Susceptor de obleas con recubrimiento TaC para G5 G10

Susceptor de obleas con revestimento de TaC para G5 G10 Imaxe destacada

Descrición curta:

Semicera lidera a industria de semicondutores cunha liña innovadora de produtos de carburo de tántalo (TaC) para cumprir os requisitos do proceso de semicondutores cada vez máis estreitos.Tanto se se enfronta a temperaturas do proceso epitaxial que superan os 2000 graos centígrados como a problemas de sublimación con materiais tradicionais, o noso carburo de tántalo CvD (TaC) ofrece unha solución fiable.Os nosos produtos poden soportar temperaturas extremas de ata 2300 graos Celsius e ofrecen unha excelente vida útil.Ao poñerse en contacto con Semicera, pode obter máis información sobre as nosas solucións avanzadas, incluíndo opcións personalizadas para placas de cobertura revestidas de carburo de tántalo.Comprometémonos a proporcionar unha protección fiable e un excelente rendemento para o seu proceso de semicondutores para axudarche a ter éxito no mercado altamente competitivo.

Envíanos un correo electrónico Descarga como PDF

Detalle do produto

Etiquetas de produtos

O revestimento de TaC é un tipo de revestimento de carburo de tántalo (TaC) preparado mediante a tecnoloxía de deposición física de vapor, ten as seguintes características:

1. Alta dureza: a dureza do revestimento TaC é alta, normalmente pode alcanzar 2500-3000HV, é un excelente revestimento duro.

2. Resistencia ao desgaste: o revestimento TaC é moi resistente ao desgaste, o que pode reducir eficazmente o desgaste e os danos das pezas mecánicas durante o uso.

3. Boa resistencia a altas temperaturas: o revestimento de TaC tamén pode manter o seu excelente rendemento en ambientes de alta temperatura.

4. Boa estabilidade química: o revestimento de TaC ten unha boa estabilidade química e pode resistir moitas reaccións químicas, como ácidos e bases.

碳化钽涂层物理特性物理特性 Propiedades físicas de TaC revestimento
密度/ Densidade	14,3 (g/cm³)
比辐射率 / Emisividade específica	0,3
热膨胀系数 / Coeficiente de dilatación térmica	6.3 10^-6/K
努氏硬度/ Dureza (HK)	2000 HK
电阻 / Resistencia	1×10^-5 Ohm*cm
热稳定性 / Estabilidade térmica	<2500℃
石墨尺寸变化 / Cambios de tamaño do grafito	-10~-20um
涂层厚度 / Espesor do revestimento	≥20um valor típico (35um±10um)

Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd é unha empresa de alta tecnoloxía centrada na produción e venda de materiais avanzados de gama alta, materiais e tecnoloxía que abarcan grafito, carburo de silicio, cerámica, tratamento de superficies, etc.Os produtos son amplamente utilizados en fotovoltaica, semicondutores, novas enerxías, metalurxia, etc.

O noso equipo técnico provén das principais institucións de investigación nacionais, pode proporcionarlle solucións materiais máis profesionais.

Benvido a visitar a nosa fábrica, imos ter máis discusións!