A oblea de silicio monocristalina de 8 polgadas de VET Energy é unha solución líder na industria para a fabricación de semicondutores e dispositivos electrónicos. Ofrecendo unha pureza superior e unha estrutura cristalina, estas obleas son ideais para aplicacións de alto rendemento tanto na industria fotovoltaica como de semicondutores. VET Energy garante que cada oblea se procese meticulosamente para cumprir os máis altos estándares, proporcionando unha excelente uniformidade e un acabado superficial liso, que son esenciais para a produción de dispositivos electrónicos avanzados.
Estas obleas de silicio monocristalina de 8 polgadas son compatibles cunha variedade de materiais, incluíndo obleas de Si, substrato de SiC, obleas de SOI e substrato de SiN, e son especialmente adecuadas para o crecemento de obleas Epi. A súa condutividade térmica superior e as súas propiedades eléctricas fan que sexan unha opción fiable para a fabricación de alta eficiencia. Ademais, estas obleas están deseñadas para funcionar perfectamente con materiais como óxido de galio Ga2O3 e obleas de AlN, que ofrecen unha ampla gama de aplicacións desde electrónica de potencia ata dispositivos de RF. As obleas tamén encaixan perfectamente nos sistemas de casete para ambientes de produción automatizados de gran volume.
A liña de produtos de VET Energy non se limita ás obleas de silicio. Tamén ofrecemos unha ampla gama de materiais de substrato semicondutor, incluíndo substrato SiC, oblea SOI, substrato SiN, oblea Epi, etc., así como novos materiais semicondutores de banda ampla como o óxido de galio Ga2O3 e oblea de AlN. Estes produtos poden satisfacer as necesidades de aplicación de diferentes clientes en electrónica de potencia, radiofrecuencia, sensores e outros campos.
VET Energy ofrece aos clientes solucións de obleas personalizadas. Podemos personalizar obleas con diferente resistividade, contido de osíxeno, grosor, etc. segundo as necesidades específicas dos clientes. Ademais, tamén ofrecemos soporte técnico profesional e servizo posvenda para axudar aos clientes a resolver varios problemas atopados durante o proceso de produción.
ESPECIFICACIÓNS DA OBLEA
*n-Pm=n-tipo Pm-Grado, n-Ps=n-tipo Ps-Grado, Sl=Semi-isolante
Elemento | 8 polgadas | 6 polgadas | 4 polgadas | ||
nP | n-p.m | n-Ps | SI | SI | |
TTV (GBIR) | ≤ 6um | ≤ 6um | |||
Bow (GF3YFCD) - Valor absoluto | ≤ 15 μm | ≤ 15 μm | ≤ 25 μm | ≤ 15 μm | |
Deformación (GF3YFER) | ≤ 25 μm | ≤ 25 μm | ≤ 40 μm | ≤ 25 μm | |
LTV (SBIR) - 10 mm x 10 mm | <2 μm | ||||
Borde de oblea | Biselado |
ACABADO SUPERFICIAL
*n-Pm=n-tipo Pm-Grado, n-Ps=n-tipo Ps-Grado, Sl=Semi-isolante
Elemento | 8 polgadas | 6 polgadas | 4 polgadas | ||
nP | n-p.m | n-Ps | SI | SI | |
Acabado superficial | Esmalte óptico de doble cara, Si-face CMP | ||||
Rugosidade superficial | (10um x 10um) Si-FaceRa ≤0,2 nm | (5umx5um) Si-Face Ra≤0.2nm | |||
Chips de borde | Ningún permitido (longo e ancho ≥0,5 mm) | ||||
sangrías | Ningún permitido | ||||
Arañazos (Si-face) | Cant.≤5,Acumulativo | Cant.≤5,Acumulativo | Cant.≤5,Acumulativo | ||
Gretas | Ningún permitido | ||||
Exclusión de borde | 3 mm |