Susceptor de placas revestidas de CVD TaC

Breve descrición:

O susceptor de placas recubertas de VET Energy CVD TaC é un produto de alto rendemento deseñado para proporcionar un rendemento consistente e fiable durante un período prolongado. Ten unha excelente resistencia á calor e uniformidade térmica, alta pureza e resistencia á erosión, polo que é a solución perfecta para aplicacións de procesamento de obleas.


Detalle do produto

Etiquetas de produtos

ORevestimento de CVD TaCPlate Susceptor de vet-china está deseñado para un alto rendemento en procesos de deposición química de vapor (CVD). Este susceptor presenta un robustoRevestimento de TaC (carburo de tantalio)., ofrecendo unha estabilidade térmica excepcional, resistencia química e durabilidade, o que o converte nunha solución ideal para a fabricación de semicondutores e aplicacións a altas temperaturas. ORevestimento CVD TaCgarante unha excelente resistencia á oxidación e ao desgaste, permitindo que o susceptor manteña a súa integridade e función en ambientes duros.

vet-chinaRevestimento de CVD TaCPlate Susceptor destaca pola súa capacidade para distribuír uniformemente a calor durante os procesos CVD, garantindo unha deposición precisa de capas e mellorando a eficiencia da fabricación de semicondutores. O revestimento Ta-C proporciona protección adicional contra a corrosión química, prolongando a vida útil do susceptor e mellorando o rendemento xeral. Cunha combinación de tecnoloxía avanzada de susceptores CVD e revestimentos químicos TaC de alta calidade, este susceptor é un compoñente clave para as industrias que requiren precisión e fiabilidade en ambientes de alta temperatura.

Se se usa na produción de semicondutores ou outras aplicacións de alta tecnoloxía, oSusceptor de placas recubertas de CVD TaCestá deseñado para satisfacer as demandas da fabricación moderna. Apoiado pola reputación de innovación e calidade de Semicera, este produto ofrece un rendemento superior e unha durabilidade duradeira, polo que é unha opción de confianza para os procesos CVD.

O revestimento de TaC é un tipo de revestimento de carburo de tántalo (TaC) preparado mediante a tecnoloxía de deposición física de vapor, ten as seguintes características:

1. Alta dureza: a dureza do revestimento TaC é alta, normalmente pode alcanzar 2500-3000HV, é un excelente revestimento duro.

2. Resistencia ao desgaste: o revestimento TaC é moi resistente ao desgaste, o que pode reducir eficazmente o desgaste e os danos das pezas mecánicas durante o uso.

3. Boa resistencia a altas temperaturas: o revestimento de TaC tamén pode manter o seu excelente rendemento en ambientes de alta temperatura.

4. Boa estabilidade química: o revestimento de TaC ten unha boa estabilidade química e pode resistir moitas reaccións químicas, como ácidos e bases.

Revestimento TaC 13
Revestimento TaC 10

碳化钽涂层物理特性物理特性

Propiedades físicas de TaC revestimento

密度/ Densidade

14,3 (g/cm³)

比辐射率 / Emisividade específica

0,3

热膨胀系数 / Coeficiente de dilatación térmica

6.3 10-6/K

努氏硬度/ Dureza (HK)

2000 HK

电阻 / Resistencia

1×10-5 Ohm*cm

热稳定性 / Estabilidade térmica

<2500℃

石墨尺寸变化 / Cambios de tamaño do grafito

-10~-20um

涂层厚度 / Espesor do revestimento

≥20um valor típico (35um±10um)

Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd é unha empresa de alta tecnoloxía centrada na produción e venda de materiais avanzados de gama alta, materiais e tecnoloxía que abarcan grafito, carburo de silicio, cerámica, tratamento de superficies, etc. Os produtos son amplamente utilizados en fotovoltaica, semicondutores, novas enerxías, metalurxia, etc.

O noso equipo técnico provén das principais institucións de investigación nacionais, pode proporcionarlle solucións materiais máis profesionais.

Benvido a visitar a nosa fábrica, imos ter máis discusións!

研发团队

生产设备

公司客户

 


  • Anterior:
  • Seguinte:

  • Chat en liña de WhatsApp!