Susceptor revestido de carburo de tantalio para oblea

Breve descrición:

O susceptor revestido de carburo de tantalio VET Energy para obleas é un produto de alto rendemento deseñado para proporcionar un rendemento consistente e fiable durante un período prolongado. Ten unha excelente resistencia á calor e uniformidade térmica, alta pureza e resistencia á erosión, polo que é a solución perfecta para aplicacións de procesamento de obleas.


Detalle do produto

Etiquetas de produtos

O revestimento de TaC é un tipo de revestimento de carburo de tántalo (TaC) preparado mediante a tecnoloxía de deposición física de vapor, ten as seguintes características:

1. Alta dureza: a dureza do revestimento TaC é alta, normalmente pode alcanzar 2500-3000HV, é un excelente revestimento duro.

2. Resistencia ao desgaste: o revestimento TaC é moi resistente ao desgaste, o que pode reducir eficazmente o desgaste e os danos das pezas mecánicas durante o uso.

3. Boa resistencia a altas temperaturas: o revestimento de TaC tamén pode manter o seu excelente rendemento en ambientes de alta temperatura.

4. Boa estabilidade química: o revestimento de TaC ten unha boa estabilidade química e pode resistir moitas reaccións químicas, como ácidos e bases.

6 (3)
Revestimento CVD de carburo de tantalio EPI Susceptor_Semicera (1)

碳化钽涂层物理特性物理特性

Propiedades físicas de TaC revestimento

密度/ Densidade

14,3 (g/cm³)

比辐射率 / Emisividade específica

0,3

热膨胀系数 / Coeficiente de dilatación térmica

6.3 10-6/K

努氏硬度/ Dureza (HK)

2000 HK

电阻 / Resistencia

1×10-5 Ohm*cm

热稳定性 / Estabilidade térmica

<2500℃

石墨尺寸变化 / Cambios de tamaño do grafito

-10~-20um

涂层厚度 / Espesor do revestimento

≥20um valor típico (35um±10um)

 

Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd é unha empresa de alta tecnoloxía centrada na produción e venda de materiais avanzados de gama alta, materiais e tecnoloxía que abarcan grafito, carburo de silicio, cerámica, tratamento de superficies, etc. Os produtos son amplamente utilizados en fotovoltaica, semicondutores, novas enerxías, metalurxia, etc.

O noso equipo técnico provén das principais institucións de investigación nacionais, pode proporcionarlle solucións materiais máis profesionais.

Benvido a visitar a nosa fábrica, imos ter máis discusións!

研发团队

生产设备

公司客户

 


  • Anterior:
  • Seguinte:

  • Chat en liña de WhatsApp!