Susceptor revestido de carburo de tantalio para oblea

Breve descrición:

O susceptor revestido de carburo de tantalio VET Energy para obleas é un produto de alto rendemento deseñado para proporcionar un rendemento consistente e fiable durante un período prolongado. Ten unha excelente resistencia á calor e uniformidade térmica, alta pureza e resistencia á erosión, polo que é a solución perfecta para aplicacións de procesamento de obleas.

Envíanos un correo electrónico Descarga como PDF

Detalle do produto

Etiquetas de produtos

O revestimento de TaC é un tipo de revestimento de carburo de tántalo (TaC) preparado mediante a tecnoloxía de deposición física de vapor, ten as seguintes características:

1. Alta dureza: a dureza do revestimento TaC é alta, normalmente pode alcanzar 2500-3000HV, é un excelente revestimento duro.

2. Resistencia ao desgaste: o revestimento de TaC é moi resistente ao desgaste, o que pode reducir eficazmente o desgaste e os danos das pezas mecánicas durante o uso.

3. Boa resistencia a altas temperaturas: o revestimento de TaC tamén pode manter o seu excelente rendemento en ambientes de alta temperatura.

4. Boa estabilidade química: o revestimento de TaC ten unha boa estabilidade química e pode resistir moitas reaccións químicas, como ácidos e bases.

Revestimento CVD de carburo de tantalio EPI Susceptor_Semicera (1)

碳化钽涂层物理特性物理特性 Propiedades físicas de TaC revestimento
密度/ Densidade	14,3 (g/cm³)
比辐射率 / Emisividade específica	0,3
热膨胀系数 / Coeficiente de dilatación térmica	6.3 10^-6/K
努氏硬度/ Dureza (HK)	2000 HK
电阻 / Resistencia	1×10^-5 Ohm*cm
热稳定性 / Estabilidade térmica	<2500℃
石墨尺寸变化 / Cambios de tamaño do grafito	-10~-20um
涂层厚度 / Espesor do revestimento	≥20um valor típico (35um±10um)

Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd é unha empresa de alta tecnoloxía centrada na produción e venda de materiais avanzados de gama alta, materiais e tecnoloxía que abarcan grafito, carburo de silicio, cerámica, tratamento de superficies, etc. Os produtos son amplamente utilizados en fotovoltaica, semicondutores, novas enerxías, metalurxia, etc.

O noso equipo técnico provén das principais institucións de investigación nacionais, pode proporcionarlle solucións materiais máis profesionais.

Benvido a visitar a nosa fábrica, imos ter máis discusións!