VET એનર્જી ગ્રેફાઇટ વેફર બોટ સેમિકન્ડક્ટર, ફોટોવોલ્ટેઇક અને અન્ય ઉદ્યોગોમાં ડિપોઝિશન પ્રક્રિયાઓ માટે તૈયાર કરાયેલ ઉચ્ચ ગુણવત્તાની ઉપભોક્તા છે. ઉચ્ચ-શુદ્ધતા, ઉચ્ચ-ઘનતાવાળા ગ્રેફાઇટ સામગ્રીથી બનેલું, આ ઉત્પાદન ઉત્તમ ઉચ્ચ તાપમાન પ્રતિકાર, કાટ પ્રતિકાર, પરિમાણીય સ્થિરતા અને અન્ય લાક્ષણિકતાઓ ધરાવે છે, અને પાતળી ફિલ્મ ડિપોઝિશનની એકરૂપતા અને સપાટતાની ખાતરી કરવા માટે ડિપોઝિશન પ્રક્રિયા માટે સ્થિર વાહક પ્લેટફોર્મ પ્રદાન કરી શકે છે. .
VET એનર્જીમાંથી PECVD ગ્રેફાઇટ બોટ ઉચ્ચ-શુદ્ધતાના આઇસોસ્ટેટિક ગ્રેફાઇટ સાથે ઉત્પાદિત છે, જેમાં 15% થી ઓછી છિદ્રાળુતા અને સપાટીની ખરબચડી Ra≤1.6μm છે. શ્રેષ્ઠ પરિમાણીય સ્થિરતા અને થર્મલ વાહકતા એકસમાન ફિલ્મ ડિપોઝિશન અને ઉન્નત સેલ કાર્યક્ષમતાની ખાતરી કરે છે.
SGL માંથી ગ્રેફાઇટ સામગ્રી:
લાક્ષણિક પરિમાણ: R6510 | |||
અનુક્રમણિકા | પરીક્ષણ ધોરણ | મૂલ્ય | એકમ |
અનાજનું સરેરાશ કદ | ISO 13320 | 10 | μm |
બલ્ક ઘનતા | DIN IEC 60413/204 | 1.83 | g/cm3 |
ઓપન છિદ્રાળુતા | DIN66133 | 10 | % |
મધ્યમ છિદ્ર કદ | DIN66133 | 1.8 | μm |
અભેદ્યતા | ડીઆઈએન 51935 | 0.06 | cm²/s |
રોકવેલ કઠિનતા HR5/100 | DIN IEC60413/303 | 90 | HR |
વિશિષ્ટ વિદ્યુત પ્રતિકારકતા | DIN IEC 60413/402 | 13 | μΩm |
ફ્લેક્સરલ તાકાત | DIN IEC 60413/501 | 60 | MPa |
સંકુચિત શક્તિ | ડીઆઈએન 51910 | 130 | MPa |
યંગનું મોડ્યુલસ | ડીઆઈએન 51915 | 11.5×10³ | MPa |
થર્મલ વિસ્તરણ (20-200℃) | ડીઆઈએન 51909 | 4.2X10-6 | K-1 |
થર્મલ વાહકતા (20℃) | ડીઆઈએન 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
તે ખાસ કરીને ઉચ્ચ-કાર્યક્ષમતા સોલાર સેલ મેન્યુફેક્ચરિંગ માટે બનાવવામાં આવ્યું છે, જે G12 મોટા કદના વેફર પ્રોસેસિંગને સપોર્ટ કરે છે. ઑપ્ટિમાઇઝ વાહક ડિઝાઇન નોંધપાત્ર રીતે થ્રુપુટમાં વધારો કરે છે, ઉચ્ચ ઉપજ દર અને ઉત્પાદન ખર્ચમાં ઘટાડો સક્ષમ કરે છે.
વસ્તુ | પ્રકાર | નંબર વેફર વાહક |
PEVCD ગ્રેફાઇટ બોટ - 156 શ્રેણી | 156-13 ગ્રેફાઇટ બોટ | 144 |
156-19 ગ્રેફાઇટ બોટ | 216 | |
156-21 ગ્રેફાઇટ બોટ | 240 | |
156-23 ગ્રેફાઇટ બોટ | 308 | |
PEVCD ગ્રેફાઇટ બોટ - 125 શ્રેણી | 125-15 ગ્રેફાઇટ બોટ | 196 |
125-19 ગ્રેફાઇટ બોટ | 252 | |
125-21 ગ્રેફાઇટ બોટ | 280 |