PECVD ગ્રેફાઇટ વેફર સપોર્ટ

VET એનર્જી PECVD પ્રોસેસ ગ્રેફાઇટ વેફર સપોર્ટ એ PECVD (પ્લાઝમા એન્હાન્સ્ડ રાસાયણિક વરાળ ડિપોઝિશન) પ્રક્રિયા માટે રચાયેલ મુખ્ય ઉપભોજ્ય છે. આ ઉત્પાદન ઉચ્ચ-શુદ્ધતા, ઉચ્ચ-ઘનતાવાળા ગ્રેફાઇટ સામગ્રીથી બનેલું છે, જેમાં ઉત્તમ ઉચ્ચ તાપમાન પ્રતિકાર, કાટ પ્રતિકાર, પરિમાણીય સ્થિરતા અને અન્ય લાક્ષણિકતાઓ છે, જે PECVD પ્રક્રિયા માટે સ્થિર સપોર્ટ પ્લેટફોર્મ પ્રદાન કરી શકે છે, જેથી ફિલ્મ ડિપોઝિશનની એકરૂપતા અને સપાટતા સુનિશ્ચિત કરી શકાય.

VET એનર્જી ગ્રેફાઇટ વેફર સપોર્ટની "ગ્રેફાઇટ સપોર્ટ" ડિઝાઇન માત્ર વેફરને અસરકારક રીતે સપોર્ટ કરી શકતી નથી, પરંતુ પ્રક્રિયાની સ્થિરતાને સુનિશ્ચિત કરવા માટે ઉચ્ચ તાપમાન અને ઉચ્ચ દબાણ PECVD વાતાવરણમાં થર્મલ સ્થિરતા પણ પ્રદાન કરે છે.

VET એનર્જી PECVD પ્રોસેસ ગ્રેફાઇટ વેફર સપોર્ટમાં નીચેની લાક્ષણિકતાઓ છે:

▪ઉચ્ચ શુદ્ધતા:અત્યંત ઓછી અશુદ્ધતા સામગ્રી, ફિલ્મની ગુણવત્તાને સુનિશ્ચિત કરવા માટે, ફિલ્મના દૂષણને ટાળો.

▪ઉચ્ચ ઘનતા:ઉચ્ચ ઘનતા, ઉચ્ચ યાંત્રિક શક્તિ, ઉચ્ચ તાપમાન અને ઉચ્ચ દબાણ PECVD પર્યાવરણનો સામનો કરી શકે છે.

▪સારી પરિમાણીય સ્થિરતા:પ્રક્રિયાની સ્થિરતા સુનિશ્ચિત કરવા માટે ઊંચા તાપમાને નાના પરિમાણીય ફેરફારો.

▪ઉત્તમ થર્મલ વાહકતા:વેફર ઓવરહિટીંગ અટકાવવા માટે અસરકારક રીતે ગરમી સ્થાનાંતરિત કરો.

▪મજબૂત કાટ પ્રતિકાર:વિવિધ સડો કરતા વાયુઓ અને પ્લાઝ્મા દ્વારા ધોવાણનો પ્રતિકાર કરવામાં સક્ષમ.

▪કસ્ટમાઇઝ સેવા:વિવિધ કદ અને આકારોના ગ્રેફાઇટ સપોર્ટ કોષ્ટકોને ગ્રાહકની જરૂરિયાતો અનુસાર કસ્ટમાઇઝ કરી શકાય છે.