PECVD પ્રક્રિયા માટે ગ્રેફાઇટ કેરિયર

PECVD પ્રક્રિયા માટે ગ્રેફાઇટ કેરિયર્સમાં નીચેની લાક્ષણિકતાઓ છે:

▪ ઉચ્ચ શુદ્ધતા: અત્યંત ઓછી અશુદ્ધતા સામગ્રી, ફિલ્મનું દૂષણ ટાળવું અને ફિલ્મની ગુણવત્તાની ખાતરી કરવી.

▪ ઉચ્ચ ઘનતા: ઉચ્ચ ઘનતા, ઉચ્ચ યાંત્રિક શક્તિ, ઉચ્ચ તાપમાન અને ઉચ્ચ દબાણ PECVD વાતાવરણનો સામનો કરવા સક્ષમ.

▪ સારી પરિમાણીય સ્થિરતા: ઉચ્ચ તાપમાને નાના પરિમાણીય ફેરફાર, પ્રક્રિયાની સ્થિરતા સુનિશ્ચિત કરે છે.

▪ ઉત્કૃષ્ટ થર્મલ વાહકતા: વેફર ઓવરહિટીંગને રોકવા માટે ગરમીને અસરકારક રીતે સ્થાનાંતરિત કરો.

▪ મજબૂત કાટ પ્રતિકાર: વિવિધ સડો કરતા વાયુઓ અને પ્લાઝ્મા દ્વારા ધોવાણનો પ્રતિકાર કરવામાં સક્ષમ.

▪ વૈવિધ્યપૂર્ણ સેવા: વિવિધ કદ અને આકારોના ગ્રેફાઇટ કેરિયર્સને ગ્રાહકની જરૂરિયાતો અનુસાર કસ્ટમાઇઝ કરી શકાય છે.