Susceptor revestido de carburo de silicioa chavecompoñente utilizado en diversos procesos de fabricación de semicondutores.Usamos a nosa tecnoloxía patentada para fabricar o susceptor revestido de carburo de siliciopureza extremadamente alta,borevestimentouniformidadee unha excelente vida útil, así comoalta resistencia química e propiedades de estabilidade térmica.
VET Enerxía é ofabricante real de produtos personalizados de grafito e carburo de silicio con revestimento CVD,pode fornecervariospezas personalizadas para a industria de semicondutores e fotovoltaica. OO equipo técnico de ur provén das principais institucións de investigación nacionais, pode proporcionar solucións materiais máis profesionaispara ti.
Desenvolvemos continuamente procesos avanzados para proporcionar materiais máis avanzados,eelaboraron unha tecnoloxía patentada exclusiva, que pode facer que a unión entre o revestimento e o substrato sexa máis estreita e menos propensa a desprenderse.
Fcaracterísticas dos nosos produtos:
1. Resistencia á oxidación a alta temperatura ata 1700℃.
2. Alta pureza euniformidade térmica
3. Excelente resistencia á corrosión: ácido, álcali, sal e reactivos orgánicos.
4. Alta dureza, superficie compacta, partículas finas.
5. Maior vida útil e máis duradeiro
CVD SiC薄膜基本物理性能 Propiedades físicas básicas do CVD SiCrevestimento | |
性质 / Propiedade | 典型数值 / Valor típico |
晶体结构 / Estrutura cristalina | Fase β de FCC多晶,主要为(111)取向 |
密度 / Densidade | 3,21 g/cm³ |
硬度 / Dureza | 2500 维氏硬度(500g de carga) |
晶粒大小 / Tamaño do gran | 2 ~ 10 μm |
纯度 / Pureza química | 99,99995 % |
热容 / Capacidade calorífica | 640 J·kg-1·K-1 |
升华温度 / Temperatura de sublimación | 2700 ℃ |
抗弯强度 / Resistencia á flexión | 415 MPa RT de 4 puntos |
杨氏模量 / Módulo de Young | 430 Gpa curva de 4 puntos, 1300 ℃ |
导热系数 / ThermalCondutividade | 300 W·m-1·K-1 |
热膨胀系数 / Expansión térmica (CTE) | 4,5 × 10-6K-1 |
Benvido a visitar a nosa fábrica, imos ter máis discusións!