Susceptor de grafito revestido de carburo de silicio para grabado LED

Susceptor de grafito revestido de carburo de silicio para gravado con LED Imaxe destacada

Breve descrición:

O susceptor de carburo de silicio para gravado LED (bandexa SiC) é un accesorio especial para gravado profundo de silicio (máquina de gravado ICP). portador de obleas, tamén coñecido como portador de obleas, portador de obleas de silicio, tamén coñecido como oblea de peto. Amplamente utilizado en semicondutores CVD e pulverización catódica ao baleiro.

Envíanos un correo electrónico Descarga como PDF

Detalle do produto

Etiquetas de produtos

Susceptor revestido de carburo de silicioa chavecompoñente utilizado en diversos procesos de fabricación de semicondutores.Usamos a nosa tecnoloxía patentada para fabricar o susceptor revestido de carburo de siliciopureza extremadamente alta,borevestimentouniformidadee unha excelente vida útil, así comoalta resistencia química e propiedades de estabilidade térmica.

VET Enerxía é ofabricante real de produtos personalizados de grafito e carburo de silicio con revestimento CVD,pode fornecervariospezas personalizadas para a industria de semicondutores e fotovoltaica. OO equipo técnico de ur provén das principais institucións de investigación nacionais, pode proporcionar solucións materiais máis profesionaispara ti.

Desenvolvemos continuamente procesos avanzados para proporcionar materiais máis avanzados,eelaboraron unha tecnoloxía patentada exclusiva, que pode facer que a unión entre o revestimento e o substrato sexa máis estreita e menos propensa a desprenderse.

Fcaracterísticas dos nosos produtos:

1. Resistencia á oxidación a alta temperatura ata 1700℃.
2. Alta pureza euniformidade térmica
3. Excelente resistencia á corrosión: ácido, álcali, sal e reactivos orgánicos.
4. Alta dureza, superficie compacta, partículas finas.
5. Maior vida útil e máis duradeiro

CVD SiC薄膜基本物理性能 Propiedades físicas básicas do CVD SiCrevestimento
性质 / Propiedade	典型数值 / Valor típico
晶体结构 / Estrutura cristalina	Fase β de FCC多晶，主要为（111）取向
密度 / Densidade	3,21 g/cm³
硬度 / Dureza	2500 维氏硬度（500g de carga）
晶粒大小 / Tamaño do gran	2 ~ 10 μm
纯度 / Pureza química	99,99995 %
热容 / Capacidade calorífica	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Temperatura de sublimación	2700 ℃
抗弯强度 / Resistencia á flexión	415 MPa RT de 4 puntos
杨氏模量 / Módulo de Young	430 Gpa curva de 4 puntos, 1300 ℃
导热系数 / ThermalCondutividade	300 W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Expansión térmica (CTE)	4,5 × 10^-6K^-1