેફાઇટ ટ્રે સ્ક્રેપ દર ઘટાડી શકે છે અને ઉત્પાદન ખર્ચ ઘટાડી શકે છે.